Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals
We investigated the parameters of silicon and gallium arsenide microwave diodes intended for different functions. Their heat-resistant contacts were made on the base of interstitial phases. A unified technological route is proposed to produce microdiodes with bulk contacts. Tests of these silicon an...
Gespeichert in:
| Datum: | 2000 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2000
|
| Schriftenreihe: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121166 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals / N.S. Boltovets, V.V. Basanets, V.N. Ivanov, V.A. Krivutsa, A.V.Tsvir, A.E. Belyaev, R.V. Konakova, V.G. Lyapin, V.V. Milenin, E.A. Soloviev, E.F. Venger, D.I. Voitsikhovskyi, V.V. Kholevchuk, V.F. Mitin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 359-370. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-121166 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1211662025-02-09T18:03:21Z Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals Boltovets, N.S. Basanets, V.V. Ivanov, V.N. Krivutsa, V.A. Tsvir, A.V. Belyaev, A.E. Konakova, R.V. Lyapin, V.G. Milenin, V.V. Soloviev, E.A. Venger, E.F. Voitsikhovskyi, D.I. Kholevchuk, V.V. Mitin, V.F. We investigated the parameters of silicon and gallium arsenide microwave diodes intended for different functions. Their heat-resistant contacts were made on the base of interstitial phases. A unified technological route is proposed to produce microdiodes with bulk contacts. Tests of these silicon and gallium arsenide microwave diodes in forced modes demonstrated their high heat stability. The development of varactor diodes and resonant tunneling diodes, as well as fast-operating switching diodes for the 33-78 GHz frequency range and IMPATT diodes for the 33-37 and 70-77 GHz frequency ranges, was carried out under the INCO-COPERNICUS Program (Project No 977131 "MEMSWAVE"). 2000 Article Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals / N.S. Boltovets, V.V. Basanets, V.N. Ivanov, V.A. Krivutsa, A.V.Tsvir, A.E. Belyaev, R.V. Konakova, V.G. Lyapin, V.V. Milenin, E.A. Soloviev, E.F. Venger, D.I. Voitsikhovskyi, V.V. Kholevchuk, V.F. Mitin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 359-370. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 07.07.D, 81.05.J, 85.30.K https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121166 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| description |
We investigated the parameters of silicon and gallium arsenide microwave diodes intended for different functions. Their heat-resistant contacts were made on the base of interstitial phases. A unified technological route is proposed to produce microdiodes with bulk contacts. Tests of these silicon and gallium arsenide microwave diodes in forced modes demonstrated their high heat stability. |
| format |
Article |
| author |
Boltovets, N.S. Basanets, V.V. Ivanov, V.N. Krivutsa, V.A. Tsvir, A.V. Belyaev, A.E. Konakova, R.V. Lyapin, V.G. Milenin, V.V. Soloviev, E.A. Venger, E.F. Voitsikhovskyi, D.I. Kholevchuk, V.V. Mitin, V.F. |
| spellingShingle |
Boltovets, N.S. Basanets, V.V. Ivanov, V.N. Krivutsa, V.A. Tsvir, A.V. Belyaev, A.E. Konakova, R.V. Lyapin, V.G. Milenin, V.V. Soloviev, E.A. Venger, E.F. Voitsikhovskyi, D.I. Kholevchuk, V.V. Mitin, V.F. Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| author_facet |
Boltovets, N.S. Basanets, V.V. Ivanov, V.N. Krivutsa, V.A. Tsvir, A.V. Belyaev, A.E. Konakova, R.V. Lyapin, V.G. Milenin, V.V. Soloviev, E.A. Venger, E.F. Voitsikhovskyi, D.I. Kholevchuk, V.V. Mitin, V.F. |
| author_sort |
Boltovets, N.S. |
| title |
Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals |
| title_short |
Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals |
| title_full |
Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals |
| title_fullStr |
Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals |
| title_full_unstemmed |
Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals |
| title_sort |
microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2000 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/121166 |
| citation_txt |
Microwave diodes with contact metallization systems based on silicides, nitrides and borides of refractory metals / N.S. Boltovets, V.V. Basanets, V.N. Ivanov, V.A. Krivutsa, A.V.Tsvir, A.E. Belyaev, R.V. Konakova, V.G. Lyapin, V.V. Milenin, E.A. Soloviev, E.F. Venger, D.I. Voitsikhovskyi, V.V. Kholevchuk, V.F. Mitin // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 359-370. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| series |
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| work_keys_str_mv |
AT boltovetsns microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT basanetsvv microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT ivanovvn microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT krivutsava microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT tsvirav microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT belyaevae microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT konakovarv microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT lyapinvg microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT mileninvv microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT solovievea microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT vengeref microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT voitsikhovskyidi microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT kholevchukvv microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals AT mitinvf microwavediodeswithcontactmetallizationsystemsbasedonsilicidesnitridesandboridesofrefractorymetals |
| first_indexed |
2025-11-29T07:06:18Z |
| last_indexed |
2025-11-29T07:06:18Z |
| _version_ |
1850107485173579776 |
| fulltext |
359�����������
� ��
�����
�
����
������
������
������������
����
������
������
��
���
�
����
�� � ����
�������� ��� � ���� �
�
����� !
