Characterization of Ti–B–C–N films deposited by dc magnetron sputtering of bicomponent Ti/B₄C target
Quaternary Ti–B–C–N films have been deposited onto Si (100) substrates by dc magnetron sputtering of bi-component Ti/B₄C target in an Ar/N₂ gas mixture with different amounts of nitrogen in the mixture (from 0 to 50%). The X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy, indentation, and scratch...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Дата: | 2015 |
| Автори: | Onoprienko, A.A., Ivashchenko, V.I., Timofeeva, I.I., Sinelnitchenko, А.К., Butenko, О.А. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2015
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126147 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Characterization of Ti–B–C–N films deposited by dc magnetron sputtering of bicomponent Ti/B₄C target / A.A. Onoprienko, V.I. Ivashchenko, I.I. Timofeeva, А.К. Sinelnitchenko, О.А. Butenko // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 1. — С. 21-29. — Бібліогр.: 23 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Characterization of Ti–B–C–N films deposited by dc magnetron sputtering of bicomponent Ti/B4C target
за авторством: A. A. Onoprienko, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: A. A. Onoprienko, та інші
Опубліковано: (2015)
Deposition and characterization of thin Si–B–C–N films by dc reactive magnetron sputtering of composed Si/B4C target
за авторством: A. A. Onoprienko, та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: A. A. Onoprienko, та інші
Опубліковано: (2019)
Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system
за авторством: Panasyuk, A.D., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Panasyuk, A.D., та інші
Опубліковано: (2009)
Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)
Influence of nitrogen on the microstructure, hardness and tribological properties of Cr–Ni–B–C–N films deposited by DC magnetron sputtering
за авторством: O. O. Onopriienko, та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: O. O. Onopriienko, та інші
Опубліковано: (2020)
Structure and properties of sputtered powder of the eutectic B4C – TiB2 alloy
за авторством: P. I. Loboda, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: P. I. Loboda, та інші
Опубліковано: (2015)
Structure and properties of the coatings of the Al–B–Si–C system deposited by magnetron sputtering
за авторством: A. O. Kozak, та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: A. O. Kozak, та інші
Опубліковано: (2020)
Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB2-TiSi2
за авторством: I. N. Torianik, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: I. N. Torianik, та інші
Опубліковано: (2013)
Stydy on resistivity and micostructure of magnetron sputtered α-C:Si films
за авторством: Onoprienko, A.A., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Onoprienko, A.A., та інші
Опубліковано: (2006)
Magnetron nc-TiC/a-C nanocomposite coatings
за авторством: Ju. S. Borisov, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Ju. S. Borisov, та інші
Опубліковано: (2013)
The composite Ti – B4C produced by SHS
за авторством: M. O. Sysoiev, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: M. O. Sysoiev, та інші
Опубліковано: (2015)
Электроразрядное спекание тугоплавких композитов систем TiN–AlN и B₄C–TiB₂
за авторством: Замула, М.В, та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Замула, М.В, та інші
Опубліковано: (2009)
Структура и сопротивление внедрению гетерофазной керамики B₄C−CaB₆−TiB₂
за авторством: Григорьев, О.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Григорьев, О.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)
The impact of high voltage treatment of Fe—Ti—C and Fe—Ti—B—C powder compositions on the changes of their electrical resistivity
за авторством: O. N. Sizonenko, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: O. N. Sizonenko, та інші
Опубліковано: (2014)
Phase composition, structure and stress state of magnetron sputtered W-Ti condensates
за авторством: Sobol`, O.V.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Sobol`, O.V.
