Electroreflectance spectroscopy and scanning electron microscopy study of microrelief silicon wafers with various surface pretreatments
The effect of various pretreatments on the performance of microrelief (textured) Si wafers was studied by the techniques of low-field electroreflectance spectroscopy, scanning electron microscopy, and electron diffraction. Four types of preliminary treatments were employed to prepare microrelief sur...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 1998 |
| Автори: | Gorbach, T.Ya., Holiney, R.Yu., Matiyuk, I.M., Matveeva, L.A., Svechnikov, S.V., Venger, E.F. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/114672 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Electroreflectance spectroscopy and scanning electron microscopy study of microrelief silicon wafers with various surface pretreatments / T.Ya. Gorbach, R.Yu. Holiney, I.M. Matiyuk, L.A. Matveeva, S.V. Svechnikov, E.F. Venger // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 1998. — Т. 1, № 1. — С. 66-70. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Investigation of the undersurface damaged layers in silicon wafers
за авторством: Holiney, R.Yu., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Holiney, R.Yu., та інші
Опубліковано: (1999)
Electron properties of semiconductor surface studied by the electroreflectance spectroscopy method
за авторством: Gentsar, P.A., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Gentsar, P.A., та інші
Опубліковано: (2005)
Scanning-tunneling microscopy/spectroscopy and break-junction tunneling spectroscopy of FeSe₁–xTex
за авторством: Ekino, T., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Ekino, T., та інші
Опубліковано: (2013)
Scanning-tunneling microscopy/spectroscopy and break-junction tunneling spectroscopy of FeSe1-xTex
за авторством: T. Ekino, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: T. Ekino, та інші
Опубліковано: (2013)
New directions in point-contact spectroscopy based on scanning tunneling microscopy techniques (Review Article)
за авторством: Tartaglini, E., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Tartaglini, E., та інші
Опубліковано: (2013)
Spatial resolution of scanning tunneling microscopy
за авторством: Rozouvan, T., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Rozouvan, T., та інші
Опубліковано: (2015)
Infrared spectroscopy and electroreflectance in the region of fundamental optical transition E₀ of heavily doped n-GaAs (100)
за авторством: Gentsar, P.O., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Gentsar, P.O., та інші
Опубліковано: (2009)
Electron beam application for mechanical stress relaxation and for SI-SIO₂ interface structural regulation
за авторством: Matveeva, L.A., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Matveeva, L.A., та інші
Опубліковано: (1999)
New materials for luminescent scanning near-field microscopy
за авторством: Chornii, V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Chornii, V., та інші
Опубліковано: (2013)
Atomic structures and nanoscale electronic states on the surface of MgB2 superconductor observed by scanning tunneling microscopy and spectroscopy
за авторством: A. Sugimoto, та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: A. Sugimoto, та інші
Опубліковано: (2019)
Scanning Tunneling Microscopy/Spectroscopy and Low-Energy Electron Diffraction Investigations of GaTe Layered Crystal Cleavage Surface
за авторством: P. Galiy, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: P. Galiy, та інші
Опубліковано: (2015)
Electromigration and diffusion researches in scanning probe microscopy of solid electrolytes
за авторством: A. N. Morozovska, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: A. N. Morozovska, та інші
Опубліковано: (2015)
Electromigration and diffusion researches in scanning probe microscopy of solid electrolytes
за авторством: H. M. Morozovska, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: H. M. Morozovska, та інші
Опубліковано: (2015)
In situ scanning electron microscopy study of fatigue crack propagation
за авторством: Jacobsson, L., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Jacobsson, L., та інші
Опубліковано: (2008)
Scanning near-field optical microscopy of magnetic structures in magnetic films
за авторством: Belotelov, V.I., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Belotelov, V.I., та інші
Опубліковано: (2004)
Enhanced 2D plotting method for scanning probe microscopy imaging
за авторством: G. V. Beketov
Опубліковано: (2011)
за авторством: G. V. Beketov
Опубліковано: (2011)
Study of Structural-Relaxation Processes on Surface of Amorphous Fe77Si8B15 Alloy by the Methods of Scanning Tunnelling Microscopy and Spectroscopy
за авторством: V. L. Karbovskij, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: V. L. Karbovskij, та інші
Опубліковано: (2012)
Indium induced nanostructures on In₄Se₃(100) surface studied by scanning tunneling microscopy
за авторством: Galiy, P.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Galiy, P.V., та інші
Опубліковано: (2013)
Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate
за авторством: Chafia Atailia, та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Chafia Atailia, та інші
Опубліковано: (2018)
The exact solution of self-consistent equations in the scanning near-field optic microscopy problem
за авторством: Lozovski, V., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Lozovski, V., та інші
Опубліковано: (1999)
Scanning electron microscopy in the study of the structures of eutectic alloys of iron and chromium with refractory borides
за авторством: Ye. Panarin
Опубліковано: (2019)
за авторством: Ye. Panarin
Опубліковано: (2019)
The possibility to determine a constant of spin-orbit interaction by scanning tunneling microscopy method
за авторством: N. V. Khotkevich, та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: N. V. Khotkevich, та інші
Опубліковано: (2016)
Microanalysis of magnetic structure of yttrium-iron garnet films by scanning probe microscopy methods
за авторством: O. I. Synhaivska, та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: O. I. Synhaivska, та інші
Опубліковано: (2016)
Scanning Electron Microscopy Provides a Novel Method to Map Abdominal Musculature in Archaeognatha (Insecta)
за авторством: Matushkina, N.
Опубліковано: (2025)
за авторством: Matushkina, N.
Опубліковано: (2025)
Wet-mode scanning electron microscopy as an instrument for studies of biogeochemical processes of fungal biominerals formation
за авторством: M. A. Fomina, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: M. A. Fomina, та інші
Опубліковано: (2015)
Scanning tunneling microscopy investigation of the Si(001)-c(8 Ч 8) nanostructured surface
за авторством: A. Goriachko, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: A. Goriachko, та інші
Опубліковано: (2015)
Scanning tunneling microscopy investigation of the Si(001)-c(8 Ч 8) nanostructured surface
за авторством: A. Goriachko, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: A. Goriachko, та інші
Опубліковано: (2015)
Scanning Electron Microscopy Provides a Novel Method to Map Abdominal Musculature in Archaeognatha (Insecta)
за авторством: Matushkina, N.
Опубліковано: (2025)
за авторством: Matushkina, N.
Опубліковано: (2025)
Study of phase transformations in silicon by scanning tunneling spectroscopy and nanoindentation
за авторством: O. G. Lysenko, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: O. G. Lysenko, та інші
Опубліковано: (2013)
Diffraction Control of Optical Discs Microrelief
за авторством: Antonov, E. E., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Antonov, E. E., та інші
Опубліковано: (2016)
Adsorption of various compounds onto nanooxides unmodified and differently pretreated
за авторством: V. M. Gun’ko, та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: V. M. Gun’ko, та інші
Опубліковано: (2023)
Study of nanostructured layers of single-crystal silicon by scanning tunnel spectroscopy
за авторством: Kulyk, S.P., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulyk, S.P., та інші
Опубліковано: (2008)
Balance model for contactless chemo-mechanical polishing of wafers
за авторством: Grigoriev, N.N., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Grigoriev, N.N., та інші
Опубліковано: (2002)
A suggestion of the graphene/Ge(111) structure based on ultra-high vacuum scanning tunneling microscopy investigation
за авторством: A. Horiachko, та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: A. Horiachko, та інші
Опубліковано: (2016)
A suggestion of the graphene/Ge(111) structure based on ultra-high vacuum scanning tunneling microscopy investigation
за авторством: A. Goriachko, та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: A. Goriachko, та інші
Опубліковано: (2016)
Vacuum method for creation of liquid crystal orienting microrelief
за авторством: Kolomzarov, Yu., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Kolomzarov, Yu., та інші
Опубліковано: (2003)
Optical spectroscopy and microscopy of radiationinduced light-emitting point defects in lithium fluoride crystals and films
за авторством: Montereali, R.M., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Montereali, R.M., та інші
Опубліковано: (2012)
Drift correction of the analyzed area during the study of the lateral elemental composition distribution in single semiconductor nanostructures by scanning Auger microscopy
за авторством: Ponomaryov, S.S., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Ponomaryov, S.S., та інші
Опубліковано: (2016)
Drift correction of the analyzed area during the study of the lateral elemental composition distribution in single semiconductor nanostructures by scanning Auger microscopy
за авторством: S. S. Ponomaryov, та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: S. S. Ponomaryov, та інші
Опубліковано: (2016)
Seed pretreatment improve resistance to allelopathic stress
за авторством: N. P. Didyk
Опубліковано: (2017)
за авторством: N. P. Didyk
Опубліковано: (2017)
Схожі ресурси
-
Investigation of the undersurface damaged layers in silicon wafers
за авторством: Holiney, R.Yu., та інші
Опубліковано: (1999) -
Electron properties of semiconductor surface studied by the electroreflectance spectroscopy method
за авторством: Gentsar, P.A., та інші
Опубліковано: (2005) -
Scanning-tunneling microscopy/spectroscopy and break-junction tunneling spectroscopy of FeSe₁–xTex
за авторством: Ekino, T., та інші
Опубліковано: (2013) -
Scanning-tunneling microscopy/spectroscopy and break-junction tunneling spectroscopy of FeSe1-xTex
за авторством: T. Ekino, та інші
Опубліковано: (2013) -
New directions in point-contact spectroscopy based on scanning tunneling microscopy techniques (Review Article)
за авторством: Tartaglini, E., та інші
Опубліковано: (2013)