Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil

The conditions for the optimal balance among the degree of agglomeration of aerosil in the polishing suspension, removal rate, and the quality of the polished sapphire surface under chemical-mechanical polishing (CMP) with the polishing suspension contained surfactants at different pH were determine...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Functional Materials
Datum:2015
1. Verfasser: Vovk, E.A.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2015
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119359
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil / E.A.Vovk // Functional Materials. — 2015. — Т. 22, № 2. — С. 252-257. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-119359
record_format dspace
spelling Vovk, E.A.
2017-06-06T15:13:45Z
2017-06-06T15:13:45Z
2015
Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil / E.A.Vovk // Functional Materials. — 2015. — Т. 22, № 2. — С. 252-257. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.
1027-5495
DOI: http://dx.doi.org/10.15407/fm22.02.252
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119359
The conditions for the optimal balance among the degree of agglomeration of aerosil in the polishing suspension, removal rate, and the quality of the polished sapphire surface under chemical-mechanical polishing (CMP) with the polishing suspension contained surfactants at different pH were determined. It was determined that these conditions depend on the crystallographic orientation of the sapphire surface. Surface roughness Ra 0.2-0.4 nm and the optical quality class 20/10-40/20 (USA MIL O 13830) was obtained for orientations (0001), (11-20), and (10-12) by CMP with the polishing suspension contained the surfactant with OH functional groups, and at optimal value of pH for each orientations.
en
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Functional Materials
Technology
Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
spellingShingle Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
Vovk, E.A.
Technology
title_short Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
title_full Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
title_fullStr Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
title_full_unstemmed Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
title_sort chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
author Vovk, E.A.
author_facet Vovk, E.A.
topic Technology
topic_facet Technology
publishDate 2015
language English
container_title Functional Materials
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
format Article
description The conditions for the optimal balance among the degree of agglomeration of aerosil in the polishing suspension, removal rate, and the quality of the polished sapphire surface under chemical-mechanical polishing (CMP) with the polishing suspension contained surfactants at different pH were determined. It was determined that these conditions depend on the crystallographic orientation of the sapphire surface. Surface roughness Ra 0.2-0.4 nm and the optical quality class 20/10-40/20 (USA MIL O 13830) was obtained for orientations (0001), (11-20), and (10-12) by CMP with the polishing suspension contained the surfactant with OH functional groups, and at optimal value of pH for each orientations.
issn 1027-5495
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119359
citation_txt Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil / E.A.Vovk // Functional Materials. — 2015. — Т. 22, № 2. — С. 252-257. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT vovkea chemicalmechanicalpolishingofsapphirebypolishingsuspensionbasedonaerosil
first_indexed 2025-11-25T22:20:35Z
last_indexed 2025-11-25T22:20:35Z
_version_ 1850563118661369856
fulltext �������� ����� ������ ����� �� ������������� � ����� ������� �� ������� ���� ��� �������� ��������� � ��� �� ��������� ��� ���������� � ��� �� ���������� ���� ��� ������� �������� �������� �� ����� ��� � �!��! "#������ ������� �������� � �� � � ��� ��� ���� ��� �� �� �� ��� ������� ����� �� ��� �� �� ������� � �� �� �� �� � � �� ��� �� �� ������� ��� ������ � �� ��� �� ���� � �� �� ��� ���� ����� � �� ���� ���� ���� ���������� ��� ��� �� �� ����� � � �� ��� �� �� ������� �� ��� � ��� �� � ��� �� � � � ��� �� � �� � �� � � ���! " ��� �� � � ��� �� ���� ���� ��� ������ �� �� � �� ����� ��� � � �� � �� �� �� ����� � �� ����! #� ���� �������� � � $!%& $!' �� ��� �� �� ��� ���� � ����� %$()$�'$(%$ �*#+ �", - )./.$� ��� �� � ��� �� � �� � ��� �$$$)�� �))% __ $�� ��� �)$) __ %� �� ��� � � �� ��� �� �� ������� �� ��� � ��� �� �� ��� �� � � �� ���� ���� � ����� ��� � �� ��� ����� �� � �� ���� � �� �� ���! ��������0 ����� �� ���� ���������� ��� ��� �� ��� ��� �� �� ������� ��� � � ��� �� �� �� ��������� � ��! 1234567895: ;2867<= 6>3<?48�56�6 @484524 ?9A�; 239>95�� 4�86?9B4�<< 4CB62<84 7 2;2>95D<<� 2E6B623�� 2F9?4 < E4�92376? >68<B674556G >679BH5623< >B< H<?<E6�?9� H45<�92E6? >68<B6745<< 24>I<B4 >B< <2>68�D6745<< >68<B6748�56G 2;2>95D<<� 26�9B� A4J9G >679BH562356�4E3<7569 79J92376 >B< B4D56? BK! L>B9�98956� �36 C3< ;2867<= D47<2=3 63 EB<234886�B4I<�92E6G 6B<9534�<< >679BH5623< 24>I<B4! M8= 6B<9534�<G �$$$)�� �))% __ $�� �)$) __ %� >68;�954 >679BH5623� 2 �9B6H6743623�� � � $!%&$!' 5? < 6>3<�92� E<? E4�92376? E84224 %$()$�'$(%$ �*#+ �",�-�)./.$� >B< <2>68�D6745<< >68<B6748�� 56G 2;2>95D<<� 26�9BA4J9G >679BH562356�4E3<7569 79J92376 2 I;5E�<6548�5:?< �B;>� >4?< ��� >B< 6>3<?48�56? �8= E4A�6G 6B<9534�<< D54�95<< BK! � � ������ ��� � � ������� ���� �� � ��� ��������� � � ������� � ������� � �� �� � ��� ����! ��������! N2345678956 ;?67< 6>3<?48�56�6 @48452; ? A 23;>959? 4�86?9B4� O 49B62<8; 7 2;2>95D O� �7<�E 23� D5 ?455= 34 =E 23� >68 B67456O >679BH5 24>I B4 >B< H ? E6�?9� H45 �56?; >68 B;7455 >B< 7<E6B<23455 >68 B;748�56O 2;2>95D O� J6 ? 23<3� >679BH59� 76�4E3<75; B9�67<5; >B< B D56?; BK! N<D54�956� J6 � ;?67< D489A43� 7 � EB<23486� �B4I �56O 6B P534� O >679BH5 24>I B4! M8= 6B P534� G �$$$)�� �))% __ $�� �)$) __ %� 6�9BA456 >679BH5� D �6B23E 23� � � $!%&$!' 5? 34 6>3<�56� =E 23� E842; %$()$�'$(%$ �*#+ �",�-�)./.$� >B< 7<E6B<23455 >68 B;748�56O 2;2>95D O� =E4 ? 23<3� >679BH5976�4E3<7� 5; B9�67<5; D I;5E� 6548�5<?< �B;>4?< ��� >B< 6>3<?48�56?; �8= E6A56O 6B P534� O D54�955 BK! �� ����� ����� �������� � �� � �� � � �� � � �� �� �� � �� ����� �� �� � ��� ��� ��� ���� ����� �� �� � ��� ������� � � �� ��� �� ��� � �� ����� ������� �� �� ���! �� ��� �� � ���� ��� ��� ��� � �� ����� � ����� � � ������� ����! �� �!�� �� ���� ��� �� �� � ��� �"��� ����� � ���� � � �������� #�� ��!� ������ $���� � ��$����� ��� � �� �� �� � ���� ���� ���� ���� � !�� � ������� ������ ���� ���!� "##Q )$%R�S'TS! U��� ���� �� � ���� %%� Q�!% �%$)S�� �! %S%�%SR! �� 0� �0((�V!�� !� �()$!)S'$R(��%%!$%!%S% W %$)S X #�� Y"�� � � �� # ���� � �� ���Y � � �� ������ ���������� � �� ��� �� ��� ������ ������������������� � �� ���! %&'()� #�� � � �� � &'( �� � � � ��� ����� � ����� ��� �� � � �� ���! � ���� � � � ���� �� ����� �*�� #�� � �� ���! � � ��� � � � ��� �� � � �� � � � � � ��� � � � � � �� ��� � ��� ���� � ��� � � ���� � � ��� � � ������� �� ���� ���� � ����� +��� ��� �� � ������ � �� � �� � �������� ���� � ������� ���� ���� � ��� ��� �� ����� �,� -�� +��� � ��� � � ��� �"��� � �� ���� ��� ���� ������� � ��� � � � � ����� ����� �� �� � �� � ��� �� %��� !���� �����)� . �� �� ��� �� � ����� �� ��� � ��!�� ������ ��� ��� �� � � � �!�� �!!� ���� ��� ��� � � �� �!!� ���� � ���� ��"�� �� � �� ��� #�� ������� ��� ���� �/� � ��� �� � ���!�� � 0 ,1 ��� ����� � ��� � � ���� �� � �� ��� �� � ���� � �!!� ���� � � � �� �1 µ�� (�� ���� � ��� ���!� ��� ���� �� �� � �� ���! � ��� � � ����� ����� � ���� � ��� � � � ��� ��� ��� ��� ����� � �� ������� ������� # ����2 �� �� �!!� ���� � ��� �����/� �� � ��� � � ������� �� ����������� ��������� ��� �� �� ��� �� � � � �"� � ��� �3� 0�� #�� ����� � �.� ������ ��� � � �!�� % ����� �� )� ��� ��!��� � �� � ��� � � � �� �� �� ��� � ���!!� ����� � � � ��� �� �� �� � �� ���! � ��� � �� �� ��� �� �� � � �������� ��� � ���� $���� � � � �� ��� ������ ���� ����� �4�� 5 �� � ��� �� ������ ��! �. ������ �� �!!� ���� � �/�� ��� ������� ��� �� �� � ������ � ��� �� � �� �!� � ��"���� � �. 4�, � � ��� ��� ��� !������ ����� � . �� � ��� �� $���� � � �� ������ �����! � �� � ���! ������ �� � � ��� ��� 6 �� ��� ��� ���� � � �� � ��� � � �� ������ �� � 1��7��* � �8� � � ����� ���� "�� !� �� � �. ,�- ��� �� ������ ��! ��� �� �� � ��� �� ������ $���� �� #�� ���� � � �� ��� � � ���� � � ��� � � � � �� � ���� ������� �� �! �� ��!��� � �!!� ���� � � � �� ��� �� �� � ��� � �� ��� �� �� �� ��� ������ $���� � �� ���� �� � �� ���! � ��� � � � � ����� �� ����� �� � �������� �. �� ���� ��� � �� �� � �� � �� ���! � � ��� � � � �� � � � � � &'( � ������� �� �� � ��� ��� ��� � ��� �� ������ �� � ��!� � ���� $���� �� � ������������ &'( �� ���� ���� � ������� �� 2 � ∅01×* ��� �� � �� ��� ��� !������ ����� � � � � �� ������ %111�)� %�1� __ �) ��� %��� __ 1)� 9� �� � ��� � � �� � ��� �� �� �� �� � � �����! �� ������� ������ � ��!� � ���� $���� � ������ � �� � ����� �� �� �� � ������ ��! ��!�� � �� �� � � �� � �� !� �� ����� ������ ��� ��� � !������ ����� �:�� #����� ��� �� ��� ��� � � ����� �� � �� ������� � � ��!�� � � �� ��� 1�* ��!���!� ����� � �� ���! ��� �� � �������� � #�� ����� ���� ��� ���������� � �� ��� �� ���� � �� ���� � �� �� � 6&' �4;�1 ��� ��� ��<�� �� &'( �� ��� �� � ��� � � ��� � �� ����!�� ����� � ���� ���� &'( �� ����� �/�� � � ������ ������� �� ����� ��� ��� ��� ���� ��� � �� ���� ����� ����� ���� ���� � ��� � � � #�� �� � � &'( $���� � � � ��� � ��� �� �� �� � ��� �� �� � � ������� ������� �� �� � �� � � �� ����� �� ��� ����! �� �� ������ ��� ������ �� �� ��� �� �:�� #�� � �� ���! � � ��� � � �� �������� �� � ��� �� �� � ��� ����� ������ *41 ��;! %=2�����) ��� ��� �� �/�� �� ��� #�� � ��� � � � ���� � ��� �� � - � �8� ����� �� � � ����� ��� �� "� !� �� � ��* � �8� 1�- ' �� � � � ���� �� � �� ��<� �.� #�� ������ �� �� � � �� ��� �� �� � ��� � � ����� � � �� �����!� #�� � ��� � � �� � � !���/�� �� ���� � � ���������� ��"�� � � ��! � �� � � � ��11 ��� ���� ��! � � �� � �� ��� � � � � � � �� ��� ���� �� !�� � � �� �� � �1�&� ' ��� � !� � �� ��� �� ��� ���� �� ����� � ��� �� � � � ���� � � ���� � �� %#�') �' ��- �� � �11 2> �������� ��! � �!�� ? � �� � ��� � !� ��� ������ � �!��� � �� ������� ����� ���� ����� �� � � ��� � ��� ���� � �� %6@') � � �� (,0. (AB %+#�'�#)� B� ���� $���� � � �� ������ �� � ��� �� �� � ���� ���� � �� '?���� U �! )! Z���������� �� ������ � � �� ���� �� � � � �� � �� ����� ��� � � �� � �� �� �� �� ����0 � X �$$$)�� � X �)$) __ %�� ��� � X �))% __ $� �� � �� �� ��� �� �� ������� �� ��� � ��� �� ��� �� ! ������� ! "#��� ��$�� #��� �� %����#��& ��� �� ������ ���������� � �� ��� � � �� ��� ��� �� ��� ����� =���� �� &'( �� �� � �� ���! � ���� � � � � ����� ����� �� �� ��� �� �� � ������ � �. � � �������� ��� ��� � !������ ���� � � � � �� ������� ��� ���� �� �������� ��� %@�!� �)� ������ ��! �� �� � �� �!� � �� �� �� �"������� �� ���!� � �. �� � �� �� � � ��� ��� � !������ ����� %111�)� 9����� � � � �� ����� %�1� __ �) ��� %��� __ 1) �� ��� � � �� � ���������� � � �� ��"���� � �. 074 ��� �. 47:� �� ��� � ���� #�� ��� �� �� � � � �� ����� %��� __ 1) ������ � �� ��* ��� ����� �� �. ���� ������ � �� � ,�- 4� #�� � ���� � �� ���!� � �. � � �� ���� ��� ��� !������ ����� �� �� ��� �� � �� ����� �2� ����� � �! � � ��� #�� ���� � � � �� ��� �� �� � ������ �� � �� &'( �� � ��� � � �� � � ����� �� � ������� �� �� ��� � ���������� � ��� � �� �� � � �. ������ � � ��� ��� ��� � !������ ���� � � � C �� � ������ ��! �. �� ��� �� �� � ������ � ��� �� � �� �!� �� ��"���� � �. 4�* �4�� 5 � ��� �� � �� �� �� ���� � � � �� ����� �� �� � ��� � � ��� � ������ � ��! ��� �� �� � �� ��- ��� � ����� ��� ���� �� &'( ���� #�� � � � � � �� � �� ���! � ��� � � ������ � �� � ���� ,�*1 �( %� �. ,�-) �� � ���� � � � �� ����� �� � 1 ��* � � 8� A���� ��� �� �� ��� � � �� �� � !� � �� ��� ���� �� �� � �� ���! � ��� � � � �. � ,�- �� �� � � ��� �� �� ���� � � � ����� �� ������� �� �!� !��!� � � � �� ��� �� ��� ���� �4�� 5� �� �� �� ���� � ������ � �� �� � � � �� ����� ������ � ������ � �� �� � ���� � � �� ��� ���� � #�� �� ����� ��� � � ������ � �� �� � � � � � �� � ��� � � � �� ���� �� � �� ���� ���� � � � �� ���� ����� ��� �� ��� ���� ��� �� �� ��� ���� � �� ����� �� � @�!