���� �
�
��"� ����"�#"� $���� $"� �"� $%&'$(�"
��� �����
�����
�������������
��������� ��
���
���������������������
����� � �����
�������
�����
��������������������� �� �
������
��������
��� ��������� ���
�����������
���
����
�� �����������������
� ������
�����������
���
��
��
������ ������������������
�����
������������
� ������
������� ������ �� �������� ������
�� ������
�
���
��
� �������
���� ����� ����
������
��������������
�����
���
������� �������������� ���������������� ������
������
�������� ��
� ������� �� �������
�
������������
�������
������ �!"#$����� ��
��
����������� ��
�
������ ���� ��
��%������ ��
������ �����
�������������
��
���
��� ��������
���������������
�������������
����
� ���� ������
��������
��
�
�
& ����������� ��� ����
�������� ���� �
��
� �����
�������
�
�� �������� ������������ ���������� �������
����� ����������'������� ��
��!���
��� �������� ��� �
����
�����
����������
�
� ����������
��
�����������
�� �
���� �����
������������ ��
��!"#$�������%�������
��
���
�������
�����
��� �������
������������
��$���&��
��� ����������������������� ��� ��������������
��������
�����������
�
�������� ��()��*+�����
�
�������� ���
������
� ����� �� �������� �
����������������� �
���
�������
�������
�������
�������������������� ��,--�� �.--�/&�(,+�
$� �������
�������������
��� ������
��
�����������
���������������
� ���������������� ������
�
���� ����
������
���� ����� ����������������
�������
������������ ��
����������� �������� �����������
�� ��� ���� ��������������
������ ��������������������
�� ��
������������� ������
� ��
�� ������� �� ��
�������������
���������
���������������������������
� � ���� ������ ������
�������
��������
���!0�!����0�
��
����
�� ����������������������
�����1�������� ���
�
����� ���������
�������� ��������
�����������������!�����
����
�������
�*--�*2-�/&��
�������3��������
�� �� ������
� ������
�
������������������������� � ��� �������� ��
���
�� ��������������
����������������
������(.+�������
�������
�������������� ����������������������
����4�����*��
)--�� �*--���������������������������������������
���
����!0����� ��������������������
� ����������
��������
�
�����������������
�
���������������'���������
� �
#$&5 �-6�-6�1��7)�-2�8��72�,-�9
���������� �� �������������������������������������
���� ���������� ��������� ����� ����� �����������������������
�� ��!����������"�"��!���������"���� ��������"����#���
���
� � �� ��
��
�
�� ��)�������� ���
� �� * �
�+�� ,�� ��-���� �
��� � "�� .�
/�� �$�%(������
��
0��"1� 2$,�'334� 3%5'�%'3,6� �'��
�1� 7��8
"�
�/"��
��$��!��������%�"��#���&�����"�'��(��)����"�"�����������$���� ���������$�*��"��+���
,����"�����&����&��
���
� ��
�� ���
�
����
�� ����
������������
���� 3%� ��
�!�� �����
�� .�
/�� �$��,������
��
0��"1� 2$,�'334� �5%'59',�6� :�;1� 2$,�'334� �5%',$'3�6� �'��
�1� �
���
/�8���"���
�
��"�
�/"��
"�"��#�������
&��"�*�������
<
��
����
�� = �"�� .�
/������
��
������������� ����
�������� ����
��������
� ��
���� ����������������
���������� ������� ��
���������� ������������������ �
���������������
�
������ �����
����������� ��������
�� ��������
�������
��
�
��$��������� ����� � ������ � ���� �
�
�
��� � �
� ��������� �� ��
����������
� �����
����
�
� �����
��
���� ����������������
���������� ������� ��
����� ������ ��
�����
�
������� ������ ����������
���������
#����� �-� ���� ����� �� ��
�� �� ��� ���
��������
��
�
�� �������:��� ���
�������
�� �������
�
� ����
�� ������� ��� �����
�� ������������
#�
������������-,�-2�--;�����
�������
���
�����������**�-<�--;�����
����� ��
�������� ��,-�-<�--�
,<- �� ��$2$4������
�� ��!���������������-����������� �� �����������������������������������������
�����
� ���������� ����� �� ������������ ��,-�� �2-����
���������� ������������
���������������������� ������
�
�
����
���� ����� ���������������������
������������� ��
���������� �� ������ ������
�
�����������:��� �
�#�*5��
��4�$���������*�" �$������#�*5�����#��$���������4
�������������
������� ����������������� �����������
���
���
�
����������
�� �����*������ ������������������ �
��������� ������������
� ��
� ���� �������� �
��� ��
$������ � ������� ������
�����������
���� ������:���
���
��
��������
���!0�!����0���
����
�� ����������������
�����
�����
���=����)�������
���� ���
���'����
��������
� �
����!����0���
��������
����
�����
���������������������
��
����
������
��
�� �� �
���
���� ����
��7�)*�µ�������
����*2�� �.-��)--�� �*--��µ��������������� ������� ������
�
��
��
���
����� ���� ��
����������������������
���
��
����
�����
���� ����������� ����7-�)--�µ�����������
2--�µ��������������������
���� �������� ������0����� ��
��
���� �����
��,�2�µ�������������!"#$����� �����
���
�
�
� ������=����*�
������,-�2-�����
��������������������
�������������
������ ������������� ������
�
����
���� ����� ��������
����
�� �
� ����������������������
�� ������
�������
�
��
����������������
�
������������������
������
� ���� �� ��
�����������
��� ������
�
���
�� ������������
� ������������
� �������
������������ �����
����������������������
� ����������������������� �
��
� ����������������
���
������ ������
������� �������������� ���������������
� �������
������
�������� ���������������������� ��
���
� ����
���
�������� ���������������������
��������
�������� ��������������������������"������� ���
�����
����
�������������������
�)�����*�
�����
������������������ ����� �
�� ���������� ��
� �������������� �����
���� ��*--�,--��*-�2-�������
����2-�� �<-��>-�� �).-��%?:����3�����������������!��
@����� �����
���������������� ���*--�/&��!������
��
�
����� ��� ��������� ��
�
� �������������� �����
���
��)-�*-����������,,�� �>>�%?:����3����������������
����
� �����������
����������
�.--�<--����A��*�����
��
����������
� �������� ����������
�
�������������� �
<-�/&A���������
�����������������,2�.-�µ��������� ��
�����
�������������� ���� �������������
���
�
��������
�����������
��������� ���� ���
��������
�����
���������������� ������ ����������!���@����� �����
����
����� ��,,2�/&���
�������
�������������� ��� ��������� ����
<-& �������� ���� �����
�
��� ��)-2��
�� �)->�B������
�� ��
���� �
���������������������
��������� ��������
��
�������
������������� �����
����� ��� �� ����)---�� ��
��������������������� ���
�� ����
�� ��*×)-6�B�
���������.���������+��� ���)������+�������� �� ���/������
�
���)���������� �0
/���1��������������+������1�����& ���������+�0�
C
����� �����3�������%?: ,,�,6 27�<* 6-�66 >*�>< )*-�).-
"�������� ����� �
�
����������� *--�,-- )2-�*-- )--�*-- 6-�)-- *-�2-
����� �����3���������
������ ���� �������D ,.�.- *-�*< *-�*) ),�)< )-�)*
C
����� ������������$ 7-�)2- )--�)2- )--�)2- )2-�*-- *--�*6-
C
����� ��� �������D��� �� ������� �>�0�)- ?�>�0�7 ?�>�0�. ?�>�0�. ?�>�0�.
