Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням
Показано можливість модифікування кремнієвих зондів атомно-силового мікроскопу тонким зносостійким вуглецевим покриттям, що приводить до покращення їхніх експлуатаційних властивостей (зменшує імовірність виникнення артефактів сканування на 20–22 %, збільшує термін експлуатації на 45–55 %). Запропоно...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Datum: | 2015 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2015
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126160 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням / В.С. Антонюк, С.О. Білокінь, М.О. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко, Ю.І. Коваленко // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 2. — С. 60-69. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |