Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления

• Veröffentlicht in: Журнал физики и инженерии поверхности
• Datum: 2016
• Hauptverfasser: Першин, Ю.П., Девизенко, А.Ю., Мамон, В.В., Чумак, В.С., Кондратенко, В.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2016
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116806
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления / Ю.П. Першин, А.Ю. Девизенко, В.В. Мамон, В.С. Чумак, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 27-41. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Методами рентгеновской дифрактометрии и рентгеновской рефлектометрии (λ = 0,154 нм) исследованы структура и фазовый состав многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si, изготовленных методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что в результате взаимодействия компонентов в многослойной с...