Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления

Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления

Методами рентгеновской дифрактометрии и рентгеновской рефлектометрии (λ = 0,154 нм) исследованы структура и фазовый состав многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si, изготовленных методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что в результате взаимодействия компонентов в многослойной с...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Журнал физики и инженерии поверхности
Date:2016
Main Authors: Першин, Ю.П., Девизенко, А.Ю., Мамон, В.В., Чумак, В.С., Кондратенко, В.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2016
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116806
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления / Ю.П. Першин, А.Ю. Девизенко, В.В. Мамон, В.С. Чумак, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 27-41. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-116806
record_format dspace
spelling Першин, Ю.П.
Девизенко, А.Ю.
Мамон, В.В.
Чумак, В.С.
Кондратенко, В.В.
2017-05-16T06:18:53Z
2017-05-16T06:18:53Z
2016
Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления / Ю.П. Першин, А.Ю. Девизенко, В.В. Мамон, В.С. Чумак, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 27-41. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
2519-2485
PACS: 61.05.cm, 61.43.Dq, 68.65.Ac, 41.50.+h, 07.85.Fv
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116806
523.9-739 : 535.34 : 321.386.8 : 681.7.062.12
Методами рентгеновской дифрактометрии и рентгеновской рефлектометрии (λ = 0,154 нм) исследованы структура и фазовый состав многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si, изготовленных методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что в результате взаимодействия компонентов в многослойной системе на межфазных границах формируются асимметричные силицидные прослойки как по составу, так и по толщине. Сделаны оценки плотности каждого из слоев МРЗ W/Si. Предложена модель строения аморфных МРЗ W/Si.
Методами рентгенівської дифрактометрії та рентгенівської рефрактометрії (λ = 0,154 нм) досліджені структура та фазовий склад багатошарових рентгенівських дзеркал (БРД) W/Si, виготовлених методом магнетронного розпилення. Встановлено, що в результаті взаємодії компонентів у багатошаровій системі на міжфазних межах формуються асиметричні силіцидні прошарки неоднакового складу та товщини. Зроблена оцінка густини кожного шару БРД W/Si. Запропонована модель будови БРД W/Si.
By methods of X-ray diffractometry and relectometry (λ = 0.154 nm) the structure and phase composition of W/Si multilayer X-ray mirrors (MXMs) deposited with DC magnetron sputtering are studied. It is shown that as a result of component interaction during the deposition process asymmetric silicide interlayers are formed at interfaces of multilayer system. The adjacent interlayers within the MXM period differ both by composition and thickness. The densities of each layer are estimated. Model of W/Si MXM construction is proposed.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Журнал физики и инженерии поверхности
Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
Структура, фазовий склад та модель росту аморфних багатошарових рентгенівських дзеркал w-Si, виготовлених методом магнетронного розпилу
Structure, phase composition and growth model of amorphous W/Si multilayer X-ray mirrors deposited by magnetron sputtering
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
spellingShingle Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
Першин, Ю.П.
Девизенко, А.Ю.
Мамон, В.В.
Чумак, В.С.
Кондратенко, В.В.
title_short Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
title_full Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
title_fullStr Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
title_full_unstemmed Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления
title_sort структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал w-si, изготовленных методом магнетронного распыления
author Першин, Ю.П.
Девизенко, А.Ю.
Мамон, В.В.
Чумак, В.С.
Кондратенко, В.В.
author_facet Першин, Ю.П.
Девизенко, А.Ю.
Мамон, В.В.
Чумак, В.С.
Кондратенко, В.В.
publishDate 2016
language Russian
container_title Журнал физики и инженерии поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Структура, фазовий склад та модель росту аморфних багатошарових рентгенівських дзеркал w-Si, виготовлених методом магнетронного розпилу
Structure, phase composition and growth model of amorphous W/Si multilayer X-ray mirrors deposited by magnetron sputtering
description Методами рентгеновской дифрактометрии и рентгеновской рефлектометрии (λ = 0,154 нм) исследованы структура и фазовый состав многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Si, изготовленных методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что в результате взаимодействия компонентов в многослойной системе на межфазных границах формируются асимметричные силицидные прослойки как по составу, так и по толщине. Сделаны оценки плотности каждого из слоев МРЗ W/Si. Предложена модель строения аморфных МРЗ W/Si. Методами рентгенівської дифрактометрії та рентгенівської рефрактометрії (λ = 0,154 нм) досліджені структура та фазовий склад багатошарових рентгенівських дзеркал (БРД) W/Si, виготовлених методом магнетронного розпилення. Встановлено, що в результаті взаємодії компонентів у багатошаровій системі на міжфазних межах формуються асиметричні силіцидні прошарки неоднакового складу та товщини. Зроблена оцінка густини кожного шару БРД W/Si. Запропонована модель будови БРД W/Si. By methods of X-ray diffractometry and relectometry (λ = 0.154 nm) the structure and phase composition of W/Si multilayer X-ray mirrors (MXMs) deposited with DC magnetron sputtering are studied. It is shown that as a result of component interaction during the deposition process asymmetric silicide interlayers are formed at interfaces of multilayer system. The adjacent interlayers within the MXM period differ both by composition and thickness. The densities of each layer are estimated. Model of W/Si MXM construction is proposed.
issn 2519-2485
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/116806
citation_txt Структура, фазовый состав и модель роста аморфных многослойных рентгеновских зеркал W-Si, изготовленных методом магнетронного распыления / Ю.П. Першин, А.Ю. Девизенко, В.В. Мамон, В.С. Чумак, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2016. — Т. 1, № 1. — С. 27-41. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT peršinûp strukturafazovyisostavimodelʹrostaamorfnyhmnogosloinyhrentgenovskihzerkalwsiizgotovlennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ
AT devizenkoaû strukturafazovyisostavimodelʹrostaamorfnyhmnogosloinyhrentgenovskihzerkalwsiizgotovlennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ
AT mamonvv strukturafazovyisostavimodelʹrostaamorfnyhmnogosloinyhrentgenovskihzerkalwsiizgotovlennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ
AT čumakvs strukturafazovyisostavimodelʹrostaamorfnyhmnogosloinyhrentgenovskihzerkalwsiizgotovlennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ
AT kondratenkovv strukturafazovyisostavimodelʹrostaamorfnyhmnogosloinyhrentgenovskihzerkalwsiizgotovlennyhmetodommagnetronnogoraspyleniâ
AT peršinûp strukturafazoviiskladtamodelʹrostuamorfnihbagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalwsivigotovlenihmetodommagnetronnogorozpilu
AT devizenkoaû strukturafazoviiskladtamodelʹrostuamorfnihbagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalwsivigotovlenihmetodommagnetronnogorozpilu
AT mamonvv strukturafazoviiskladtamodelʹrostuamorfnihbagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalwsivigotovlenihmetodommagnetronnogorozpilu
AT čumakvs strukturafazoviiskladtamodelʹrostuamorfnihbagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalwsivigotovlenihmetodommagnetronnogorozpilu
AT kondratenkovv strukturafazoviiskladtamodelʹrostuamorfnihbagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalwsivigotovlenihmetodommagnetronnogorozpilu
AT peršinûp structurephasecompositionandgrowthmodelofamorphouswsimultilayerxraymirrorsdepositedbymagnetronsputtering
AT devizenkoaû structurephasecompositionandgrowthmodelofamorphouswsimultilayerxraymirrorsdepositedbymagnetronsputtering
AT mamonvv structurephasecompositionandgrowthmodelofamorphouswsimultilayerxraymirrorsdepositedbymagnetronsputtering
AT čumakvs structurephasecompositionandgrowthmodelofamorphouswsimultilayerxraymirrorsdepositedbymagnetronsputtering
AT kondratenkovv structurephasecompositionandgrowthmodelofamorphouswsimultilayerxraymirrorsdepositedbymagnetronsputtering
first_indexed 2025-12-07T15:26:38Z
last_indexed 2025-12-07T15:26:38Z
_version_ 1850863725832044544

Similar Items