Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии

• Veröffentlicht in: Радіофізика та електроніка
• Datum: 2017
• Hauptverfasser: Лукин, К.А., Татьянко, Д.Н., Пих, А.Б., Земляный, О.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2017
• Schlagworte: Прикладная радиофизика
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/122659
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии / К.А. Лукин, Д.Н. Татьянко, А.Б. Пих, О.В. Земляный // Радіофізика та електроніка. — 2017. — Т. 8(22), № 1. — С. 77-85. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

В работе представлены результаты применения метода спектральной интерферометрии оптического диапазона для измерения толщин тонких пленок. Аналитически и экспериментально проанализирован спектр суммарного излучения на выходе волоконно-оптического интерферометра Фабри–Перо, который формируется за счет...