Опубліковано: (2006)
Effect of nitrogen partial pressure on reactive magnetron sputtering from Ti13Cu87 metalloid target: simulation of chemical composition
за авторством: A. Rahmati, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: A. Rahmati, та інші
Опубліковано: (2012)
Effect of nitrogen partial pressure on reactive magnetron sputtering from Ti13Cu87 metalloid target: simulation of chemical composition
за авторством: A. Rahmati, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: A. Rahmati, та інші
Опубліковано: (2012)
Effect of the nitrogen flow on the properties of Si–C–N amorphous thin films produced by magnetron sputtering
за авторством: A. O. Kozak, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: A. O. Kozak, та інші
Опубліковано: (2015)
Structure and properties of the eutectic composite B4C – TiB2 prepared by spark plasma sintering
за авторством: P. I. Loboda, та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: P. I. Loboda, та інші
Опубліковано: (2011)
Conductivity, strength and morphometry of diamonds, synthesized in the Ni-B-Ti-C system
за авторством: O. I. Cherniienko, та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: O. I. Cherniienko, та інші
Опубліковано: (2016)
Formation of porous zinc nanosystems using direct and reverse flows of DC magnetron sputtering
за авторством: Latyshev, V.M., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Latyshev, V.M., та інші
Опубліковано: (2017)
Study of aeroabrasive wear of hot-pressed materials of the B4C–TiB2 system
за авторством: V. V. Ivzhenko, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: V. V. Ivzhenko, та інші
Опубліковано: (2014)
Solid erosion-resistant coatings of Ti-B-C system, deposited in vacuum
за авторством: Ju. Jakovchuk, та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ju. Jakovchuk, та інші
Опубліковано: (2009)
Твердые эрозионностойкие покрытия системы Ti-B-C, осаждаемые в вакууме
за авторством: Яковчук, К.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Яковчук, К.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Influence of TiV2-TiB2-(secondary) borids on stucture, properties and abrasive wear of hot-pressing cmc-composites B4C–(TiV2–TiN2)
за авторством: O. N. Kajdash, та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: O. N. Kajdash, та інші
Опубліковано: (2018)
Влияние высоковольтной обработки порошковых композиций состава Fe—Ti—C и Fe—Ti—B—C на изменение их электрического сопротивления
за авторством: Сизоненко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Сизоненко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2014)
HP-HT sintering, microstructure, and properties of B6O and TiC-containing composites based on cBN
за авторством: D. V. Turkevich, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: D. V. Turkevich, та інші
Опубліковано: (2015)
Фазові перетворення в системі Ni–B–Ti–C при синтезі алмазу
за авторством: Чернієнко, О.І., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Чернієнко, О.І., та інші
Опубліковано: (2015)
The sputtering of silicon and carbon targets by accelerated ion by the fullerene C60
за авторством: M. V. Maleev, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: M. V. Maleev, та інші
Опубліковано: (2015)
Optical and structural studies of phase transformations and composition fluctuations at annealing of Zn₁₋xCdxO films grown by dc magnetron sputtering
за авторством: Kolomys, O., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Kolomys, O., та інші
Опубліковано: (2014)
The effect of a.c. and d.c. electric field on the dielectric properties of Na₀.₅Bi₀.₅TiO₃ ceramic
за авторством: Suchanicz, J.
Опубліковано: (1999)
за авторством: Suchanicz, J.
Опубліковано: (1999)
X-ray emission and photoelectron spectroscopy studies of interaction of nanocrystalline TiN and TiB₂ after highpressure sintering
за авторством: Bykov, A.I., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Bykov, A.I., та інші
Опубліковано: (2007)
Hardness and adhesion strength of ion-plasma coatings of quasibinary systems of TiB2-VB2 and TiC-WC
за авторством: O. V. Sobol, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: O. V. Sobol, та інші
Опубліковано: (2015)
Твердость и адгезионная прочность ионно-плазменных покрытий квазибинарных систем TiB₂-WB₂ и TiC-WC
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)
Технология получения, структурообразование и некоторые свойства композиционной керамики системы W2B5–TiB2–B4C
за авторством: Коротеев, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Коротеев, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Моделирование процесса сегментации нанокластеров Ti₁₄C₁₃ и Ti₁₃C₁₄
за авторством: Лисенко, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Лисенко, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
The influence of in situ formed TiB2–VB2 borides on the structure and properties of hot-pressed B4C–(TiH2–VC) ceramic system
за авторством: O. N. Kajdash, та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: O. N. Kajdash, та інші
Опубліковано: (2018)
Optical and structural studies of phase transformations and composition fluctuations at annealing of Zn1-xCdxO films grown by dc magnetron sputtering
за авторством: O. Kolomys, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: O. Kolomys, та інші
Опубліковано: (2014)
Дослідження контактної взаємодії TiB2—SiC зі сплавами Ni—Cr
за авторством: Уманський, О.П., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Уманський, О.П., та інші
Опубліковано: (2008)
Схожі ресурси
-
Characterization of Ti–B–C–N films deposited by dc magnetron sputtering of bicomponent Ti/B4C target
за авторством: A. A. Onoprienko, та інші
Опубліковано: (2015) -
Deposition and characterization of thin Si–B–C–N films by dc reactive magnetron sputtering of composed Si/B4C target
за авторством: A. A. Onoprienko, та інші
Опубліковано: (2019) -
Magnetron sputtered coatings of AlN-TiCrB₂ system
за авторством: Panasyuk, A.D., та інші
Опубліковано: (2009) -
Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014) -
Influence of nitrogen on the microstructure, hardness and tribological properties of Cr–Ni–B–C–N films deposited by DC magnetron sputtering
за авторством: O. O. Onopriienko, та інші
Опубліковано: (2020)