Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений
Проведён сравнительный анализ структуры и свойств покрытий на основе тугоплавких соединений в зависимости от условий осаждения (температуры и потенциала подложки, парциального давления рабочего газа). Выявлены общие закономерности для твёрдых и сверхтвёрдых наноструктурных (нанокомпозитных) покрытий...
Saved in:
| Date: | 2016 |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2016
|
| Series: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/112609 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Структурные особенности формируемых покрытий и плёнок тугоплавких соединений / А. Д. Погребняк, А. А. Гончаров // Металлофизика и новейшие технологии. — 2016. — Т. 38, № 9. — С. 1145-1166. — Бібліогр.: 52 назв. — рос. |