Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2011
• Main Authors: Аксёнов, И.И., Белоус, В.А., Заднепровский, Ю.А., Коваленко, В.И., Ломино, Н.С.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111437
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние малых добавок кремния на служебные характеристики нитрид-титановых покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус, Ю.А. Заднепровский, В.И. Коваленко, Н.С. Ломино // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 4. — С. 145-149. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Показано, что небольшие добавки кремния (до 3 вес. %) в покрытиях на основе нитридов титана приводят к значительным изменениям характеристик (стойкостипротив износа трением и против ионного распыления, эрозионной стойкости, шероховатости) получаемых конденсатов по сравнению с покрытиями на основе «ч...