Magnetic field influence on the discharge parameters of two-stage gas-metal plasma source
The discharge parameters and vacuum regimes of the two-stage gas-metal plasma source are presented for three configurations of magnetic field. Distributions of deposited flows, current and voltage characteristics of the discharge, current characteristics for reflective electrodes and target are pr...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2016 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2016
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115449 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Magnetic field influence on the discharge parameters of two-stage gas-metal plasma source / S.V. Shariy, V.B. Yuferov, M.O. Shvets, V.I. Tkachov, V.V. Katrechko // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 191-194. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |