Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме

• Published in: Сверхтвердые материалы
• Date: 2012
• Main Authors: Седов, В.С., Ральченко, В.Г., Хомич, А.А., Сизов, А.И., Звукова, Т.М., Конов, В.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2012
• Subjects: Получение, структура, свойства
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125956
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме / В.С. Седов, В.Г. Ральченко, А.А. Хомич, А.И. Сизов, Т.М. Звукова, В.И. Конов // Сверхтвердые материалы. — 2012. — № 1. — С. 49-57. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Показано, что слои определенного типа полимеров, нанесенные на подложку из кремния, образуют при термической деструкции (наряду с sp²-координированным углеродом) наночастицы алмаза, которые служат центрами зарождения кристаллитов при последующем осаждении алмаза из газовой фазы. С использованием пре...