Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной велич...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Сверхтвердые материалы
Date:2015
Main Authors: Филатов, Ю.Д., Ветров, А.Г., Сидорко, В.И., Филатов, А.Ю., Ковалев, С.В., Курилович, В.Д., Данильченко, М.А., Прихна, Т.А., Боримский, А.И., Куцай, А.М., Полторацкий, В.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2015
Subjects:
Исследование процессов обработки
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126152
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев, В.Д. Курилович, М.А. Данильченко, Т.А. Прихна, А.И. Боримский, А.М. Куцай, В.Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 1. — С. 63-74. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-126152
record_format dspace
spelling Филатов, Ю.Д.
Ветров, А.Г.
Сидорко, В.И.
Филатов, А.Ю.
Ковалев, С.В.
Курилович, В.Д.
Данильченко, М.А.
Прихна, Т.А.
Боримский, А.И.
Куцай, А.М.
Полторацкий, В.Г.
2017-11-16T15:23:14Z
2017-11-16T15:23:14Z
2015
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев, В.Д. Курилович, М.А. Данильченко, Т.А. Прихна, А.И. Боримский, А.М. Куцай, В.Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 1. — С. 63-74. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.
0203-3119
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126152
621.623
Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса, плотности энергии переноса и плотности колебательной энергии, затрачиваемой на образование частиц шлама. В результате компьютерного моделирования микро- и нанопрофиля обработанной поверхности построены профилограммы, по которым определены значения параметров шероховатости и характерные соотношения, связывающие их с наиболее вероятным размером частиц шлама.
Обґрунтовано доцільність використання полірувальних суспензій з алмазних мікропорошків, порошків нітриду бору та МАХ-фази Ti₃AlС₂ при дослідженні закономірностей полірування монокристалічного карбіду кремнію та використанні в якості критеріїв ефективності процесу обробки приведеної величини енергії переносу, густини енергії переносу та густини коливальної енергії, що витрачається на утворення частинок шламу. В результаті комп’ютерного моделювання мікро- і нанопрофілю обробленої поверхні побудовано профілограми, за якими визначено значення параметрів шорсткості та характерні співвідношення, що зв’язують їх з найбільш імовірним розміром частинок шламу.
As a result of studies of regularities polishing monocrystal silicon carbide and use as criteria efficient processing of the presented energy transfer, the energy density and density transfer vibration energy expended on the formation of particles of sludge proved the feasibility of applying diamond polishing suspensions of micron powders, powders of boron nitride and MAX-phase Ti₃AlС₂. As a result of computer simulation surface of micro- and nanoprofile built profilograms, which values of roughness parameters and characteristic relations connecting them with the most probable size of sludge particles.
ru
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
Сверхтвердые материалы
Исследование процессов обработки
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
spellingShingle Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
Филатов, Ю.Д.
Ветров, А.Г.
Сидорко, В.И.
Филатов, А.Ю.
Ковалев, С.В.
Курилович, В.Д.
Данильченко, М.А.
Прихна, Т.А.
Боримский, А.И.
Куцай, А.М.
Полторацкий, В.Г.
Исследование процессов обработки
title_short Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
title_full Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
title_fullStr Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
title_full_unstemmed Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
title_sort полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
author Филатов, Ю.Д.
Ветров, А.Г.
Сидорко, В.И.
Филатов, А.Ю.
Ковалев, С.В.
Курилович, В.Д.
Данильченко, М.А.
Прихна, Т.А.
Боримский, А.И.
Куцай, А.М.
Полторацкий, В.Г.
author_facet Филатов, Ю.Д.
Ветров, А.Г.
Сидорко, В.И.
Филатов, А.Ю.
Ковалев, С.В.
Курилович, В.Д.
Данильченко, М.А.
Прихна, Т.А.
Боримский, А.И.
Куцай, А.М.
Полторацкий, В.Г.
topic Исследование процессов обработки
topic_facet Исследование процессов обработки
publishDate 2015
language Russian
container_title Сверхтвердые материалы
publisher Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
format Article
title_alt Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide
description Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса, плотности энергии переноса и плотности колебательной энергии, затрачиваемой на образование частиц шлама. В результате компьютерного моделирования микро- и нанопрофиля обработанной поверхности построены профилограммы, по которым определены значения параметров шероховатости и характерные соотношения, связывающие их с наиболее вероятным размером частиц шлама. Обґрунтовано доцільність використання полірувальних суспензій з алмазних мікропорошків, порошків нітриду бору та МАХ-фази Ti₃AlС₂ при дослідженні закономірностей полірування монокристалічного карбіду кремнію та використанні в якості критеріїв ефективності процесу обробки приведеної величини енергії переносу, густини енергії переносу та густини коливальної енергії, що витрачається на утворення частинок шламу. В результаті комп’ютерного моделювання мікро- і нанопрофілю обробленої поверхні побудовано профілограми, за якими визначено значення параметрів шорсткості та характерні співвідношення, що зв’язують їх з найбільш імовірним розміром частинок шламу. As a result of studies of regularities polishing monocrystal silicon carbide and use as criteria efficient processing of the presented energy transfer, the energy density and density transfer vibration energy expended on the formation of particles of sludge proved the feasibility of applying diamond polishing suspensions of micron powders, powders of boron nitride and MAX-phase Ti₃AlС₂. As a result of computer simulation surface of micro- and nanoprofile built profilograms, which values of roughness parameters and characteristic relations connecting them with the most probable size of sludge particles.
issn 0203-3119
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126152
citation_txt Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев, В.Д. Курилович, М.А. Данильченко, Т.А. Прихна, А.И. Боримский, А.М. Куцай, В.Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 1. — С. 63-74. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT filatovûd polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT vetrovag polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT sidorkovi polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT filatovaû polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT kovalevsv polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT kurilovičvd polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT danilʹčenkoma polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT prihnata polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT borimskiiai polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT kucaiam polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT poltorackiivg polirovanieélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ
AT filatovûd polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide
AT vetrovag polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide
AT sidorkovi polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide
AT filatovaû polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide
AT kovalevsv polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide
AT kurilovičvd polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide
AT danilʹčenkoma polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide
AT prihnata polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide
AT borimskiiai polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide
AT kucaiam polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide
AT poltorackiivg polishingofoptoelectronicequipmentelementsfromsinglecrystalsiliconcarbide
first_indexed 2025-12-07T18:42:10Z
last_indexed 2025-12-07T18:42:10Z
_version_ 1850876028010889216

Similar Items