Magnetic field influence on the discharge parameters of two-stage gas-metal plasma source
The discharge parameters and vacuum regimes of the two-stage gas-metal plasma source are presented for three configurations of magnetic field. Distributions of deposited flows, current and voltage characteristics of the discharge, current characteristics for reflective electrodes and target are pr...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2016 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2016
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115449 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Magnetic field influence on the discharge parameters of two-stage gas-metal plasma source / S.V. Shariy, V.B. Yuferov, M.O. Shvets, V.I. Tkachov, V.V. Katrechko // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 191-194. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSchreiben Sie den ersten Kommentar!