Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния

• Veröffentlicht in: Металлофизика и новейшие технологии
• Datum: 2016
• Hauptverfasser: Коломиец, В.Н., Кононенко, И.Н., Кравченко, С.Н., Захарец, М.И., Сторижко, В.Е., Возный, В.И., Бугай, А.Н., Девизенко, А.Ю.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2016
• Schlagworte: Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112579
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния / В.Н. Коломиец, И.Н. Кононенко, С.Н. Кравченко, М.И. Захарец, В.Е. Сторижко, В.И. Возный, А.Н. Бугай, А.Ю. Девизенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 6. — С. 815-823. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренног...