Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме
Показано, что слои определенного типа полимеров, нанесенные на подложку из кремния, образуют при термической деструкции (наряду с sp²-координированным углеродом) наночастицы алмаза, которые служат центрами зарождения кристаллитов при последующем осаждении алмаза из газовой фазы. С использованием пре...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Дата: | 2012 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125956 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме / В.С. Седов, В.Г. Ральченко, А.А. Хомич, А.И. Сизов, Т.М. Звукова, В.И. Конов // Сверхтвердые материалы. — 2012. — № 1. — С. 49-57. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862698874625327104 |
|---|---|
| author | Седов, В.С. Ральченко, В.Г. Хомич, А.А. Сизов, А.И. Звукова, Т.М. Конов, В.И. |
| author_facet | Седов, В.С. Ральченко, В.Г. Хомич, А.А. Сизов, А.И. Звукова, Т.М. Конов, В.И. |
| citation_txt | Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме / В.С. Седов, В.Г. Ральченко, А.А. Хомич, А.И. Сизов, Т.М. Звукова, В.И. Конов // Сверхтвердые материалы. — 2012. — № 1. — С. 49-57. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Сверхтвердые материалы |
| description | Показано, что слои определенного типа полимеров, нанесенные на подложку из кремния, образуют при термической деструкции (наряду с sp²-координированным углеродом) наночастицы алмаза, которые служат центрами зарождения кристаллитов при последующем осаждении алмаза из газовой фазы. С использованием предкерамических полимеров поли(нафтилгидрокарбина) и поли(гидрокарбина) в смеси метан–водород в СВЧ-плазме синтезированы микрокристаллические алмазные пленки.
Показано, що шари певного типу полімерів, які нанесені на підкладку з кремнію, утворюють при термічній деструкції (разом з sp²-координованим вуглецем) наночастинки алмазу, котрі служать центрами зародження кристалітів при наступному осадженні алмазу з газової фази. З використанням передкерамічних полімерів полі(нафтилгідрокарбінуа) і полі(гідрокарбіну) в сумішах метан–водень в НВЧ-плазмі синтезовані мікрокристалічні алмазні плівки.
It has been shown that layers of a certain type polymers applied to silicon substrates at the thermal destruction form (in parallel with sp² coordinated carbon) diamond nanoparticles, which act as nucleation centers of crystallites in the subsequent chemical vapor deposition of diamond. Microcrystalline diamond films have been synthesized from methane–hydrogen mixtures by microwave plasma using poly(naphthylhydrocarbin) and poly(hydrocarbin) preceramic polymers.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:34:39Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-125956 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0203-3119 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:34:39Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Седов, В.С. Ральченко, В.Г. Хомич, А.А. Сизов, А.И. Звукова, Т.М. Конов, В.И. 2017-11-10T17:12:52Z 2017-11-10T17:12:52Z 2012 Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме / В.С. Седов, В.Г. Ральченко, А.А. Хомич, А.И. Сизов, Т.М. Звукова, В.И. Конов // Сверхтвердые материалы. — 2012. — № 1. — С. 49-57. — Бібліогр.: 15 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125956 539.216:621.921.34 Показано, что слои определенного типа полимеров, нанесенные на подложку из кремния, образуют при термической деструкции (наряду с sp²-координированным углеродом) наночастицы алмаза, которые служат центрами зарождения кристаллитов при последующем осаждении алмаза из газовой фазы. С использованием предкерамических полимеров поли(нафтилгидрокарбина) и поли(гидрокарбина) в смеси метан–водород в СВЧ-плазме синтезированы микрокристаллические алмазные пленки. Показано, що шари певного типу полімерів, які нанесені на підкладку з кремнію, утворюють при термічній деструкції (разом з sp²-координованим вуглецем) наночастинки алмазу, котрі служать центрами зародження кристалітів при наступному осадженні алмазу з газової фази. З використанням передкерамічних полімерів полі(нафтилгідрокарбінуа) і полі(гідрокарбіну) в сумішах метан–водень в НВЧ-плазмі синтезовані мікрокристалічні алмазні плівки. It has been shown that layers of a certain type polymers applied to silicon substrates at the thermal destruction form (in parallel with sp² coordinated carbon) diamond nanoparticles, which act as nucleation centers of crystallites in the subsequent chemical vapor deposition of diamond. Microcrystalline diamond films have been synthesized from methane–hydrogen mixtures by microwave plasma using poly(naphthylhydrocarbin) and poly(hydrocarbin) preceramic polymers. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ, гранты № 10-03-00943-а и 09-03-00605-а. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Получение, структура, свойства Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме Stimulation of the diamond nucleation on silicon substrates with a layer of polymeric precursor in deposition of diamond films by microwave plasma Article published earlier |
| spellingShingle | Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме Седов, В.С. Ральченко, В.Г. Хомич, А.А. Сизов, А.И. Звукова, Т.М. Конов, В.И. Получение, структура, свойства |
| title | Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме |
| title_alt | Stimulation of the diamond nucleation on silicon substrates with a layer of polymeric precursor in deposition of diamond films by microwave plasma |
| title_full | Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме |
| title_fullStr | Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме |
| title_full_unstemmed | Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме |
| title_short | Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме |
| title_sort | стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в свч-плазме |
| topic | Получение, структура, свойства |
| topic_facet | Получение, структура, свойства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/125956 |
| work_keys_str_mv | AT sedovvs stimulirovaniezaroždeniâalmazanapodložkahkremniâsosloempolimernogoprekursorapriosaždeniialmaznyhplenokvsvčplazme AT ralʹčenkovg stimulirovaniezaroždeniâalmazanapodložkahkremniâsosloempolimernogoprekursorapriosaždeniialmaznyhplenokvsvčplazme AT homičaa stimulirovaniezaroždeniâalmazanapodložkahkremniâsosloempolimernogoprekursorapriosaždeniialmaznyhplenokvsvčplazme AT sizovai stimulirovaniezaroždeniâalmazanapodložkahkremniâsosloempolimernogoprekursorapriosaždeniialmaznyhplenokvsvčplazme AT zvukovatm stimulirovaniezaroždeniâalmazanapodložkahkremniâsosloempolimernogoprekursorapriosaždeniialmaznyhplenokvsvčplazme AT konovvi stimulirovaniezaroždeniâalmazanapodložkahkremniâsosloempolimernogoprekursorapriosaždeniialmaznyhplenokvsvčplazme AT sedovvs stimulationofthediamondnucleationonsiliconsubstrateswithalayerofpolymericprecursorindepositionofdiamondfilmsbymicrowaveplasma AT ralʹčenkovg stimulationofthediamondnucleationonsiliconsubstrateswithalayerofpolymericprecursorindepositionofdiamondfilmsbymicrowaveplasma AT homičaa stimulationofthediamondnucleationonsiliconsubstrateswithalayerofpolymericprecursorindepositionofdiamondfilmsbymicrowaveplasma AT sizovai stimulationofthediamondnucleationonsiliconsubstrateswithalayerofpolymericprecursorindepositionofdiamondfilmsbymicrowaveplasma AT zvukovatm stimulationofthediamondnucleationonsiliconsubstrateswithalayerofpolymericprecursorindepositionofdiamondfilmsbymicrowaveplasma AT konovvi stimulationofthediamondnucleationonsiliconsubstrateswithalayerofpolymericprecursorindepositionofdiamondfilmsbymicrowaveplasma |