Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications
The design of ribbon ion source and transport system is discussed in this paper. This system is created at ITEP for ion beam implantation in semiconductor technology. The Bernas type ion sources are used for ribbon ion beam production. The periodic system of electrostatic lenses is proposed for inte...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2008 |
| Main Authors: | , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111482 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications / E.S. Masunov, S.M. Polozov, T.V. Kulevoy, R.P. Kuibeda, V.I. Pershin, S.V. Petrenko, D.N. Seleznev, I.M. Shamailov, A.L. Sitnikov // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 5. — С. 64-67. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-111482 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Kuibeda, R.P. Pershin, V.I. Petrenko, S.V. Seleznev, D.N. Shamailov, I.M. Sitnikov, A.L. 2017-01-10T12:51:35Z 2017-01-10T12:51:35Z 2008 Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications / E.S. Masunov, S.M. Polozov, T.V. Kulevoy, R.P. Kuibeda, V.I. Pershin, S.V. Petrenko, D.N. Seleznev, I.M. Shamailov, A.L. Sitnikov // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 5. — С. 64-67. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 29.25.Ni, 61.72.Tt https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111482 The design of ribbon ion source and transport system is discussed in this paper. This system is created at ITEP for ion beam implantation in semiconductor technology. The Bernas type ion sources are used for ribbon ion beam production. The periodic system of electrostatic lenses is proposed for intensive ion beam transport. The results of implanter component development are observing. Розглядаються питання, пов'язані з розробкою стрічкового іонного пучка і системи транспортування. Система імплантації розробляється в ІТЕФ для імплантації іонного пучку у напівпровідники. Для одержання стрічкового іонного пучка використається джерело типу "Бернас". Для транспортування пучку запропоновано використати періодичну систему електростатичних лінз. Розглядаються результати розробки окремих частин імплантору. Рассматриваются вопросы, связанные с разработкой ленточного ионного пучка и системы транспортировки. Система имплантации разрабатывается в ИТЭФ для имплантации ионного пучка в полупроводники. Для получения ленточного ионного пучка используется источник типа «Бернас». Для транспортировки пучка предложено использовать периодическую систему электростатических линз. Рассматриваются результаты разработки отдельных частей имплантора. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и техника ускорителей Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications Розробка джерела і системи транспортування стрічкових іонних пучків для промислових цілей Разработка источника и системы транспортировки ленточных ионных пучков для промышленных целей Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| spellingShingle |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Kuibeda, R.P. Pershin, V.I. Petrenko, S.V. Seleznev, D.N. Shamailov, I.M. Sitnikov, A.L. Физика и техника ускорителей |
| title_short |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| title_full |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| title_fullStr |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| title_full_unstemmed |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| title_sort |
development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications |
| author |
Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Kuibeda, R.P. Pershin, V.I. Petrenko, S.V. Seleznev, D.N. Shamailov, I.M. Sitnikov, A.L. |
| author_facet |
Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kulevoy, T.V. Kuibeda, R.P. Pershin, V.I. Petrenko, S.V. Seleznev, D.N. Shamailov, I.M. Sitnikov, A.L. |
| topic |
Физика и техника ускорителей |
| topic_facet |
Физика и техника ускорителей |
| publishDate |
2008 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Розробка джерела і системи транспортування стрічкових іонних пучків для промислових цілей Разработка источника и системы транспортировки ленточных ионных пучков для промышленных целей |
| description |
The design of ribbon ion source and transport system is discussed in this paper. This system is created at ITEP for ion beam implantation in semiconductor technology. The Bernas type ion sources are used for ribbon ion beam production. The periodic system of electrostatic lenses is proposed for intensive ion beam transport. The results of implanter component development are observing.
Розглядаються питання, пов'язані з розробкою стрічкового іонного пучка і системи транспортування. Система імплантації розробляється в ІТЕФ для імплантації іонного пучку у напівпровідники. Для одержання стрічкового іонного пучка використається джерело типу "Бернас". Для транспортування пучку запропоновано використати періодичну систему електростатичних лінз. Розглядаються результати розробки окремих частин імплантору.
Рассматриваются вопросы, связанные с разработкой ленточного ионного пучка и системы транспортировки. Система имплантации разрабатывается в ИТЭФ для имплантации ионного пучка в полупроводники. Для получения ленточного ионного пучка используется источник типа «Бернас». Для транспортировки пучка предложено использовать периодическую систему электростатических линз. Рассматриваются результаты разработки отдельных частей имплантора.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111482 |
| citation_txt |
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications / E.S. Masunov, S.M. Polozov, T.V. Kulevoy, R.P. Kuibeda, V.I. Pershin, S.V. Petrenko, D.N. Seleznev, I.M. Shamailov, A.L. Sitnikov // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 5. — С. 64-67. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT masunoves developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT polozovsm developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT kulevoytv developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT kuibedarp developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT pershinvi developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT petrenkosv developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT seleznevdn developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT shamailovim developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT sitnikoval developmentofribbonionbeamsourceandtransportsystemforindustrialapplications AT masunoves rozrobkadžerelaísistemitransportuvannâstríčkovihíonnihpučkívdlâpromislovihcílei AT polozovsm rozrobkadžerelaísistemitransportuvannâstríčkovihíonnihpučkívdlâpromislovihcílei AT kulevoytv rozrobkadžerelaísistemitransportuvannâstríčkovihíonnihpučkívdlâpromislovihcílei AT kuibedarp rozrobkadžerelaísistemitransportuvannâstríčkovihíonnihpučkívdlâpromislovihcílei AT pershinvi rozrobkadžerelaísistemitransportuvannâstríčkovihíonnihpučkívdlâpromislovihcílei AT petrenkosv rozrobkadžerelaísistemitransportuvannâstríčkovihíonnihpučkívdlâpromislovihcílei AT seleznevdn rozrobkadžerelaísistemitransportuvannâstríčkovihíonnihpučkívdlâpromislovihcílei AT shamailovim rozrobkadžerelaísistemitransportuvannâstríčkovihíonnihpučkívdlâpromislovihcílei AT sitnikoval rozrobkadžerelaísistemitransportuvannâstríčkovihíonnihpučkívdlâpromislovihcílei AT masunoves razrabotkaistočnikaisistemytransportirovkilentočnyhionnyhpučkovdlâpromyšlennyhcelei AT polozovsm razrabotkaistočnikaisistemytransportirovkilentočnyhionnyhpučkovdlâpromyšlennyhcelei AT kulevoytv razrabotkaistočnikaisistemytransportirovkilentočnyhionnyhpučkovdlâpromyšlennyhcelei AT kuibedarp razrabotkaistočnikaisistemytransportirovkilentočnyhionnyhpučkovdlâpromyšlennyhcelei AT pershinvi razrabotkaistočnikaisistemytransportirovkilentočnyhionnyhpučkovdlâpromyšlennyhcelei AT petrenkosv razrabotkaistočnikaisistemytransportirovkilentočnyhionnyhpučkovdlâpromyšlennyhcelei AT seleznevdn razrabotkaistočnikaisistemytransportirovkilentočnyhionnyhpučkovdlâpromyšlennyhcelei AT shamailovim razrabotkaistočnikaisistemytransportirovkilentočnyhionnyhpučkovdlâpromyšlennyhcelei AT sitnikoval razrabotkaistočnikaisistemytransportirovkilentočnyhionnyhpučkovdlâpromyšlennyhcelei |
| first_indexed |
2025-12-07T18:27:49Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:27:49Z |
| _version_ |
1850875124966752256 |