Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil
The conditions for the optimal balance among the degree of agglomeration of aerosil in the polishing suspension, removal rate, and the quality of the polished sapphire surface under chemical-mechanical polishing (CMP) with the polishing suspension contained surfactants at different pH were determine...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Functional Materials |
|---|---|
| Datum: | 2015 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2015
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119359 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil / E.A.Vovk // Functional Materials. — 2015. — Т. 22, № 2. — С. 252-257. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-119359 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Vovk, E.A. 2017-06-06T15:13:45Z 2017-06-06T15:13:45Z 2015 Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil / E.A.Vovk // Functional Materials. — 2015. — Т. 22, № 2. — С. 252-257. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. 1027-5495 DOI: http://dx.doi.org/10.15407/fm22.02.252 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119359 The conditions for the optimal balance among the degree of agglomeration of aerosil in the polishing suspension, removal rate, and the quality of the polished sapphire surface under chemical-mechanical polishing (CMP) with the polishing suspension contained surfactants at different pH were determined. It was determined that these conditions depend on the crystallographic orientation of the sapphire surface. Surface roughness Ra 0.2-0.4 nm and the optical quality class 20/10-40/20 (USA MIL O 13830) was obtained for orientations (0001), (11-20), and (10-12) by CMP with the polishing suspension contained the surfactant with OH functional groups, and at optimal value of pH for each orientations. en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Technology Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil |
| spellingShingle |
Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil Vovk, E.A. Technology |
| title_short |
Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil |
| title_full |
Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil |
| title_fullStr |
Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil |
| title_full_unstemmed |
Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil |
| title_sort |
chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil |
| author |
Vovk, E.A. |
| author_facet |
Vovk, E.A. |
| topic |
Technology |
| topic_facet |
Technology |
| publishDate |
2015 |
| language |
English |
| container_title |
Functional Materials |
| publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| format |
Article |
| description |
The conditions for the optimal balance among the degree of agglomeration of aerosil in the polishing suspension, removal rate, and the quality of the polished sapphire surface under chemical-mechanical polishing (CMP) with the polishing suspension contained surfactants at different pH were determined. It was determined that these conditions depend on the crystallographic orientation of the sapphire surface. Surface roughness Ra 0.2-0.4 nm and the optical quality class 20/10-40/20 (USA MIL O 13830) was obtained for orientations (0001), (11-20), and (10-12) by CMP with the polishing suspension contained the surfactant with OH functional groups, and at optimal value of pH for each orientations.
|
| issn |
1027-5495 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119359 |
| citation_txt |
Chemical-mechanical polishing of sapphire by polishing suspension based on aerosil / E.A.Vovk // Functional Materials. — 2015. — Т. 22, № 2. — С. 252-257. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT vovkea chemicalmechanicalpolishingofsapphirebypolishingsuspensionbasedonaerosil |
| first_indexed |
2025-11-25T22:20:35Z |
| last_indexed |
2025-11-25T22:20:35Z |
| _version_ |
1850563118661369856 |
| fulltext |
�������� �����
������
�����
��
�������������
�
�����
�������
��
�������
����
���
��������
���������
� ���
�� ��������� ��� ����������
� ���
�� ���������� ����
���
�������
��������
�������� �� ����� ��� � �!��! "#������ �������
�������� �
�� �
� ���
��� ����
��� ��
�� ��
��� ������� �����
�� ���
�� �� �������
�
�� �� ��
�� � �
�� ��� �� �� ������� ���
������
�
�� ���
�� ����
� ��
�� ��� ���� �����
� ��
����
����
���� ���������� ��� ��� �� �� ����� �
�
�� ��� �� �� ������� �� ���
� ��� ��
�
���
��
� �
� ���
��
� ��
� ��
�
� ���! "
��� ��
�
� ���
��
���� ����
��� ������
��
�� �
��
�����
��� � �
��
�
�� ��
�� �����
� ��
����! #�
����
�������� �
�
$!%&
$!' �� ���
�� ��
��� ����
� ����� %$()$�'$(%$ �*#+ �", - )./.$� ��� ��
� ��� ��
�
��
�
��� �$$$)�� �))%
__
$�� ��� �)$)
__
%� �� ��� �
�
�� ��� �� �� ������� �� ���
� ���
�� ��
���
��
�
� �� ����
���� �
����� ��� �
��
��� ����� �� � ��
���� �
��
��
���!
��������0 �����
�� ���� ���������� ��� ��� �� ��� ��� �� �� ������� ��� � � ���
��
�� �� ���������
�
��!
1234567895: ;2867<= 6>3<?48�56�6 @484524 ?9A�; 239>95�� 4�86?9B4�<< 4CB62<84
7 2;2>95D<<� 2E6B623�� 2F9?4 < E4�92376? >68<B674556G >679BH5623< >B< H<?<E6�?9�
H45<�92E6? >68<B6745<< 24>I<B4 >B< <2>68�D6745<< >68<B6748�56G 2;2>95D<<� 26�9B�
A4J9G >679BH562356�4E3<7569 79J92376 >B< B4D56? BK! L>B9�98956� �36 C3< ;2867<=
D47<2=3 63 EB<234886�B4I<�92E6G 6B<9534�<< >679BH5623< 24>I<B4! M8= 6B<9534�<G
�$$$)�� �))%
__
$�� �)$)
__
%� >68;�954 >679BH5623� 2 �9B6H6743623�� �
�
$!%&$!' 5? < 6>3<�92�
E<? E4�92376? E84224 %$()$�'$(%$ �*#+ �",�-�)./.$� >B< <2>68�D6745<< >68<B6748��
56G 2;2>95D<<� 26�9BA4J9G >679BH562356�4E3<7569 79J92376 2 I;5E�<6548�5:?< �B;>�
>4?< ��� >B< 6>3<?48�56? �8= E4A�6G 6B<9534�<< D54�95<< BK!
�
�
������
��� �
�
������� ����
�� � ���
��������� �
�
�������
� �������
�
��
��
�
���
����! ��������!
N2345678956 ;?67< 6>3<?48�56�6 @48452; ? A 23;>959? 4�86?9B4� O 49B62<8; 7
2;2>95D O� �7<�E 23� D5 ?455= 34 =E 23� >68 B67456O >679BH5 24>I B4 >B< H ? E6�?9�
H45 �56?; >68 B;7455 >B< 7<E6B<23455 >68 B;748�56O 2;2>95D O� J6 ? 23<3� >679BH59�
76�4E3<75; B9�67<5; >B< B D56?; BK! N<D54�956� J6 � ;?67< D489A43� 7 � EB<23486�
�B4I �56O 6B P534� O >679BH5 24>I B4! M8= 6B P534� G �$$$)�� �))%
__
$�� �)$)
__
%� 6�9BA456
>679BH5� D �6B23E 23� �
�
$!%&$!' 5? 34 6>3<�56� =E 23� E842; %$()$�'$(%$ �*#+
�",�-�)./.$� >B< 7<E6B<23455 >68 B;748�56O 2;2>95D O� =E4 ? 23<3� >679BH5976�4E3<7�
5; B9�67<5; D I;5E� 6548�5<?< �B;>4?< ��� >B< 6>3<?48�56?; �8= E6A56O 6B P534� O
D54�955 BK!
�� �����
�����
�������� �
��
�
�� �
�
��
� � ��
��
��
� ��
����� ��
�� �
��� ��� ��� ����
����� ��
��
� ��� ������� �
�
�� ���
��
���
�
�� ����� ������� �� ��
���!
��
���
�� �
���� ���
��� ��� � ��
�����
�
����� �
� �������
����! ��
�!��
�� ����
���
�� ��
� ���
�"��� �����
� ����
�
�
�������� #�� ��!� ������ $����
� ��$�����
���
�
�� ��
��
� ���� ����
����
����
�
!��
� ������� ������ ���� ���!�
"##Q )$%R�S'TS! U���
���� ��
�
���� %%� Q�!% �%$)S�� �! %S%�%SR!
�� 0�
�0((�V!�� !�
�()$!)S'$R(��%%!$%!%S% W %$)S X #�� Y"��
�
� ��
# ���� �
��
���Y
� �
��
������ ���������� � �� ���
�� ���
������ ������������������� �
�� ���!
%&'()�
#�� �
�
��
� &'( ��
�
�
� ���
����� � ����� ��� ��
� �
�� ���! � ����
�
� �
���� �� ����� �*�� #�� �
�� ���! � �
��� �
� �
��� �� � �
�� � �
�
� � ��� �
�
� �
�
�� ��� � ���
����
� ���
�
� ���� � �
��� �
� ������� �� ����
���� �
�����
+���
���
�� �
������ � ��
�
�� �
�������� ����
� ������� ����
����
� ���
��� ��
����� �,� -�� +���
� ��� �
�
���
�"��� � ��
���� ��� ���� �������
� ��� �
� �
�
����� ����� ��
�� �
��
�
���
�� %���
!���� �����)� .
�� �� ���
��
�
����� �� ���
� ��!��
������
��� ���
�� � �
�
�!�� �!!�
����
��� ��� �
�
�� �!!�
����
� ���� ��"�� ��
� ��
���
#�� ������� ���
���� �/�
� ���
�� �
���!��
� 0
,1 ��� ����� � ��� �
�
���� ��
�
�� ���
�� �
���� � �!!�
����
�
�
� ��
�1 µ�� (�� ����
� ��� ���!�
���
���� ��
�� �
�� ���! � ��� �
� �����
����� � ����
�
���
�
�
� ���
��� ���
��� �����
�
�� ������� ������� #
����2 ��
�� �!!�
����
� ���
�����/�
�� � ��� �
� �������
�� �����������
��������� ��� ��
��
��� ��
�
�
� �"�
�
��� �3� 0�� #�� �����
� �.� ������ ���
� � �!��
% �����
��
)� ��� ��!���
� �� �
��� �
�
�
�� ��
��
���
� ���!!�
�����
�
�
� ���
�� ��
�� �
�� ���! � ��� �
��
�� ���
�� ��
�
� �������� ���
�
����
$����
�
� �
�� ��� ������ ����
����� �4��
5
�� �
���
��
������ ��! �. ������
��
�!!�
����
� �/�� ��� ������� ���
�� ��
�
������ � ��� �� �
��
�!� � ��"���� �
�. 4�, �
� ��� ���
���
!������ ����� � .
��
� ���
�� $����
�
�
�� ������ �����! �
��
� ���! ������ �� �
� ���
��� 6
�� ���
��� ����
�
�
�� � ��� �
�
�� ������
��
� 1��7��* �
�8� �
�
����� ����
"��
!�
�� �
�. ,�- ��� �� ������ ��! ���
��
��
� ���
�� ������ $����
��
#�� ����
�
�
��
��� �
�
���� �
�
���
�
� �
�
��
�
���� ������� ��
�!
�� ��!���
� �!!�
����
�
�
�
�� ���
��
�� � ��� �
�� ���
�� ��
�� ��� ������
$����
� �� ����
�� �
�� ���! � ��� �
�
�
�
�����
�� �����
��
�
��������
�.
��
���� ���
�
�� ��
�
�� �
�� ���! � �
��� �
� �
��
�
�
� �
� &'(
� �������
�� ��
� ���
��� ���
�
���
�� ������
��
� ��!�
�
���� $����
��
� ������������
&'( �� ����
����
� ������� �� 2
�
∅01×* ��� ��
�
�� ���
���
!������
�����
�
�
�
�
�� ������ %111�)� %�1�
__
�) ���
%���
__
1)� 9� �� � ��� �
� �� �
���
��
��
��
��
�
�
�����!
�� ������� ������
�
��!�
�
���� $����
� ������ �
�� �
�����
��
�� ��
� ������ ��! ��!��
� �� ��
�
�
��
�
�� !�
��
����� ������ ���
���
�
!������ ����� �:�� #�����
���
��
��� ���
� � ����� ��
� �� �������
�
� ��!�� �
�
��
��� 1�* ��!���!� ����� �
�� ���! ���
�� �
��������
� #�� ����� ���� ���
���������� �
�� ��� �� ����
�
�� ����
�
�� ��
� 6&' �4;�1 ���
��� ��<��
��
&'( �� ���
�� � ��� �
�
���
�
��
����!�� ����� �
����
���� &'( �� �����
�/��
� � ������ �������
�� ����� ���
���
���
����
���
� ��
���� ����� �����
����
���� �
���
�
� � #�� ��
�
� &'( $����
�
�
� ��� �
���
�� �� ��
� ���
�� ��
�
� ������� �������
�� ��
�
�� �
�
��
����� �� ���
����!
�� ��
������ ���
������ �� ��
��� �� �:�� #�� �
�� ���! � �
��� �
� �� �������� ��
� ���
�� ��
� ���
����� ������ *41 ��;! %=2�����) ��� ���
��
�/�� ��
��� #�� � ��� �
� �
���� �
���
��
� - �
�8� �����
��
�
�
����� ���
��
"� !�
��
� ��* �
�8� 1�- '
��
�
�
� ���� �� � ��
��<�
�.� #�� ������
��
��
�
� ��
��� ��
�� � ��� �
�
����� �
�
��
�����!� #�� � ��� �
� ��
�
�
!���/�� �� ����
� � ����������
��"�� �
�
��! �
��
�
�
� ��11 ��� ����
��!
�
�
�� �
�� ��� �
� � �
�
� �� ��� ���� ��
!�� � �
��
�� �
�1�&� '
���
�
!�
�
��
���
�� ���
���� ��
�����
�
��� �� �
�
� ����
�
� ����
�
�� %#�') �' ��-
��
� �11 2> ��������
��!
�
�!�� ?
�
��
�
���
�
!� ��� ������ �
�!���
�
��
������� ����� ����
����� ��
� �
���
�
��� ����
�
�� %6@') �
� �� (,0. (AB
%+#�'�#)� B�
���� $����
�
�
�� ������
�� �
���
�� ��
�
���� ����
�
�� '?����
U �! )! Z���������� ��
������
�
� �� ����
��
� �
�
�� �
��
�����
��� � �
��
�
�� ��
�� ��
����0 � X �$$$)�� � X �)$)
__
%�� ��� �
X �))%
__
$� �� � ��
�� ��� �� �� ������� ��
���
� ��� ��
���
��
!
������� ! "#���
��$��
#���
�� %����#��& ���
��
������ ���������� � �� ��� � �
�� ���
��� �� ���
�����
=����
�� &'( ��
�� �
�� ���! � ����
�
� �
�
����� �����
��
�� ���
�� ��
�
������
� �. �
� ��������
���
���
�
!������
����
�
�
�
�
�� ������� ���
���� �� ��������
��� %@�!� �)� ������ ��!
�� ��
�
��
�!�
�
�� ��
�� �"�������
��
���!�
� �. ��
� �� �� �
� ���
���
�
!������ ����� %111�)� 9����� � �
�
��
����� %�1�
__
�) ��� %���
__
1)
�� ��� �
�
�� �
���������� �
�
�� ��"���� �
�. 074
��� �. 47:� �� ���
� ���� #�� ���
�� ��
�
�
�
�� ����� %���
__
1) ������ � �� ��*
���
�����
�� �. ���� ������ � ��
� ,�-
4�
#�� �
���� �
�� ���!�
� �. �
�
�� ����
���
���
!������ �����
��
�� ���
��
�
��
�����
�2� ����� �
�!
�
� ��� #��
���� �
�
�
�� ���
�� ��
� ������ ��
�
�� &'( �� � ��� �
� ��
�
�
�����
��
�
�������
�� ��
���
� ����������
� ���
�
�� ��
�
� �. ������ �
� ��� ���
���
�
!������
����
�
�
� C ��
� ������ ��! �.
�� ���
�� ��
� ������ � ��� �� �
��
�!�
�� ��"���� �
�. 4�* �4�� 5
�
��� �� �
��
��
�� ����
�
�
�
��
�����
��
�� � ��� �
� ��� � ������ �
��! ���
�� ��
� ��
��-
��� � ����� ���
����
�� &'(
����
#�� � �
�
�
�
�� �
�� ���! � ��� �
�
������ � ��
� ����
,�*1 �( %�
�. ,�-)
��
� ����
�
�
�
�� �����
��
� 1
��* �
� 8� A����
��� ��
��
���
� �
��
��
�
!�
�
�� ���
���� ��
�� �
�� ���!
� ��� �
� �
�.
� ,�- �� �� � �
���
��
�� ����
�
�
� �����
��
������� �� �!�
!��!�
�
�
�
�� ���
�� ���
���� �4�� 5�
��
�� ��
���� � ������ � ��
�� � �
�
��
����� ������
� ������ � ��
�� �
����
�
�
�� ���
���� � #�� ��
����� ��� �
� ������ �
��
�� � �
�
�
�
�� � ��� �
� � ��
����
��
�
�� ���� ���� �
�
�
�� ���� ����� ���
��
���
����
��� ��
�� ��� ����
�
��
�����
��
� @�!� � �
� �
���
�
!�
�
��
�!!�
����
�� ���
���� ��
�� ���
�� � �
��� �
� ��
�
�
�����
��
� ��� ��
�����
��
�� ��
�� ��� ����
�
�� �����
��
� #��
��
�����
�
� ������� � �
��
�� ������
��
�
�
����� �� !�
�� ��
��
�
��
���
�� ���
���� ��
� �
����!
�� ����
!��
�
����! ��
����
�� ����
"�� !�
��
�
��
�
����� �
������ ��� ���� !�
��
�
��
���
�� ������� �����
�� ���!
�
�
�� �
���
��� �
������ � ���� �
��
���
�
��
���
�� ���
���� �
�� �
����� �
������ ���
�� �
�����
�
��������
���
����
�
���
�� !�����
�� ����!� �
�� � #�� ��
����
��
�
� ��� ��
�� �� ��
�� �� �������!
��
����
��
��� ���
�
�� �����
��
�
���
���� ���
�����!
�� ��������
���
����
�
���
�� ��1��
#�� ������ �
�
�� � ��� �
� �. ��� �
�� � �
�
� ������ �� ����� �
��
� �. 4
�
�����/�� �
�� ����
� D��*7��- �(
%@�!� *)� #�� � ��
����� ���
��
��
��
��
�
�
�
�� �����
��
� ��"���� �
�� �
����
��� �
��
� ���
�� %�. �7* ����)
��� ������ � ��
�
�� �. ������ ��! �
����
�
��
��� � ��!�
� � ����!�
�
�� ���
���
���
���� ������� #�� �
�� ��� ����
�
��!�
� � ����!�
�
�� ���
���� ������ ���
��
��
�� ���
���� ����
�����
�
�� #�� �
��
����! � �
�
� ����
�
�� ���
�
!����
��
���
��
�
�� � ��� �
�� ��� ������
�
�
�
��"��! ��
�� �
�� ���! ��
��
#�� ���
���� �
� � ����
��!
�� &'( ���
���
� ��� ���
�� ��!� ���
�� ��
�
�
�������� �����
�
����� � �
�!��� ��
��
���!�
� 1��71�, ��� ��� ��!�
�
���� $����
�
�
�
�� �
�� ��� ������� 5�
����
���
U �! %! �[� ����� �� ��
�� � ��
���� �
�� ��� �� �� ������� ��0 ��� �
���
��
���
��
�� ��� �
�
��
���
��
!
������� ! "#���
��$��
#���
�� %����#��& ���
� '
��
������ ���������� � �� ���
������ �. ���!�
�
�� � ��� �
�� �����
�
�
���� �
� �
�� ���!
� ���� ���
���
�
!������ ������� ������
�� ���
�� ��
�
�� ��� ���� ����
���
� �� ��
�
�� ���
���� �
�!��� �
�
%@�!� ,)� 5
�� ��
���
�����
��
�
�
�� ����� ��
�
��
����
��
�
� %111�)
�� �
�!��� �
�
1��71�, �� �
����� ��
��
�!�
�
�� ��
�� �. ���!��
���
�� ���
�� ��
� �
�. ,�-70�- � ��!��
�
� &
� �$���
��� �
�
��
����
�
�
�
%111�) � �!�
�
�� �
�� ���! � ��� �
�
��
� �. ,�-70�- �
�� �
�����
� �� �
�
�� ����� %�1�
__
�)
�� �
�
���� �
�� ���!
� ��� �
� �
� �. 3�-7:�-� ��� �
�
��
����� %�1�
__
1) � ��
��
� �
�� � ��� �
�
��
� �. 0�-7:�-� 5
�� �
���� ���
��
��
������ �
�!���
� ��� ����� � �
�
!��
��
� ��
�
������� ��� ���� ��
�� ���
��
��� ��
�� ��������� �
�
��
��� 1�� ���
#�� ��!�
�
���� $����
�
�
�� ��� ���
��� ������� ����� �
��� �
����
�
����
��������� ��� �1;�1
������ =�6 '5� B
�*4*1� �� ����� ��� @�!��� - �
�
��
6@' ���!� ��� ������ ��
���
!���
�
��
����� ��
�
�� ���
���
!������
����
��
�
�
�
�� ������ %�1�
__
�) ��� %111�)�
����
��� ���
��� ������ �����
��� �
�� ������ 5�
�� 6@' ���!�
� �������
���
��
�
�
� %111�)
��
�������
�� ������
���
���
� �� �� ���
�
��
�
�
"��
!�� ����
���
�
�� ������� ���
�� �����
���� �
���
��� ��� �� �
����
�
��
��
��� �
� ������ ���
�� ������ �����
�� ������ �
�!��� � �
�������� �� ��!�
��
��� ��
�
�� ��
���� ��
���� ��<����
����
��� ���� �*�� @
���
�
�
�
��
���
������
��
���
���
�
�� ������ %111�)
�
�����
�
�����!
�� ������ �
�!���
��
� ���� ��
��
�� ��
���� ��
����
��
"�!�� ����
��� ��
�� �����
�
�
�111��� �����
�� ���
���� ������
��
� ���
����� �� �111�� � � E ��*11 ���
�����
��
�� ������� ��
���� ��
����
�� ��
��
���2��
"�!�� �����
� ������� ���� ��
�;3 E 1��� ��� ����� � �
� �
��
��
�
��
�� ��
�
�� 6@' %@�!� -�)�
�� �����
�����
#�� �
���
�
� �
�
��
�
���� �������
��
�!
�� ��!���
� �!!�
����
�
�
�
���
�� ��
�� �
�� ���! � ��� �
�� ���
��
��
�� ���
�� $����
�
�
�� �
�� ��� ���
����� ������ ����� � �!�
�
�� �
�� ���!
� ��� �
� �
�
����� �����
��
�
�������
��
�. ���� ��
�������� 5
�� �
��
��
�
����
�
�
� �����
��
��
� ����
"��
!�
��
�� �$��
� � ��� �
�
� ���
��
U �! .! Z��������� �� � ����
� ��
�� ��� ���
�� ������� �� �� � !
U �! '! Z���������� ��
������
�
� ���
�������� �
�
�
�� ���
�
��� �
�� ��
���
�
� ��
�� ������ ��
�
��� �� � ��
��
��� �� �� ������� �� ��
� ���
��
�
��
���
���
��� � �
��
�
��� ��
�� �����
� ��
����!
