Structure and properties of W, Ta and W-Ta coatings deposited with the use of a gas-plasma source
W, Ta and W-Ta coatings were deposited by argon ion sputtering of targets made from appropriate metals using the gas plasma source. Mechanical properties of the obtained coatings were investigated by the methods of X-ray fluorescence analysis, scanning electron microscopy, X-ray diffraction analysis...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2016 |
| Автори: | , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2016
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111766 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Structure and properties of W, Ta and W-Ta coatings deposited with the use of a gas-plasma source / V.M. Lunyov, A.S. Kuprin, V.D. Ovcharenko, V.A. Belous, A.N. Morozov, A.V. Ilchenko, G.N. Tolmachova, E.N. Reshetnyak, R.L. Vasilenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 1. — С. 140-144. — Бібліогр.: 21 назв. — англ. |