Magnetic field influence on the discharge parameters of two-stage gas-metal plasma source

The discharge parameters and vacuum regimes of the two-stage gas-metal plasma source are presented for three configurations of magnetic field. Distributions of deposited flows, current and voltage characteristics of the discharge, current characteristics for reflective electrodes and target are pr...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2016
Hauptverfasser: Shariy, S.V., Yuferov, V.B., Shvets, M.O., Tkachov, V.I., Katrechko, V.V.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2016
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/115449
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Magnetic field influence on the discharge parameters of two-stage gas-metal plasma source / S.V. Shariy, V.B. Yuferov, M.O. Shvets, V.I. Tkachov, V.V. Katrechko // Вопросы атомной науки и техники. — 2016. — № 6. — С. 191-194. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine