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Optical properties of thin films of titanium with transient layers on them

Within the Beattie spectroellipsometric method, we measured the ellipsometric parameters of thin Ті films deposited onto glass substrates by magnetron sputtering in argon atmosphere. Measurements were carried out at five angles of incidence with light from the visible and...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Datum:	2010
Hauptverfasser:	Lendel, V.V., Lomakina, O.V., Mel’nychenko, L.Yu., Shaykevich, I.A.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/118394
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Optical properties of thin films of titanium with transient layers on them /V.V. Lendel, O.V. Lomakina, L.Yu. Mel’nychenko, I.A. Shaykevich // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2010. — Т. 13, № 3. — С. 231-234. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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