Физические механизмы распыления мишеней из SiO₂ ускоренными ионами фуллерена C₆₀

• Date: 2015
• Main Authors: Малеев, М.В., Зубарев, Е.Н., Пуха, В.Е., Дроздов, А.Н., Вус, А.С.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
• Series: Металлофизика и новейшие технологии
• Subjects: Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112255
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Физические механизмы распыления мишеней из SiO₂ ускоренными ионами фуллерена C₆₀ / М. В. Малеев, Е. Н. Зубарев, В. Е. Пуха, А. Н. Дроздов, А. С. Вус // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 6. — С. 775-788. — Бібліогр.: 27 назв. — рос.

Исследованы физические закономерности и механизмы роста углеродных плёнок и эрозии поверхности при облучении мишеней из кварца (SiO₂) пучком ускоренных ионов C₆₀ с энергией в интервале 2,5—10 кэВ при температуре мишени 373 К. Установлено, что рост углеродных плёнок на поверхности облучаемых мишеней...