1� �����
�����������)�E�-���
= )�,�*�- F-�7�)�* F-�6�-�7 -�6�-�> -�<�-�7
#���������
�������
= -�* F-�)< -�)< -�)* -�-7
-�)2
& ���������
��
�:�
���� )�*×-�6×-�. -�>×-�22×-�, -�>×-�22×-�, -�2×-�*×-�)2� -�.×-�*×-�)2
F-�7×-�.×-�*
������
��.���������+��� ���)������+�������� �� ���/)
�����)���������� �0
/���1��������������+�0�
C
����� �����3�������%?: ,,�,6 27�<* >*�>< )*-�).-
"�������
������ )-�*- F)- F)- 2
������ ���� �������D ,.�.- *-�*< ),�)< )-�)*
C
����� �����������$ 7�)2 )-�)2 )-�)7 )-�)7
1� �����
�����������)�E�-���
= )-�*< F7�)* <�7 <�7
#���������
�������
= -�* F-�)< F-�)* -�-7
F F-�)2
& ���������
��
�:�
���� )�*×-�6×-�. F-�>×-�22×-�, -�2×-�*×-�)2 -�.×-�*×-�)2
F-�7×-�.×-�*
�� ��!���������������-����������� �� �����������������������������������������
,<)�� ��$2$4������
*�+�����$��������� �� ����� � ������ � ���� � �� !"#$����� ��
�������������� �)�G�
���� �������������!0�!����0�
��������;�*�G� � ����� �� �
� ������
�
��������������� ����������������
����;�,�G� ����� �� ��
���� ����������� �7�)*�µ��������� �� ���� ����������������
���;�.�G� ����
� ��������
��� �� �� � ��������������0����� �;� 2� G� � ����� �� ����
��� ������ ����;� <� G���
�� �������;� 6� G� � ����� �� ���� ��� ���
������
����
�� �� ���� ����������������
�����
,<* �� ��$2$4������
�� ��!���������������-����������� �� �����������������������������������������
2�� *���1�)������+� ��������+� �� ��
$����
� ����
����������� �����
��������
���!0����0���
�
��
�� ����������������������
���������
���� ���
���'���
��������
� ���������0���
��������
����
�����
�������������
������������
�������������������������
���
�*�� �2�µ�����
�����
������������� ��
����������� �� ������ ������
�
���
�������:��� �
�#�*5�����$������#�*5����4�$����������
���� ������
����������� ��
���
�
�������� ������ �����
!"#$����� ��
������
��������
� ������
����������� ��
�������������������,�
����
����
���
�
������ ���� ��
���������3������ ��)-
%?:������� ��������������������)-��$����
���� ��)�-��
�����
����������� ������� �������������� ��)-��$�� ����
�����
��� ������ ��)-�D�����������
����
�
��������� ����
�������
�,�)-��
��!�������������������������������������
�� ��
�
� ����������
��
� ���
�
�-�6�� �)�-������� ���
�����
�
� ����,-���������������� �����
������
��������
������� ��)�� �,��
�
������
��
��������
����������� ��
�
��������������
� �� �����������������
����� ����������
�
�� �������
��������
���������� ���������
� ������������������� ����
� ��
��5������� �� �� ����
����� ��� ��
���� ��������
�),2/&��
����������
�������
���� �
������������
������
���� �������� ���
��������
��H'
��� ��� �<-& �������
�� ���� �����
�
��
�� �)-7�B����
���
������������
�� �����
� ��������������������
�����������!����
�����
�� �
������:��
�� �� ������!�D������
������������������������ ���� ���
3��"�������� �� ��
���������� ���� ��
������������ �����
����������������
��� ������� ���������� � ������� ����
��
���������=����,�
��������� � ������
� ������
�������������� ��
����
����
�
�� �� �
�)�G�!0�������� ����� ���
����
����
��� � �
�����
� ��� ���
���� �����0�
����������<-����������������;
*�G�����������)-�I�*�µ������������.2����������������
�������� �������0�������
���;�,�G�
��������� ��#�*5�����
Au
Ti
n-Si
p-Si
Pd2Si
Ti
Au
Cu
Au
Pd
Pd2Si
n+-Si
p+-Si
TiN
Ni
*�+��
�� ���� !"#$��� �� ��� ���
� ��
����
������2��*���1�)������+���������+� �� ���/������
�
���)���������� �0
/���1��������������+������1������� ��
�����0�
C
����� �����3�������%?: ,,�,6 ,7�67 >*�>< )*-�).-
1� �����
�����������)�E�)-�D���
= -�,�-�. -�*2�-�,2 -�)*�-�)2 -�)�-�),
����� ������ �����
��� )�, )�, F2�)- 2�)-
�
�����������
= �������
���
�
����� )�, )�, )�, F)�,
��:�E�)-��$����
������ ���� �������D F.- F.- F.- .-
C
����� ������������$ F)- F)- F)- )-
#���������
����������
= -�* -�)< -�-7 -�-7
& ���������
��
�:�
���� )�*×-�6×-�. -�>×-�22×-�, -�.×-�*×-�)2 F-�.×-�*×-�)2
J��������� ����� �
����� ���� F�*-- F*-- F*-- F*--
�����������
�������
� ��<-�6-�/&�����
�� ��!���������������-����������� �� �����������������������������������������
,<,�� ��$2$4������
#��$��� ��#�*5�����$����
��� ������
�
���
�� �!0�����
�0����� �
;�.�G�� ����� �� �������� �����
��<÷7�µ��������
�
����� ������
��� �� ��� ��������
;�2�G��������� �����
��
����������������
�������
���������;�<�G�
� ����� �
����
��
��������������
���� ���� �
��������������� �
�� �����
�����
�
� ������=����.�
$�
�������������� ������
�����������0�
����������
����
�
����
� ����� ���������������
���=����2�������
����
� �
����
����E���;�������������� ���� ������
�������� ���
���
����&�D������
������
� �������
���������
������� ��� ��
)-÷)*�����
� ������=����<�
*�+�� 2�� $� �������� �� ����� � ������ � ���� � �� ������ �� �� ��
� ��������������
,<. �� ��$2$4������
�� ��!���������������-����������� �� �����������������������������������������
*�+�� 3������ ������ �� �� ��� ��
��� � )� ��
���� �� ��
�;� *� ��
� �������� � ���;� ,� �� � ��� ����
�
0
0
�� ��!���������������-����������� �� �����������������������������������������
,<2�� ��$2$4������
4��'
��� �� ��
������
���� ����%������ ������
���
��������
���<����0�
�00���
����
�� ������� �������������������
�����
���=���6��
��������������
�������
���'����
��������
� ���������0��00�
��
��������
����
�����
����������������������%��$�����*�
" �$��� ������
�
���
�� ������������00����� �
�����
��
��������������� ��
���������� �� ���������
� ����
�������� ������ ��������� ������
������� ������������
�������������� �������
������
������%������ ��
��������
��������������������.�
����
����������%������ ��
�
� ����� ��
������� �
�����
���� ��)--÷<-�����������,2�� �<-�%?:����3�����
�����������
�� �2-�����������<-�� �)--�%?:����3�����
�������$����������� ��
��������������
����������
�������
��.--�/&�� ��,-������ ���'
���� ����
���������������
�������*-�� �.--�/&����
�������������������������������
�
���
������ �����������
������������������
�������
�
��� ������ ���� ��
�
���
������ ��� ���� � ������ ��
����
������� ���
�������� �
)--�/&�� ��)---����!����
���� �
������������
��������� �
������ ���
��������
�������������� �����
�������
�������
�������<-& ���������� ����
�� ������
�� ��)-6�B��
5
��������� ��$�%�������������� ��� �� �������
� ���
�������������������������������� ��������������
����
��������
�������� ���� ���.2-�/&��
���������
���� �
���
���� ������ �����
�� �%������ ��
��? ������������ ����
����� ��������
�������� ������@����� ��� ���������� ��
�����
� � ��������
� ���
��
��� ����� �����������
������
:��� ��������������������
�� �������������� �
������� �
���
��������� ���
� ��
�
���������������������:��� �
� ��������������������� �������
������������
� ���������
�
� ������
��������� ���
������� ������
����������
��
� �� �
�$��" ����;�$�%��%�$
��$�������
� �����������
��������.,-�/&�����
��
������ �����
���� �
�������� �
��
�
����������� ����
� �����������
��������
��� ������������������������$�����������
�
� �������� ���
�
���
�� �����
������������������
�
� �
��������������� ���!����
�
�
��������������
�����
� �
� �
� � ��� ��� ��������� ��������������������
5� ������=����7���������� ��������� ����
���
� ����
������
�
����� �
����
�������� ����������
��
��
����
��
��������������.--��<--�����7--�/&��C�������
����� �
���
��
� ����
���������������������������
�������
���� �
<--�/&�� �
�� �������� ���
��
������������
������� �� �����
�
����� �
����
������ ����� �� ����������������� ��
���
�������������������������
�� ����������
��������
�����
�� ��������� �
