Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной велич...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Datum: | 2015 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2015
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126152 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев, В.Д. Курилович, М.А. Данильченко, Т.А. Прихна, А.И. Боримский, А.М. Куцай, В.Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 1. — С. 63-74. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862723531990630400 |
|---|---|
| author | Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г. Сидорко, В.И. Филатов, А.Ю. Ковалев, С.В. Курилович, В.Д. Данильченко, М.А. Прихна, Т.А. Боримский, А.И. Куцай, А.М. Полторацкий, В.Г. |
| author_facet | Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г. Сидорко, В.И. Филатов, А.Ю. Ковалев, С.В. Курилович, В.Д. Данильченко, М.А. Прихна, Т.А. Боримский, А.И. Куцай, А.М. Полторацкий, В.Г. |
| citation_txt | Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев, В.Д. Курилович, М.А. Данильченко, Т.А. Прихна, А.И. Боримский, А.М. Куцай, В.Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 1. — С. 63-74. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Сверхтвердые материалы |
| description | Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса, плотности энергии переноса и плотности колебательной энергии, затрачиваемой на образование частиц шлама. В результате компьютерного моделирования микро- и нанопрофиля обработанной поверхности построены профилограммы, по которым определены значения параметров шероховатости и характерные соотношения, связывающие их с наиболее вероятным размером частиц шлама.
Обґрунтовано доцільність використання полірувальних суспензій з алмазних мікропорошків, порошків нітриду бору та МАХ-фази Ti₃AlС₂ при дослідженні закономірностей полірування монокристалічного карбіду кремнію та використанні в якості критеріїв ефективності процесу обробки приведеної величини енергії переносу, густини енергії переносу та густини коливальної енергії, що витрачається на утворення частинок шламу. В результаті комп’ютерного моделювання мікро- і нанопрофілю обробленої поверхні побудовано профілограми, за якими визначено значення параметрів шорсткості та характерні співвідношення, що зв’язують їх з найбільш імовірним розміром частинок шламу.
As a result of studies of regularities polishing monocrystal silicon carbide and use as criteria efficient processing of the presented energy transfer, the energy density and density transfer vibration energy expended on the formation of particles of sludge proved the feasibility of applying diamond polishing suspensions of micron powders, powders of boron nitride and MAX-phase Ti₃AlС₂. As a result of computer simulation surface of micro- and nanoprofile built profilograms, which values of roughness parameters and characteristic relations connecting them with the most probable size of sludge particles.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:42:10Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-126152 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0203-3119 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:42:10Z |
| publishDate | 2015 |
| publisher | Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г. Сидорко, В.И. Филатов, А.Ю. Ковалев, С.В. Курилович, В.Д. Данильченко, М.А. Прихна, Т.А. Боримский, А.И. Куцай, А.М. Полторацкий, В.Г. 2017-11-16T15:23:14Z 2017-11-16T15:23:14Z 2015 Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев, В.Д. Курилович, М.А. Данильченко, Т.А. Прихна, А.И. Боримский, А.М. Куцай, В.Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 1. — С. 63-74. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126152 621.623 Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса, плотности энергии переноса и плотности колебательной энергии, затрачиваемой на образование частиц шлама. В результате компьютерного моделирования микро- и нанопрофиля обработанной поверхности построены профилограммы, по которым определены значения параметров шероховатости и характерные соотношения, связывающие их с наиболее вероятным размером частиц шлама. Обґрунтовано доцільність використання полірувальних суспензій з алмазних мікропорошків, порошків нітриду бору та МАХ-фази Ti₃AlС₂ при дослідженні закономірностей полірування монокристалічного карбіду кремнію та використанні в якості критеріїв ефективності процесу обробки приведеної величини енергії переносу, густини енергії переносу та густини коливальної енергії, що витрачається на утворення частинок шламу. В результаті комп’ютерного моделювання мікро- і нанопрофілю обробленої поверхні побудовано профілограми, за якими визначено значення параметрів шорсткості та характерні співвідношення, що зв’язують їх з найбільш імовірним розміром частинок шламу. As a result of studies of regularities polishing monocrystal silicon carbide and use as criteria efficient processing of the presented energy transfer, the energy density and density transfer vibration energy expended on the formation of particles of sludge proved the feasibility of applying diamond polishing suspensions of micron powders, powders of boron nitride and MAX-phase Ti₃AlС₂. As a result of computer simulation surface of micro- and nanoprofile built profilograms, which values of roughness parameters and characteristic relations connecting them with the most probable size of sludge particles. ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Исследование процессов обработки Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide Article published earlier |
| spellingShingle | Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г. Сидорко, В.И. Филатов, А.Ю. Ковалев, С.В. Курилович, В.Д. Данильченко, М.А. Прихна, Т.А. Боримский, А.И. Куцай, А.М. Полторацкий, В.Г. Исследование процессов обработки |
| title | Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_alt | Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide |
| title_full | Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_fullStr | Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_full_unstemmed | Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_short | Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_sort | полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| topic | Исследование процессов обработки |
| topic_facet | Исследование процессов обработки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126152 |
| work_keys_str_mv | AT filatovûd polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT vetrovag polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT sidorkovi polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT filatovaû polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT kovalevsv polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT kurilovičvd polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT danilʹčenkoma polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT prihnata polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT borimskiiai polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT kucaiam polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT poltorackiivg polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT filatovûd polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide AT vetrovag polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide AT sidorkovi polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide AT filatovaû polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide AT kovalevsv polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide AT kurilovičvd polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide AT danilʹčenkoma polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide AT prihnata polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide AT borimskiiai polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide AT kucaiam polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide AT poltorackiivg polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide |