Structure and properties of W, Ta and W-Ta coatings deposited with the use of a gas-plasma source

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2016
• Автори: Lunyov, V.M., Kuprin, A.S., Ovcharenko, V.D., Belous, V.A., Morozov, A.N., Ilchenko, A.V., Tolmachova, G.N., Reshetnyak, E.N., Vasilenko, R.L.
• Формат: Стаття
• Мова: Англійська
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
• Теми: Физика и технология конструкционных материалов
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111766
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Structure and properties of W, Ta and W-Ta coatings deposited with the use of a gas-plasma source / V.M. Lunyov, A.S. Kuprin, V.D. Ovcharenko, V.A. Belous, A.N. Morozov, A.V. Ilchenko, G.N. Tolmachova, E.N. Reshetnyak, R.L. Vasilenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 140-144. — Бібліогр.: 21 назв. — англ.

W, Ta and W-Ta coatings were deposited by argon ion sputtering of targets made from appropriate metals using the gas plasma source. Mechanical properties of the obtained coatings were investigated by the methods of X-ray fluorescence analysis, scanning electron microscopy, X-ray diffraction analysis and nanoindentation. It has been shown that the coatings have a bcc structure with crystallite size from 16 to 30 nm. Single-component coatings have a columnar structure. Introduction of Ta (5…38%) in the W coating leads to the columnar growth suppression and formation of a condensate with more equiaxial elements. Coatings with such a structure possess the best mechanical properties (H/E-0.7…0.77). За допомогою джерела газової плазми, шляхом розпилення іонами аргону мішеней з відповідних металів отримані W, Ta і W-Ta-покриття. Методами рентгенофлюоресцентного аналізу, скануючої електронної мік-роскопії, рентгеноструктурного аналізу та наноіндентування вивчені: склад, структура, а також механічні властивості отриманих покриттів. Показано, що покриття володіють ОЦК-структурою з розміром ОКР від 16 до 30 нм. Однокомпонентні покриття володіють стовбчастою структурою. Введення до складу W-покриття Та (5…38 мас.%) призводить до припинення стовпчастого росту і формуванню конденсату з більш равновісними структурними елементами. Покриття з такою структурою володіють кращими механічними властивостями (Н/Е-0,7...0,77). С помощью источника газовой плазмы, путем распыления ионами аргона мишеней из соответствующих металлов получены W, Ta и W-Ta-покрытия. Методами рентгенофлюоресцентого анализа, сканирующей электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа и наноиндентирования изучены: состав, структура, а также механические свойства полученных покрытий. Показано, что покрытия обладают ОЦК-структурой с размером ОКР от 16 до 30 нм. Однокомпонентные покрытия обладают столбчатой структурой. Введение в состав W-покрытия Та (5...38 мас.%) приводит к подавлению столбчатого роста и формированию конденсата с более равноосными структурными элементами. Покрытия с такой структурой обладают наилучшими механическими свойствами (Н/Е-0,7...0,77).