������������������
��
��
��������
�������������
�������
���
��� �<--�/&�������
��
� �
� ������ ������
� �������� ����$�%��%�$
� ����������
��
���� ��������
���
�
��
���������=����7�� �������� ��
������������������
�
�� ������������
� �
����������� �
��������� ����������� �������� �� ���������;�����������
�
����������� ��������
���
� ��� �
� � �������
������ �
������3��.���������+�'
��� �� ���/������
�
���)���������� �0�
C
����� �����3�������%?: )6�*< *<�,6�2 ,6�2�2. 2,�67 .-�67 <-�)--
"�������� ����� �
�
������� *2�,-- )-�)-- )-�<- )-�2- )-�2- )-�2-
C
����� ��� �������D 2�6 ,�2 F*�2�. .�6 .�< .�2
C
����� �����������$ -�*2�)�* -�)2�)�* -�)2�)�* -�)2�)�* F-�)2�)�* F-�*2�)�*
#���������
����������
= -�, -�* -�* -�* -�* -�*
#��������������������? -�* -�* -�) -�) -�) -�)
& ���������
��
�:�
���� )�*×-�6×-�. )�*×-�6×-�. -�>×-�2×-�, -�>×-�2×-�, -�>×-�2×-�, -�2×-�,×-�,
��� ��� ��� ��� ��� ��� ���
�
�
�������
���µ�
�
� � �� �� �� �� ��
�����
����
�
�
*�+�� 4�� ���
����
� ����
� � �� �� � �����
� �
��� ��� ������ �� �� ��
��������������
*�+�� 5��@�#� �����
� � �� �� � �����
� �
��� ��� ������ �� �� ��� �����
����������
,<< �� ��$2$4������
�� ��!���������������-����������� �� �����������������������������������������
� �������������:��� �������
����������������
��� ����
�
������ ����� ��������
�
���=����>���C�������
�������
��������� �������� ��������
��
�����
�����
������
��� �
�� ���� �� ������������ �������������
�
�����
�������
��������
�����������������������
��
����������
�
����
�
������� �����������
�� ��� ���� ���
�������� ��� ����
��������������
���� ����� ��� �
����
���
���� �����
����������
���������������
�� �����
��
� ��
�
��
���� ���
����������
� ����������
�
�����
����" ����������<--�/&
�
���=����7������������
�� ��� ����
�
� � �������%�$
����������� �
��� ��
=�������� ��������������� ���
���������� �������3���
��
��� ����� �� ������%�$
�
�����������
�
��
����� ���
� �����������������������������
��������������������
����� �
���������
����������
�����:��� ���� ��������3�
����
��
�� ����
�������� ����������������
�����
�������
Au2
Au1
Mo
TiB2
AuGe
GaAs n++
GaAs n+
GaAs n
AuGe
TiB2
Mo
Au1
*�+�� 6�� ���� %���� �� ��� ���
� ��
����
� ��
� ��
���
����� ��
����� ���
����� ��
�����
�
�
�
�
*�+�� 7��$����� � ��������� ����
���
� ����
� � �� ����$��" ����;�$�%��%�$
������
��������� � �
����
� ����&�����C� � ���������
�
�� ��!���������������-����������� �� �����������������������������������������
,<6�� ��$2$4������
�
�
�
�
*�+�� 8�� ���� $��" ����;�$�%��%�$
� �����
��������� � �
� � ���
������� ����� �� ���� � ���� ����
�
��
,<7 �� ��$2$4������
�� ��!���������������-����������� �� �����������������������������������������
�����
� ��%�$
���
��������$������%�������� ����������
��� ���
������������ ������������������ ������� �������
������������ ���
��
�
�
����
����������������� �������
������
���� ����
���� �������� ���� ��� �������������
�
�� �������
���������� �������������������
���������������
����� ����������������� ���� ����� �
����
������ ��
���� ����������������������������
�������������
��
�
�
�
������������
������
�
� ������=����>�
#��
����� ��
�� ������ �
��
����������
�����:��������
������%�$
�
�����������
�� ������ ��������
�
���������
����
���������@����� �
�
�������
5������������ ����������+� �� ��� ���� � ��� ���
��������� �
������+� ���
��
��
������
����������������� ��
����������������� ���������
�
� ��%�$
���������� ��
��������!���@����� ����� ���)-�µ�
������������������� ������
��������������
����������
���� ������������������
��������
�2�����& ��������� �
���������������������
��������!0���������0�����������δ�
�����
������K�)-*-����,��)-)>����,�����)-),����*����
���
�������
������ ������
������� �������������� ������������
�� ������� ���
������
��$�������3������ ��)-�%?:����
����������
������
��� ���)-�µ���!������
�������3�����
�����������
� �
���������� ������������� ���
���� �
�������µ��� ��������
����������������� ��
������ �����
��
�
� ��$�$
A%�$
A$�$
������
��������������� ������
3������
��������
� ��
������ ��
�����������
���������
(2+���C�������
������ �
������
� �����������
�� ����
�� �
*×)->�B��������� ��
���������� ����
������������������
��
� ��� �����
�
�(<�6+�
6��,�� �� ���)����
��� �������
�����������������������
������������ ������� ��������
���������
�������� ���� ������ ��!���@����� �
����������
���
����������
��������
���������
���� ����
��������
����������������
����������
�������� ��� ������� ���
������
� ��!���@����� �
��
��
���� �� ���������
�������
� �������������
�������
�� �������������
��� �����
��
��
� �� �
��=��
�������� ������� ��������
������� �
����
�������� ��� ������!��� @����� �� �
�
����������� ������� ��
���
�������� ������������
��������������������� ������
������������ ���0�L�)--�9��
� ����
�����'��
�� ����5���
��������� ������� ���������������������
���������
���
�
�������
������ ��!���@����� �
��$��
��
����
�����������
� �����
�������� ������
��������
��
�
���
��� ��
����
� ����������������
�������5����
��
�
������
�����
��
������� ����
�������
�������
��������*�� �.--�9��������$
������� ������
����� ���������������� ����������� ���������
������������������ ������
��������
��
�
��
����������(7+�
����
�����
��� �@������� �����
�� �����
�� ������
����
5����
����� ������
������������
��
�
�� ��� ��������
�����������
��������������������� ��)�� �<--�9��������
!���
��� ��������
���
���������3��������
�������
��
�
������
���������
���������
� ��������������������
�����
��������������
����������������
������������ �
���������� �����
�������
���5��������
������
�� �
� ����
������3��������������
�
�����
�����������������������
���
������� �������������������
���
����������
������� ����
�����������������
�����
����������������
����������
� ��
��
����
���� ����������� �����
��������
��
�
���������
� ���� ������� ��
��������� �
� ��!0'�'�0�
������ �� ��
�=����)-��������� ���
�����������
�
��
������������� �� ��
*�+�� �9�� ���� ��
���� �� ��
���� �� �������� � �� �� ��� ���
��������
��
�
�
�� ��!���������������-����������� �� �����������������������������������������
,<>�� ��$2$4������
���������$�� ���
��
���� ���
���'�����0'��
��������
�����
�����
��
������B�
�
������� �������
���'�������������)�2�µ�
���������
�-�)2�Ω⋅����$�5�C*��������-�2�µ�����������
������ ����� �������
���'��������������������� �
��)--
µ�������������������������������
����������� �������
�
���� �
�� � �������
� ��� �������
��� ��-�7�µ����
�
���
� ������ ��������A0���������������������� �����
�� ����
A0������������� ��������
�3���������������*������$����
�
��� ���
����������� ��
���������� �� ������������� �
�����������
��� �� ��� ������������������ �����
�� ����
�0������������#�*5�����$��
��������������
�:�� ���������
���
��������� ����������
�-�,2×-�,2�µ������
��� ���
�����
�������
�
���������� ��������������������
�������
����
���������
���� ���� ������
��������
��
���
� ������=����))����������
�� �5���� ���
��������
�����
� ������
������������� �
��
� ���������� ��
��
�������
*�+�� ���� 5��������� ����� ����
������� ��
���� �� ��
���� �� �� ��� � �� ���
��������
��
�
�
����������� �
������
�����
������������
��������
���
�����������
���
��������
�������������������������
�������
� �����
,6- �� ��$2$4������
�� ��!���������������-����������� �� �����������������������������������������
���� ����������<�µ���� ���
���
���� ���)2-�*--�µ��������
����
���������� �������� ���������������������� ��
�
�����
�
�� ������������������$���������5������������$�
�����
��������
�������
� �� ������ ���������������
���
��������
�
������
������� ������ ���������������
�
�����������������
� ���������� ��$�������
��$�
��
�����
����������
�
��������� ��� �������
�����
�
��
���������
���������
� �����������&
���������2-�µ��������������
��
�����
�������� ������
�����
�
;����
�������
� ����
��������
������������ ���� �������� �������������
����
����
������������
������
�� �������
����������������� ��
����� ��������
�:����
�∅ )�*×)�-��������
�
�������
� �
����
���
��
���������������� �����������'����������� �
����
� ����
������� ��
��������� ������� ��������������
����
���
�
5� ������=����)*��
������ ������� ��������������
��
��
��������������
�
����
�������������
��������.�*�� �<--�9
���
���������������C�������
����� �������� ���������
�����
������ ������
��������
��
�
���� �
����������������
����
��
������������������������ ������������ �������������
� �����������������
���
��������,-�� �<--�9����
�������
������
:����
����
C�������
������ �
��������� �
������������� ������
�
�
���
���
��� ������
�������
��� ����
������������
� ���������
� ��������
�����
� ��
����� ��
� ����� �� ������ ����
�� ��
�������������
� ���������������������
�������
� ����� �����������������������
�������
������������� �
� �������� �����
���� ��
��
�������������
��&����� +������
���� �����
����� �� ������ �� �� ��
� ���� ��
����
������������ ��
���
�������
���
��
��������
������������
��
�� ������,,�67�%?:����3����������������!"#$��
�� ��
�� ������,,�,6�����6-�66�%?:����3�����������
�
��
��������� �������������!4&C�&C#HB4!&M5�#� �
������#� @����4 �>66),)�N"H"5�$DHO��
)���������
)� B�D��9 ��� ����#��9 ��
��P��$����� ���� ��� �����)��
�7
�
�
����
�
�� �
�� ��� ���
�
����
���/��������B
���� ���� B�
�
������ 4��� ��� 1������ 9���� �)>7<��
*� "��5�����C����B�/
��������@
���
���#������#��
��4���P ���
J �� �� �)>76��
,� D�$��"�������4�5��� �� ���
��D�$��#�
�������C�D��B����� �
��������
�
�����
� �� ���������� ����������� �������:��� ��
�
�
���
�� �� ���
�"� �� ���"�<� ���
-��!��� @
��"�<@D&%�� )-�)*
"��� )>>2�� & ������ =�������
�� .*,�.*7�
.� B�D�� 9 ��� ���� 4�$�� #������ H�$�� 5 � ������ 5������� �� �
�������� ��
���������
� ��� ���� ������� ���� ����� �������
� ���
B�
������ �����
�"� , �� �� ���"� @�
����� @
��"� *<
��
E�/�
B�/
���� ���� 0����
����
��
�� 0����
�
-
��+�� 93'9(� ��!'
��7��� 9&&,�����
�� ,>*�,>2��������#������ 5���
�
�� �)>>7��
2� 4�$�� #������ H�$�� 5 � ������ 4�5�� � �� ���
�� C�� �� � ���� �
��
�
�� �
� �������
� ���
���������� ���� ����� �� ��
� ���� B�
�
������ �����
�"� & �� �� ���"�@�
�����@
��"� *<
��
E�/��B�/
���
���� 0����
����
��
�� 0����
�
-
��+�� 9$'95� ��! ��7��
9&&&��
�� 76�77�� ������ #������ 5���
�
�� �)>>>��
<� $�H�� ��������� B�D�� 9 ��� ���� H�$�� 5 � ������ H�=�� D������
5�$��D���
�������P��$����� ����� !�P��� !�Q����H�������� ������
�� ��������
� �� ������������ ��
�������������
����� �����
�"
�� ���"�F
����
!� *$��� >��
���/��B����
��<
�������� >���
�!
�;�+��<���95'9(�� 9&&5��H�
��B��B����������"����@��
1�� #�
�@ ��
�� >-�>,�� 5�M�� �����
����� �)>><��
6� $�$�����������$�H�����������B�D��9 ��� ����5�$��D���
������
D�D��"��������H�$�� 5 � ������J�4��9�������� �����=�����
���
����
��
����$��"��
���B������ ��������
� ��$�$
A%�$
�
��
��� ��
����� ���������� �� ��
� AA����
�
����
�� ����
���
���� ������� �
�
����� !
���� �
�
���
�)���
��>7�)-)��)>>>��
7� J�%�� B������ &�� ������ ����� ����� � �� ������� ��
� ���
����� )>7*� AA�@��
-��
��� 26�6���
�� ,.)�,2<� �)>>6��
����
�
��
�
�
�
�
��� ���
���
��� ���
���
�� ���
���
���
����
����
��
�
�
�
�
�
��
�
�
��
*�+�� �
�� D �������� ���� ����
��
����������A�0� ���� �
� ���
�������� �����
� ��� ���������� �������
�
|