� � � � � ��� � !� � �� �!!� ���� �� ��� ���� �� �� ��� �� � � ��� � � �� � � ����� �� � ��� �� ����� �� �� �� �� ��� ���� � �� ����� �� � #�� �� ����� � � ������� � � �� �� ������ �� � � ����� �� !� �� �� �� � �� ��� �� ��� ���� �� � � ����! �� ���� !�� � ����! �� ���� �� ���� "�� !� �� � �� � ����� � ������ ��� ���� !� �� � �� ��� �� ������� ����� �� ���! � � �� � ��� ��� � ������ � ���� � �� ��� � �� ��� �� ��� ���� � �� � ����� � ������ ��� �� � ����� � �������� ��� ���� � ��� �� !����� �� ����!� � �� � #�� �� ���� �� � � ��� �� �� �� �� �� �� �������! �� ���� �� ��� ��� � �� ����� �� � ��� ���� ��� �����! �� �������� ��� ���� � ��� �� ��1�� #�� ������ � � �� � ��� � � �. ��� � �� � � � � ������ �� ����� � �� � �. 4 � �����/�� � �� ���� � D��*7��- �( %@�!� *)� #�� � �� ����� ��� �� �� �� �� � � � �� ����� �� � ��"���� � �� � ���� ��� � �� � ��� �� %�. �7* ����) ��� ������ � �� � �� �. ������ ��! � ���� � �� ��� � ��!� � � ����!� � �� ��� ��� ��� ���� ������� #�� � �� ��� ���� � ��!� � � ����!� � �� ��� ���� ������ ��� �� �� �� ��� ���� ���� ����� � �� #�� � �� ����! � � � � ���� � �� ��� � !���� �� ��� �� � �� � ��� � �� ��� ������ � � � ��"��! �� �� � �� ���! �� �� #�� ��� ���� � � � ���� ��! �� &'( ��� ��� � ��� ��� �� ��!� ��� �� �� � � �������� ����� � ����� � � �!��� �� �� ���!� � 1��71�, ��� ��� ��!� � ���� $���� � � � �� � �� ��� ������� 5� ���� ��� U �! %! �[� ����� �� �� �� � �� ���� � �� ��� �� �� ������� ��0 ��� � ��� �� ��� �� �� ��� � � �� ��� �� ! ������� ! "#��� ��$�� #��� �� %����#��& ��� � ' �� ������ ���������� � �� ��� ������ �. ���!� � �� � ��� � �� ����� � � ���� � � � �� ���! � ���� ��� ��� � !������ ������� ������ �� ��� �� �� � �� ��� ���� ���� ��� � �� �� � �� ��� ���� � �!��� � � %@�!� ,)� 5 �� �� ��� ����� �� � � �� ����� �� � �� ���� �� � � %111�) �� � �!��� � � 1��71�, �� � ����� �� �� �!� � �� �� �� �. ���!�� ��� �� ��� �� �� � � �. ,�-70�- � ��!�� � � & � �$��� ��� � � �� ���� � � � %111�) � �!� � �� � �� ���! � ��� � � �� � �. ,�-70�- � �� � ����� � �� � � �� ����� %�1� __ �) �� � � ���� � �� ���! � ��� � � � � �. 3�-7:�-� ��� � � �� ����� %�1� __ 1) � �� �� � � �� � ��� � � �� � �. 0�-7:�-� 5 �� � ���� ��� �� �� ������ � �!��� � ��� ����� � � � !�� �� � �� � ������� ��� ���� �� �� ��� �� ��� �� �� ��������� � � �� ��� 1�� ��� #�� ��!� � ���� $���� � � �� ��� ��� ��� ������� ����� � ��� � ���� � ���� ��������� ��� �1;�1 ������ =�6 '5� B �*4*1� �� ����� ��� @�!��� - � � �� 6@' ���!� ��� ������ �� ��� !��� � �� ����� �� � �� ��� ��� !������ ���� �� � � � �� ������ %�1� __ �) ��� %111�)� ���� ��� ��� ��� ������ ����� ��� � �� ������ 5� �� 6@' ���!� � ������� ��� �� � � � %111�) �� ������� �� ������ ��� ��� � �� �� ��� � �� � � "�� !�� ���� ��� � �� ������� ��� �� ����� ���� � ��� ��� ��� �� � ���� � �� �� ��� � � ������ ��� �� ������ ����� �� ������ � �!��� � � �������� �� ��!� �� ��� �� � �� �� ���� �� ���� ��<���� ���� ��� ���� �*�� @ ��� � � � �� ��� ������ �� ��� ��� � �� ������ %111�) � ����� � �����! �� ������ � �!��� �� � ���� �� �� �� �� ���� �� ���� �� "�!�� ���� ��� �� �� ����� � � �111��� ����� �� ��� ���� ������ �� � ��� ����� �� �111�� � � E ��*11 ��� ����� �� �� ������� �� ���� �� ���� �� �� �� ���2�� "�!�� ����� � ������� ���� �� �;3 E 1��� ��� ����� � � � � �� �� � �� �� �� � �� 6@' %@�!� -�)� �� ����� ����� #�� � ��� � � � � �� � ���� ������� �� �! �� ��!��� � �!!� ���� � � � ��� �� �� �� � �� ���! � ��� � �� ��� �� �� �� ��� �� $���� � � �� � �� ��� ��� ����� ������ ����� � �!� � �� � �� ���! � ��� � � � � ����� ����� �� � ������� �� �. ���� �� �������� 5 �� � �� �� � ���� � � � ����� �� �� � ���� "�� !� �� �� �$�� � � ��� � � � ��� �� U �! .! Z��������� �� � ���� � �� �� ��� ��� �� ������� �� �� � ! U �! '! Z���������� �� ������ � � ��� �������� � � � �� ��� � ��� � �� �� ��� � � �� �� ������ �� � ��� �� � �� �� ��� �� �� ������� �� �� � ��� �� � �� ��� ��� ��� � � �� � ��� �� �� ����� � �� ����! ������� ! "#��� ��$�� #��� �� %����#��& ��� �� ������ ���������� � �� ��� � �� �� �� �� �� ����� � � � ���� ��� ���� � >� � � � � �� � ��� � � ������ � �� � ������ ��! �.� 5 �� � ���� ��� �� �� � ���� � ��� � � � &'( ������ � �� ��� ��� !������ ���� � � � � �� ������� ������� # � ��� ������ � �!��� � � 1��71�, �� � � ���� � � � %111�) �� � �� � ���! ���������� �� � ������� � � �. ,�-70�-� � � ����� %�1� __ �) F � �. 3�-7:�-� ��� � � ����� %��� __ 1) F � �. 0�-7:�-� #�� �������� �� ������ ��� ��� �� � ����� � �� ������ �� � ���� � � � %111�)� #�� $���� � � �� � �� ��� ������ � ��� � �� �� � ���� ���� � ��� �1;�1�,1;�1 ������ =�6 '5� B �*4*1� ������� �� � � #�� �� � � �"��� � �� !�� � ��� � � �� < �� �� ����� (���� B�'�> 2 %#�') ��� (���� ��5�G�� � ! %6@')� ���������� )! #���� ��� \� ]'%$)$*��� � (� �0((���! � � � �����!���(������ (^���� � (_���`#��� �� �`�� \� `]'%$)$`���!���! %! #���� �`�� \� `Q������ `%$))`U��� (� �0((���! �� � �����!���(������(^���� � (_���`#���� �`�� \� `Q������ `%$))`U��� ! ���! .! ������\ �� ,��� �� ��� ��� �� ��� ��! �� "!Z!�� ������ [!*��������!Z� � �^� � ��� ����� a U ��� � b ���� ,������ Q�� _� \ �%$)S�! '! [!� ������� Z!U![��� ��� �%%�� (%�� �� !� %c.T �)T/c�! S! *!#! �� �� '�/$c�ccS �)T/T�! c! ^!d!"�� � ��� ���� � � �� # � ��0 #���� � �� ������ e� ��� ����� � ��� #� ���� � ��� � �� ��� f ����� � � �� # � ��� + g ����"� � � �� ! ����!� Q�� _� \��� ���� � �f �������� �� � �)TRT�! U �! S! +U� ����� ��� � �� ��� ��� �� �� ����� � �� ���� �� � ��� �� � �� ����� ��� � � �� � �� ��� �)$) __ %�� ��� �$$$)�! ������� ! "#��� ��$�� #��� �� %����#��& ��� � ) �� ������ ���������� � �� ��� R! h![ ������� � [!d ������� *� "�����+ ��+ ,����$ -� � . ��� "#� )$/ �)T/$�! /! [!+!i��\� �� ������ /��������� � ))$ �%$)S�! T! +!�!f��� \��� [!+!i��\� #!"!d ������� � ��!� �� ������ /��������� $"� '// �%$)$�! )$! h![ ������� � [!d ������� �!d� �� *� "�����+ ��+ ,����-� � . ��� "#� )%$ �)T/$�! ))! Q!+!#��������� i!i!������ � �� ��\������ �� Q���� ��� ���� -\� ���� "d� Y+\����\� ��Y� ������ �%$$R� j � ^��� ��k! )%! U!����� ����� #!�� ���� #��� � � ��!� .��$ -� � . ��� %&#� )%T' �%$)$�! ).! +!i!f� ��� �� i!�!i������ i!�!d�����\ � ��!� "�0������&�� ��%�� !"� /%' �%$)%�! ������� ! "#��� ��$�� #��� �� %����#��& ��� �� ������ ���������� � �� ��� � 1