Buchumschlag

Диодные структуры и электрические свойства пленок ZnO, полученных методом атомного послойного осаждения

Разработаны и представлены технологические режимы, позволяющие получать ZnO пленки с концентрацией носителей порядка 10¹⁶–10¹⁷см⁻³ методом атомного послойного осаждения (АПО). Проанализированы зависимости концентрации электронов от технологических режимов. Показаны возможности технологии АПО для пол...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Оптоэлектроника и полупроводниковая техника
Datum:	2016
1. Verfasser:	Семикина, Т.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2016
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116792
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Диодные структуры и электрические свойства пленок ZnO, полученных методом атомного послойного осаждения / Т.В. Семикина // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника: Сб. научн. тр. — 2016. — Вип. 51. — С. 150-157. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Столбчатая структура и оптические свойства пленок ZnO, полученных электрохимическим методом
von: Чертопалов, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
von: Юрченко, Г.В.
Veröffentlicht: (2000)

Синтез и электрокаталитические свойства пленок на основе нанодисперсного ZnO
von: Воробец, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Температурная зависимость пленок Pr₀,₆₅Ca₀,₃₅MnO₃, полученных методом импульсного лазеpного осаждения
von: Прохоров, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Диодные реакторные системы микротравления
von: Фареник, В.И.
Veröffentlicht: (2002)

Влияние температуры обработки на структурные и оптические свойства наноструктурированных ZnO:Al-плёнок, формируемых золь–гель-методом
von: Сидский, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распылении на a-Si
von: Севрюкова, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Коллективные процессы атомного упорядочения при низкотемпературном осаждении пленок
von: Марченко, И.Г., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Электрические свойства пленок BiSrCaCuO (2223)
von: Окунев, В.Д., et al.
Veröffentlicht: (1996)

Электрические свойства металлических нанопроволок, полученных в квантованных вихрях сверхтекучего гелия
von: Гордон, Е.Б., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Структура и свойства покрытий из ZnO
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Rubtsevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
von: Катеринчук, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
von: Katerynchuk, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
von: Кунченко, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Свойства гафниевых прутков, полученных методом ковки
von: Волокита, Г.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Электрические свойства эрбиевых кобальтитов
von: Цзян, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Процессы переноса электронов, низкотемпературные электрические и гальваномагнитные свойства пленок оксидов цинка и индия
von: Кульбачинский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Влияние отжига на электрические и магнитные свойства плёнок Ni₂МnGа
von: Крупа, Н.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления
von: Белецкая, О.Е., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Распределение химического состава по глубине в пленках Cr-O-N, полученных методом ионно-стимулированного осаждения
von: Стервоедов, А.Н.
Veröffentlicht: (2009)

Динамическая стабильность процесса точения никелевых суперсплавов при применении резцедержателя, полученного методом послойного лазерного спекания
von: Гутниченко, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Влияние кластеров с металлической проводимостью на электрические и оптические свойства аморфных пленок a-C‹N›
von: Варюхин, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
von: Бобренко, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Изучение адсорбционных состояний в керамике ZnO–Ag методом ТВЭ-кривых
von: Lyashkov, A. Yu.
Veröffentlicht: (2013)

Изучение адсорбционных состояний в керамике ZnO—Ag методом ТВЭ-кривых
von: Ляшков, А.Ю.
Veröffentlicht: (2013)

Взаимодействие в системе ZnS—ZnO—Sb₂S₃
von: Зинченко, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD
von: Ковальчук, И.К., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Систематизоване дослідження теорії атомного ядра
von: Вишневський, І.
Veröffentlicht: (2001)

Радиографический метод определения атомного состава
von: Найденов, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Structure and properties of ZnO coatings
von: A. D. Pogrebnjak, et al.
Veröffentlicht: (2010)

Оптоэлектронные сенсорные структуры на основе пленок пористого оксида алюминия, полученных импульсным лазерным осаждением
von: Ушенин, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Interaction in the system ZnS—ZnO—Sb2S3
von: V. F. Zinchenko, et al.
Veröffentlicht: (2011)

Особенности структурно-фазового состояния многокомпонентных покрытий на основе Zr-Ti-Sі-N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
von: Соболь, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении
von: Тесленко-Пономаренко, В.В.
Veröffentlicht: (2003)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние подложки на электрические и магнитные свойства пленок NdSrMnO₃-системы с дефицитом ионов марганца
von: Хохлов, В.А.
Veröffentlicht: (2010)

New ZnO/Au/ZnO multilayer field effect transistor with extended gate as a sensing membrane
von: H. S. Rasheed, et al.
Veröffentlicht: (2017)

Протонодонорная способность и электрические свойства яблочной кислоты
von: Пономаренко, С.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Структура конденсатов диоксида титана, полученных способом электронно-лучевого осаждения в вакууме
von: Крушинская, Л.А.
Veröffentlicht: (2014)