Chemical composition and light emission properties of Si-rich-SiOx layers prepared by magnetron sputtering
The process of thermal decomposition of SiOx layers prepared by magnetron
 sputtering is studied with the use of photoluminescence and Auger and SIMS
 spectroscopies. From these measurements, we obtained the distributions of the emission
 properties and the chemical compositi...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 2007 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/118344 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Chemical composition and light emission properties of Si-rich-SiOx layers prepared by magnetron sputtering / L. Khomenkova, N. Korsunska, M. Sheinkman, T. Stara // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2007. — Т. 10, № 4. — С. 21-25. — Бібліогр.: 16 назв. — англ. |