Determination of surface defects by using the wavefront scanner

• Опубліковано в: : Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
• Дата: 2010
• Автори: Goloborodko, N.S., Grygoruk, V.I., Kurashov, V.N., Podanchuk, D.V., Goloborodko, A.A., Kotov, M.M.
• Формат: Стаття
• Мова: Англійська
• Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/117744
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Determination of surface defects by using the wavefront scanner / N.S. Goloborodko, V.I. Grygoruk, V.N. Kurashov, D.V. Podanchuk, A.A. Goloborodko, M.M. Kotov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2010. — Т. 13, № 1. — С. 65-69. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

The possibility of changes in the polarization state of the laser beam reflected
 from inhomogeneity with the refractive index gradient is theoretically shown, which
 allows separating the phase shifts related with relief inhomogeneities and local changes
 of the surface refr...