Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния

В результате исследований закономерностей финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния на основе обобщенной модели образования и удаления частиц шлама и съема обрабатываемого материала показано, что использование в качестве критерия для оценки эффективности процесса обр...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Сверхтвердые материалы
Дата:2013
Автори: Филатов, Ю.Д., Ветров, А.Г., Сидорко, В.И., Филатов, А.Ю., Ковалев, С.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2013
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126064
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 5. — С. 63-71. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-126064
record_format dspace
spelling Филатов, Ю.Д.
Ветров, А.Г.
Сидорко, В.И.
Филатов, А.Ю.
Ковалев, С.В.
2017-11-12T17:06:35Z
2017-11-12T17:06:35Z
2013
Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 5. — С. 63-71. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.
0203-3119
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126064
621.623
В результате исследований закономерностей финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния на основе обобщенной модели образования и удаления частиц шлама и съема обрабатываемого материала показано, что использование в качестве критерия для оценки эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса позволило обосновать целесообразность применения порошков карбида бора и диоксида титана для тонкого шлифования и порошков оксида хрома, оксида алюминия, диоксида церия и алмазных микропорошков АСМ 2/1 для супертонкого шлифования.
В результаті досліджень закономірностей фінішної алмазно-абразивної обробки монокристалічного карбіду кремнію на основі узагальненої моделі утворення та видалення частинок шламу і зняття оброблюваного матеріалу показано, що використання в якості критерію для оцінки ефективності процесу обробки приведеної величини енергії переносу дозволило обґрунтувати доцільність застосування порошків карбіду бору і двооксиду титану для тонкого шліфування та порошків оксиду хрому, оксиду алюмінію, двооксиду церію і алмазних мікропорошків АСМ 2/1 для надтонкого шліфування.
As a result of researches of laws of finishing diamond and abrasive processing of monocrystal carbide of silicon on the basis of the generalised model of formation and removal of slime particles and removal a processed material it is shown, that use as criterion for an estimation of efficiency of process of processing of the resulted size of energy of carrying over has allowed to prove expediency of application of powders of boron carbide and titanium dioxide for thin grinding and powders chrome oxide, aluminium oxide, ceric oxide and diamond micropowders АСМ 2/1 for superthin grinding.
ru
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
Сверхтвердые материалы
Исследование процессов обработки
Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
Regularities of the diamond-abrasive finishing of monocrystalline silicon carbide
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
spellingShingle Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
Филатов, Ю.Д.
Ветров, А.Г.
Сидорко, В.И.
Филатов, А.Ю.
Ковалев, С.В.
Исследование процессов обработки
title_short Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
title_full Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
title_fullStr Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
title_full_unstemmed Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
title_sort закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния
author Филатов, Ю.Д.
Ветров, А.Г.
Сидорко, В.И.
Филатов, А.Ю.
Ковалев, С.В.
author_facet Филатов, Ю.Д.
Ветров, А.Г.
Сидорко, В.И.
Филатов, А.Ю.
Ковалев, С.В.
topic Исследование процессов обработки
topic_facet Исследование процессов обработки
publishDate 2013
language Russian
container_title Сверхтвердые материалы
publisher Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
format Article
title_alt Regularities of the diamond-abrasive finishing of monocrystalline silicon carbide
description В результате исследований закономерностей финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния на основе обобщенной модели образования и удаления частиц шлама и съема обрабатываемого материала показано, что использование в качестве критерия для оценки эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса позволило обосновать целесообразность применения порошков карбида бора и диоксида титана для тонкого шлифования и порошков оксида хрома, оксида алюминия, диоксида церия и алмазных микропорошков АСМ 2/1 для супертонкого шлифования. В результаті досліджень закономірностей фінішної алмазно-абразивної обробки монокристалічного карбіду кремнію на основі узагальненої моделі утворення та видалення частинок шламу і зняття оброблюваного матеріалу показано, що використання в якості критерію для оцінки ефективності процесу обробки приведеної величини енергії переносу дозволило обґрунтувати доцільність застосування порошків карбіду бору і двооксиду титану для тонкого шліфування та порошків оксиду хрому, оксиду алюмінію, двооксиду церію і алмазних мікропорошків АСМ 2/1 для надтонкого шліфування. As a result of researches of laws of finishing diamond and abrasive processing of monocrystal carbide of silicon on the basis of the generalised model of formation and removal of slime particles and removal a processed material it is shown, that use as criterion for an estimation of efficiency of process of processing of the resulted size of energy of carrying over has allowed to prove expediency of application of powders of boron carbide and titanium dioxide for thin grinding and powders chrome oxide, aluminium oxide, ceric oxide and diamond micropowders АСМ 2/1 for superthin grinding.
issn 0203-3119
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126064
citation_txt Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев // Сверхтвердые материалы. — 2013. — № 5. — С. 63-71. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT filatovûd zakonomernostifinišnoialmaznoabrazivnoiobrabotkimonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT vetrovag zakonomernostifinišnoialmaznoabrazivnoiobrabotkimonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT sidorkovi zakonomernostifinišnoialmaznoabrazivnoiobrabotkimonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT filatovaû zakonomernostifinišnoialmaznoabrazivnoiobrabotkimonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT kovalevsv zakonomernostifinišnoialmaznoabrazivnoiobrabotkimonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT filatovûd regularitiesofthediamondabrasivefinishingofmonocrystallinesiliconcarbide
AT vetrovag regularitiesofthediamondabrasivefinishingofmonocrystallinesiliconcarbide
AT sidorkovi regularitiesofthediamondabrasivefinishingofmonocrystallinesiliconcarbide
AT filatovaû regularitiesofthediamondabrasivefinishingofmonocrystallinesiliconcarbide
AT kovalevsv regularitiesofthediamondabrasivefinishingofmonocrystallinesiliconcarbide
first_indexed 2025-12-01T14:47:32Z
last_indexed 2025-12-01T14:47:32Z
_version_ 1850860510510055424