Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния

• Published in: Сверхтвердые материалы
• Date: 2013
• Main Authors: Филатов, Ю.Д., Ветров, А.Г., Сидорко, В.И., Филатов, А.Ю., Ковалев, С.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2013
• Subjects: Исследование процессов обработки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126064
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 5. — С. 63-71. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

В результате исследований закономерностей финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния на основе обобщенной модели образования и удаления частиц шлама и съема обрабатываемого материала показано, что использование в качестве критерия для оценки эффективности процесса обр...