Enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals
New phenomenological models are proposed to describe the effect of an ordered lattice structure of crystalline targets on the as-implanted doping profiles of low-energy heavy ions. The models account for the channeling kinetics and clarify the effect of bi-directional transitions of ions between r...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Condensed Matter Physics |
|---|---|
| Datum: | 2009 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики конденсованих систем НАН України
2009
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119771 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals / M.I. Bratchenko, S.V. Dyuldya, A.S. Bakai // Condensed Matter Physics. — 2009. — Т. 12, № 1. — С. 35-49. — Бібліогр.: 44 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-119771 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Bratchenko, M.I. Dyuldya, S.V. Bakai, A.S. 2017-06-08T13:03:45Z 2017-06-08T13:03:45Z 2009 Enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals / M.I. Bratchenko, S.V. Dyuldya, A.S. Bakai // Condensed Matter Physics. — 2009. — Т. 12, № 1. — С. 35-49. — Бібліогр.: 44 назв. — англ. 1607-324X PACS: 61.72.Tt, 85.40.Ry, 61.85.+p, 02.70.Uu DOI:10.5488/CMP.12.1.35 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119771 New phenomenological models are proposed to describe the effect of an ordered lattice structure of crystalline targets on the as-implanted doping profiles of low-energy heavy ions. The models account for the channeling kinetics and clarify the effect of bi-directional transitions of ions between random-like and channeled modes of motion on the target depth dependencies of dopant concentration. They also incorporate a simple model of the target radiation damaging effect on doping profiles. The presented results of model validation against the experimental and Monte Carlo computer simulation data and the comparative analysis of the capabilities of the proposed and the existing models show that the application of a more physically grounded approach allows us to improve the quality of doping profile description. The theoretical models developed are useful for obtaining physical parameters of low-energy ion channeling kinetics from the experimental data. Запропоновано новi феноменологiчнi моделi опису впливу впорядкованої структури кристалiчної ґратки мiшеней на профiлi iмплантацiї низькоенергетичних важких iонiв. Моделi враховують кiнетику каналювання та проясняють вплив двобiчних переходiв iонiв мiж хаотичним та канальованим режимами руху на залежностi концентрацiї домiшки вiд глибини занурення у мiшень. Вони також мiстять в собi просту модель впливу радiацiйного пошкодження мiшенi на профiлi занурення. Представленi результати верифiкацiї моделей на експериментальних даних та даних комп’ютерного моделювання методом Монте-Карло поруч iз порiвняльним аналiзом можливостей запропонованих та iснуючих моделей показали, що застосування бiльш фiзично обґрунтованого пiдходу дозволяє покращити опис профiлiв iмплантацiї. Використовуючи запропонованi теоретичнi моделi, можна одержати з аналiзу експериментальних даних фiзичнi параметри кiнетики каналювання iонiв низьких енергiй. en Інститут фізики конденсованих систем НАН України Condensed Matter Physics Enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals Удосконаленi феноменологiчнi моделi внеску каналювання iонiв до профiлiв iмплантацiї у кристали Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals |
| spellingShingle |
Enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals Bratchenko, M.I. Dyuldya, S.V. Bakai, A.S. |
| title_short |
Enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals |
| title_full |
Enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals |
| title_fullStr |
Enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals |
| title_full_unstemmed |
Enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals |
| title_sort |
enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals |
| author |
Bratchenko, M.I. Dyuldya, S.V. Bakai, A.S. |
| author_facet |
Bratchenko, M.I. Dyuldya, S.V. Bakai, A.S. |
| publishDate |
2009 |
| language |
English |
| container_title |
Condensed Matter Physics |
| publisher |
Інститут фізики конденсованих систем НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Удосконаленi феноменологiчнi моделi внеску каналювання iонiв до профiлiв iмплантацiї у кристали |
| description |
New phenomenological models are proposed to describe the effect of an ordered lattice structure of crystalline
targets on the as-implanted doping profiles of low-energy heavy ions. The models account for the channeling
kinetics and clarify the effect of bi-directional transitions of ions between random-like and channeled modes
of motion on the target depth dependencies of dopant concentration. They also incorporate a simple model
of the target radiation damaging effect on doping profiles. The presented results of model validation against
the experimental and Monte Carlo computer simulation data and the comparative analysis of the capabilities
of the proposed and the existing models show that the application of a more physically grounded approach
allows us to improve the quality of doping profile description. The theoretical models developed are useful for
obtaining physical parameters of low-energy ion channeling kinetics from the experimental data.
Запропоновано новi феноменологiчнi моделi опису впливу впорядкованої структури кристалiчної ґратки мiшеней на профiлi iмплантацiї низькоенергетичних важких iонiв. Моделi враховують кiнетику каналювання та проясняють вплив двобiчних переходiв iонiв мiж хаотичним та канальованим режимами руху на залежностi концентрацiї домiшки вiд глибини занурення у мiшень. Вони також мiстять в собi просту модель впливу радiацiйного пошкодження мiшенi на профiлi занурення. Представленi результати верифiкацiї моделей на експериментальних даних та даних комп’ютерного моделювання методом Монте-Карло поруч iз порiвняльним аналiзом можливостей запропонованих та iснуючих моделей показали, що застосування бiльш фiзично обґрунтованого пiдходу дозволяє покращити опис профiлiв iмплантацiї. Використовуючи запропонованi теоретичнi моделi, можна одержати з аналiзу експериментальних даних фiзичнi параметри кiнетики каналювання iонiв низьких енергiй.
|
| issn |
1607-324X |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/119771 |
| citation_txt |
Enhanced phenomenological models of ion channeling contribution to doping profiles in crystals / M.I. Bratchenko, S.V. Dyuldya, A.S. Bakai // Condensed Matter Physics. — 2009. — Т. 12, № 1. — С. 35-49. — Бібліогр.: 44 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT bratchenkomi enhancedphenomenologicalmodelsofionchannelingcontributiontodopingprofilesincrystals AT dyuldyasv enhancedphenomenologicalmodelsofionchannelingcontributiontodopingprofilesincrystals AT bakaias enhancedphenomenologicalmodelsofionchannelingcontributiontodopingprofilesincrystals AT bratchenkomi udoskonalenifenomenologičnimodelivneskukanalûvannâionivdoprofilivimplantaciíukristali AT dyuldyasv udoskonalenifenomenologičnimodelivneskukanalûvannâionivdoprofilivimplantaciíukristali AT bakaias udoskonalenifenomenologičnimodelivneskukanalûvannâionivdoprofilivimplantaciíukristali |
| first_indexed |
2025-12-07T13:31:38Z |
| last_indexed |
2025-12-07T13:31:38Z |
| _version_ |
1850856490635624448 |