Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии
В работе представлены результаты применения метода спектральной интерферометрии оптического диапазона для измерения толщин тонких пленок. Аналитически и экспериментально проанализирован спектр суммарного излучения на выходе волоконно-оптического интерферометра Фабри–Перо, который формируется за счет...
Saved in:
| Published in: | Радіофізика та електроніка |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122659 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии / К.А. Лукин, Д.Н. Татьянко, А.Б. Пих, О.В. Земляный // Радіофізика та електроніка. — 2017. — Т. 8(22), № 1. — С. 77-85. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |