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Chemical composition and light emission properties of Si-rich-SiOx layers prepared by magnetron sputtering

The process of thermal decomposition of SiOx layers prepared by magnetron sputtering is studied with the use of photoluminescence and Auger and SIMS spectroscopies. From these measurements, we obtained the distributions of the emission properties and the chemical compositi...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Datum:	2007
Hauptverfasser:	Khomenkova, L., Korsunska, N., Sheinkman, M., Stara, T.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/118344
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Chemical composition and light emission properties of Si-rich-SiOx layers prepared by magnetron sputtering / L. Khomenkova, N. Korsunska, M. Sheinkman, T. Stara // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2007. — Т. 10, № 4. — С. 21-25. — Бібліогр.: 16 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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