Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния
Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренног...
Saved in:
| Published in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112579 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния / В.Н. Коломиец, И.Н. Кононенко, С.Н. Кравченко, М.И. Захарец, В.Е. Сторижко, В.И. Возный, А.Н. Бугай, А.Ю. Девизенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 6. — С. 815-823. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862700617807429632 |
|---|---|
| author | Коломиец, В.Н. Кононенко, И.Н. Кравченко, С.Н. Захарец, М.И. Сторижко, В.Е. Возный, В.И. Бугай, А.Н. Девизенко, А.Ю. |
| author_facet | Коломиец, В.Н. Кононенко, И.Н. Кравченко, С.Н. Захарец, М.И. Сторижко, В.Е. Возный, В.И. Бугай, А.Н. Девизенко, А.Ю. |
| citation_txt | Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния / В.Н. Коломиец, И.Н. Кононенко, С.Н. Кравченко, М.И. Захарец, В.Е. Сторижко, В.И. Возный, А.Н. Бугай, А.Ю. Девизенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 6. — С. 815-823. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия.
Методою Резерфордового зворотнього розсіяння було визначено товщини шарів кобальту та вуглецю у багатошаровому періодичному покритті [Со/С]₁₀, виготовленому методою магнетронного розпорошення. Одержані результати добре узгоджуються (розбіжність менше 6%) з товщиною шарів за даними моделювання виміряного спектру малокутової рентґенівської дифракції покриття.
The periodic multilayer [Со/С]₁₀ coating is deposited by means of the magnetron sputtering. The thicknesses of the cobalt and carbon layers are determined by the Rutherford backscattering (RBS) method. These results are in a good agreement (with divergence less than 6%) with results of simulation of small-angle X-ray diffraction.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:39:34Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-112579 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:39:34Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Коломиец, В.Н. Кононенко, И.Н. Кравченко, С.Н. Захарец, М.И. Сторижко, В.Е. Возный, В.И. Бугай, А.Н. Девизенко, А.Ю. 2017-01-23T17:19:31Z 2017-01-23T17:19:31Z 2016 Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния / В.Н. Коломиец, И.Н. Кононенко, С.Н. Кравченко, М.И. Захарец, В.Е. Сторижко, В.И. Возный, А.Н. Бугай, А.Ю. Девизенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 6. — С. 815-823. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 29.30.Ep, 34.50.-s, 61.05.cf, 61.05.cp, 68.55.J-, 81.15.Cd, 82.80.Yc DOI: 10.15407/mfint.38.06.0815 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112579 Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С]₁₀, изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия. Методою Резерфордового зворотнього розсіяння було визначено товщини шарів кобальту та вуглецю у багатошаровому періодичному покритті [Со/С]₁₀, виготовленому методою магнетронного розпорошення. Одержані результати добре узгоджуються (розбіжність менше 6%) з товщиною шарів за даними моделювання виміряного спектру малокутової рентґенівської дифракції покриття. The periodic multilayer [Со/С]₁₀ coating is deposited by means of the magnetron sputtering. The thicknesses of the cobalt and carbon layers are determined by the Rutherford backscattering (RBS) method. These results are in a good agreement (with divergence less than 6%) with results of simulation of small-angle X-ray diffraction. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния Визначення товщини шарів багатошарових періодичних покриттів методом резерфордівського зворотного розсіювання Determination of a Thickness of Layers of Multilayer Periodic Coatings by a Method of the Rutherford Backscattering Article published earlier |
| spellingShingle | Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния Коломиец, В.Н. Кононенко, И.Н. Кравченко, С.Н. Захарец, М.И. Сторижко, В.Е. Возный, В.И. Бугай, А.Н. Девизенко, А.Ю. Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| title | Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| title_alt | Визначення товщини шарів багатошарових періодичних покриттів методом резерфордівського зворотного розсіювання Determination of a Thickness of Layers of Multilayer Periodic Coatings by a Method of the Rutherford Backscattering |
| title_full | Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| title_fullStr | Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| title_full_unstemmed | Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| title_short | Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| title_sort | определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния |
| topic | Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| topic_facet | Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112579 |
| work_keys_str_mv | AT kolomiecvn opredelenietolŝinysloevmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiimetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT kononenkoin opredelenietolŝinysloevmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiimetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT kravčenkosn opredelenietolŝinysloevmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiimetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT zaharecmi opredelenietolŝinysloevmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiimetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT storižkove opredelenietolŝinysloevmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiimetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT voznyivi opredelenietolŝinysloevmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiimetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT bugaian opredelenietolŝinysloevmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiimetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT devizenkoaû opredelenietolŝinysloevmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiimetodomrezerfordovskogoobratnogorasseâniâ AT kolomiecvn viznačennâtovŝinišarívbagatošarovihperíodičnihpokrittívmetodomrezerfordívsʹkogozvorotnogorozsíûvannâ AT kononenkoin viznačennâtovŝinišarívbagatošarovihperíodičnihpokrittívmetodomrezerfordívsʹkogozvorotnogorozsíûvannâ AT kravčenkosn viznačennâtovŝinišarívbagatošarovihperíodičnihpokrittívmetodomrezerfordívsʹkogozvorotnogorozsíûvannâ AT zaharecmi viznačennâtovŝinišarívbagatošarovihperíodičnihpokrittívmetodomrezerfordívsʹkogozvorotnogorozsíûvannâ AT storižkove viznačennâtovŝinišarívbagatošarovihperíodičnihpokrittívmetodomrezerfordívsʹkogozvorotnogorozsíûvannâ AT voznyivi viznačennâtovŝinišarívbagatošarovihperíodičnihpokrittívmetodomrezerfordívsʹkogozvorotnogorozsíûvannâ AT bugaian viznačennâtovŝinišarívbagatošarovihperíodičnihpokrittívmetodomrezerfordívsʹkogozvorotnogorozsíûvannâ AT devizenkoaû viznačennâtovŝinišarívbagatošarovihperíodičnihpokrittívmetodomrezerfordívsʹkogozvorotnogorozsíûvannâ AT kolomiecvn determinationofathicknessoflayersofmultilayerperiodiccoatingsbyamethodoftherutherfordbackscattering AT kononenkoin determinationofathicknessoflayersofmultilayerperiodiccoatingsbyamethodoftherutherfordbackscattering AT kravčenkosn determinationofathicknessoflayersofmultilayerperiodiccoatingsbyamethodoftherutherfordbackscattering AT zaharecmi determinationofathicknessoflayersofmultilayerperiodiccoatingsbyamethodoftherutherfordbackscattering AT storižkove determinationofathicknessoflayersofmultilayerperiodiccoatingsbyamethodoftherutherfordbackscattering AT voznyivi determinationofathicknessoflayersofmultilayerperiodiccoatingsbyamethodoftherutherfordbackscattering AT bugaian determinationofathicknessoflayersofmultilayerperiodiccoatingsbyamethodoftherutherfordbackscattering AT devizenkoaû determinationofathicknessoflayersofmultilayerperiodiccoatingsbyamethodoftherutherfordbackscattering |