Спектральный эллипсометрический комплекс для диагностики радиационных превращений в металлах и сплавах

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2009
• Автори: Беляева, А.И., Галуза, А.А., Клепиков, В.Ф., Литвиненко, В.В., Пономарев, А.Г., Сагайдачный, М.А., Слатин, К.А., Уваров, В.В., Уваров, В.Т.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
• Теми: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111125
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Спектральный эллипсометрический комплекс для диагностики радиационных превращений в металлах и сплавах / А.И. Беляева, А.А. Галуза, В.Ф. Клепиков, В.В. Литвиненко, А.Г. Пономарев, М.А. Сагайдачный, К.А. Слатин, В.В. Уваров, В.Т. Уваров // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 2. — С. 191-197. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Описана проблема ранней диагностики радиационных преобразований, которые происходят на поверхности металлов и сплавов. Оптические методы рассматриваются как наиболее перспективные для исследования малых модификаций материалов. Создан автоматизированный спектральный многоугловой эллипсометр для исследования оптических свойств металлов и сплавов в видимом диапазоне спектра, разработано оригинальное математическое и программное обеспечение для управления экспериментом и первичной обработки экспериментальных данных. Проведена аттестация созданной установки, и на реальных образцах обнаружена высокая чувствительность эллипсометрических параметров к незначительным радиационным преобразованиям сплава Д16. Показана перспективность развития эллипсометрического метода для ранней оптической диагностики. Описана проблема ранньої діагностики радіаційних перетворень, які відбуваються на поверхні металів та сплавів. Оптичні методи розглядаються як найперспективніші для дослідження незначних модифікацій матеріалів. Створено автоматизований спектральний багатокутовий еліпсометр для дослідження оптичних властивостей металів та сплавів у видимому діапазоні спектра, розроблено оригінальне математичне та програмне забезпечення для керування експериментом і первинної обробки експериментальних даних. Проведена атестація створеної установки, та на реальних зразках виявлена висока чутливість еліпсометричних параметрів до незначних радіаційних перетворень сплаву Д16. Показана перспективність розвитку еліпсометричного метода для ранньої оптичної діагностики. The paper deals with to the problem of early diagnostics of radiation transformations that occur on metal and alloy surfaces. Optical methods are considered to be promising for investigation of marginal changes in metals. An automatic spectral multiangle ellipsometer was created for metal surfaces optical properties investigation in visible spectral range. Original mathematical algorithm and software were developed for experiment management and initial experimental data processing. Verification of the created equipment was performed. High sensitivity to radiation transformations was discovered in real samples of D16 alloy. Ellipsometric method was shown to be perspective for early optical diagnos-tics.