������� ! "#���
��$��
#���
�� %����#��& ���
��
������ ���������� � �� ��� �
�� ��
�� �� ��
�����
�
�
� ���� ���
���� �
>� �
�
�
�
�� � ��� �
� ������ � ��
�
������ ��! �.� 5
�� �
���� ���
��
��
�
���� �
���
�
�
� &'( ������
�
��
���
���
!������
����
�
�
�
�
�� �������
������� #
�
��� ������ �
�!��� �
�
1��71�, �� �
�
����
�
�
� %111�)
�� �
��
� ���! ���������� �� �
�������
�
�
�.
,�-70�-� �
� ����� %�1�
__
�) F �
�. 3�-7:�-�
��� �
� ����� %���
__
1) F �
�. 0�-7:�-� #��
��������
�� ������
���
��� ��
�
�����
�
�� ������ ��
�
����
�
�
� %111�)� #��
$����
�
�
�� �
�� ��� ������ �
��� �
��
��
�
���� ����
� ��� �1;�1�,1;�1
������ =�6 '5� B �*4*1�
�������
�� �
� #�� ��
�
� �"��� �
�� !��
�
��� �
�
�� <
��
�� ����� (����
B�'�>
2 %#�') ��� (���� ��5�G��
�
!
%6@')�
����������
)! #����
���
\�
]'%$)$*���
� (�
�0((���! �
� �
�����!���(������ (^����
� (_���`#���
��
�`��
\�
`]'%$)$`���!���!
%! #����
�`��
\�
`Q������
`%$))`U���
(�
�0((���! �� �
�����!���(������(^����
�
(_���`#����
�`��
\�
`Q������
`%$))`U���
!
���!
.! ������\ �� ,��� �� ��� ��� �� ��� ��! ��
"!Z!��
������ [!*��������!Z� � �^� �
���
�����
a U
��� � b
���� ,������ Q�� _�
\
�%$)S�!
'! [!�
������� Z!U![���
��� �%%�� (%��
�� !�
%c.T �)T/c�!
S! *!#! ��
��
'�/$c�ccS �)T/T�!
c! ^!d!"��
� ��� ���� �
� �� # � ��0 #���� �
��
������
e�
��� ����� � ��� #�
���� �
���
�
�� ��� f ����� �
� �� # � ��� + g ����"�
�
�
�� ! ����!� Q�� _�
\��� ����
�
�f
��������
��
�
�)TRT�!
U �! S! +U� ����� ��� �
�� ���
��� ��
�� �����
� ��
���� ��
�
��� ��
�
��
�����
��� �
�
��
�
�� ��� �)$)
__
%�� ��� �$$$)�!
������� ! "#���
��$��
#���
�� %����#��& ���
� )
��
������ ���������� � �� ���
R! h![ �������
� [!d ������� *� "�����+ ��+ ,����$
-�
� .
��� "#� )$/ �)T/$�!
/! [!+!i��\�
��
������ /��������� � ))$ �%$)S�!
T! +!�!f��� \��� [!+!i��\� #!"!d
������� �
��!�
��
������ /��������� $"� '// �%$)$�!
)$! h![ �������
� [!d ������� �!d�
�� *� "�����+
��+ ,����-�
� .
��� "#� )%$ �)T/$�!
))! Q!+!#��������� i!i!������ � ��
��\������ �� Q���� ���
���� -\� ���� "d�
Y+\����\� ��Y� ������ �%$$R� j � ^��� ��k!
)%! U!�����
����� #!��
���� #���
� �
��!� .��$
-�
� .
��� %&#� )%T' �%$)$�!
).! +!i!f�
��� �� i!�!i������ i!�!d�����\ �
��!� "�0������&�� ��%�� !"� /%' �%$)%�!
������� ! "#���
��$��
#���
�� %����#��& ���
��
������ ���������� � �� ��� � 1
|