Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system
In experiments on two helicon sources driven by a planar antenna, it is shown that the plasma density in the drift chamber and the energies and density of the ion flux onto the substrate holder can be effectively controlled by changing the local magnetic field and the holder potential. Експериментам...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112183 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system / V.F. Semenyuk, V.F. Virko, I.V. Korotash, L.S. Osipov, D.Yu. Polotsky, E.M. Rudenko,V.M. Slobodyan, K.P. Shamrai // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 179-182. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862568179057819648 |
|---|---|
| author | Semenyuk, V.F. Virko, V.F. Korotash, I.V. Osipov, L.S. Polotsky, D.Yu. Rudenko, E.M. Slobodyan, V.M. Shamrai, K.P. |
| author_facet | Semenyuk, V.F. Virko, V.F. Korotash, I.V. Osipov, L.S. Polotsky, D.Yu. Rudenko, E.M. Slobodyan, V.M. Shamrai, K.P. |
| citation_txt | Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system / V.F. Semenyuk, V.F. Virko, I.V. Korotash, L.S. Osipov, D.Yu. Polotsky, E.M. Rudenko,V.M. Slobodyan, K.P. Shamrai // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 179-182. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | In experiments on two helicon sources driven by a planar antenna, it is shown that the plasma density in the drift chamber and the energies and density of the ion flux onto the substrate holder can be effectively controlled by changing the local magnetic field and the holder potential.
Експериментами на двох геліконних джерелах з плоскою збуджуючою антеною показано, что густиною плазми в дрейфовій камері та енергіями і густиною іонного потоку на підкладинкотримач можна ефективно керувати зміненням локального магнітного поля і потенциалу тримача.
Экспериментами на двух геликонных источниках с плоской возбуждающей антенной показано, что плотностью плазмы в дрейфовой камере и энергиями и плотностью ионного потока на подложкодержатель можно эффективно управлять изменением локального магнитного поля и потенциала держателя.
|
| first_indexed | 2025-11-26T00:17:52Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112183 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-26T00:17:52Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Semenyuk, V.F. Virko, V.F. Korotash, I.V. Osipov, L.S. Polotsky, D.Yu. Rudenko, E.M. Slobodyan, V.M. Shamrai, K.P. 2017-01-17T20:14:46Z 2017-01-17T20:14:46Z 2013 Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system / V.F. Semenyuk, V.F. Virko, I.V. Korotash, L.S. Osipov, D.Yu. Polotsky, E.M. Rudenko,V.M. Slobodyan, K.P. Shamrai // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 179-182. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Dg; 52.50.Qt. https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112183 In experiments on two helicon sources driven by a planar antenna, it is shown that the plasma density in the drift chamber and the energies and density of the ion flux onto the substrate holder can be effectively controlled by changing the local magnetic field and the holder potential. Експериментами на двох геліконних джерелах з плоскою збуджуючою антеною показано, что густиною плазми в дрейфовій камері та енергіями і густиною іонного потоку на підкладинкотримач можна ефективно керувати зміненням локального магнітного поля і потенциалу тримача. Экспериментами на двух геликонных источниках с плоской возбуждающей антенной показано, что плотностью плазмы в дрейфовой камере и энергиями и плотностью ионного потока на подложкодержатель можно эффективно управлять изменением локального магнитного поля и потенциала держателя. This work was performed by the joint project
 № 5713 of the National Academy of Sciences of
 Ukraine and the Science and Technology Center in
 Ukraine. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system Керування параметрами, що визначають технологічні властивості геликонної розрядної системи Управление параметрами, определяющими технологические свойства геликонной разрядной системы Article published earlier |
| spellingShingle | Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system Semenyuk, V.F. Virko, V.F. Korotash, I.V. Osipov, L.S. Polotsky, D.Yu. Rudenko, E.M. Slobodyan, V.M. Shamrai, K.P. Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия |
| title | Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system |
| title_alt | Керування параметрами, що визначають технологічні властивості геликонної розрядної системи Управление параметрами, определяющими технологические свойства геликонной разрядной системы |
| title_full | Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system |
| title_fullStr | Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system |
| title_full_unstemmed | Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system |
| title_short | Сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system |
| title_sort | сontrolling parameters determining technological properties of a helicon discharge system |
| topic | Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия |
| topic_facet | Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112183 |
| work_keys_str_mv | AT semenyukvf sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem AT virkovf sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem AT korotashiv sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem AT osipovls sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem AT polotskydyu sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem AT rudenkoem sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem AT slobodyanvm sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem AT shamraikp sontrollingparametersdeterminingtechnologicalpropertiesofahelicondischargesystem AT semenyukvf keruvannâparametramiŝoviznačaûtʹtehnologíčnívlastivostígelikonnoírozrâdnoísistemi AT virkovf keruvannâparametramiŝoviznačaûtʹtehnologíčnívlastivostígelikonnoírozrâdnoísistemi AT korotashiv keruvannâparametramiŝoviznačaûtʹtehnologíčnívlastivostígelikonnoírozrâdnoísistemi AT osipovls keruvannâparametramiŝoviznačaûtʹtehnologíčnívlastivostígelikonnoírozrâdnoísistemi AT polotskydyu keruvannâparametramiŝoviznačaûtʹtehnologíčnívlastivostígelikonnoírozrâdnoísistemi AT rudenkoem keruvannâparametramiŝoviznačaûtʹtehnologíčnívlastivostígelikonnoírozrâdnoísistemi AT slobodyanvm keruvannâparametramiŝoviznačaûtʹtehnologíčnívlastivostígelikonnoírozrâdnoísistemi AT shamraikp keruvannâparametramiŝoviznačaûtʹtehnologíčnívlastivostígelikonnoírozrâdnoísistemi AT semenyukvf upravlenieparametramiopredelâûŝimitehnologičeskiesvoistvagelikonnoirazrâdnoisistemy AT virkovf upravlenieparametramiopredelâûŝimitehnologičeskiesvoistvagelikonnoirazrâdnoisistemy AT korotashiv upravlenieparametramiopredelâûŝimitehnologičeskiesvoistvagelikonnoirazrâdnoisistemy AT osipovls upravlenieparametramiopredelâûŝimitehnologičeskiesvoistvagelikonnoirazrâdnoisistemy AT polotskydyu upravlenieparametramiopredelâûŝimitehnologičeskiesvoistvagelikonnoirazrâdnoisistemy AT rudenkoem upravlenieparametramiopredelâûŝimitehnologičeskiesvoistvagelikonnoirazrâdnoisistemy AT slobodyanvm upravlenieparametramiopredelâûŝimitehnologičeskiesvoistvagelikonnoirazrâdnoisistemy AT shamraikp upravlenieparametramiopredelâûŝimitehnologičeskiesvoistvagelikonnoirazrâdnoisistemy |