Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

• Published in: Сверхтвердые материалы
• Date: 2015
• Main Authors: Филатов, Ю.Д., Ветров, А.Г., Сидорко, В.И., Филатов, А.Ю., Ковалев, С.В., Курилович, В.Д., Данильченко, М.А., Прихна, Т.А., Боримский, А.И., Куцай, А.М., Полторацкий, В.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2015
• Subjects: Исследование процессов обработки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126152
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев, В.Д. Курилович, М.А. Данильченко, Т.А. Прихна, А.И. Боримский, А.М. Куцай, В.Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 1. — С. 63-74. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.

Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной велич...