Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням
Показано можливість модифікування кремнієвих зондів атомно-силового мікроскопу тонким зносостійким вуглецевим покриттям, що приводить до покращення їхніх експлуатаційних властивостей (зменшує імовірність виникнення артефактів сканування на 20–22 %, збільшує термін експлуатації на 45–55 %). Запропоно...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Datum: | 2015 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2015
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126160 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням / В.С. Антонюк, С.О. Білокінь, М.О. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко, Ю.І. Коваленко // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 2. — С. 60-69. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-126160 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Антонюк, В.С. Білокінь, С.О. Бондаренко, М.О. Бондаренко, Ю.Ю. Коваленко Ю.І. 2017-11-16T17:53:40Z 2017-11-16T17:53:40Z 2015 Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням / В.С. Антонюк, С.О. Білокінь, М.О. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко, Ю.І. Коваленко // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 2. — С. 60-69. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126160 621.793.14 Показано можливість модифікування кремнієвих зондів атомно-силового мікроскопу тонким зносостійким вуглецевим покриттям, що приводить до покращення їхніх експлуатаційних властивостей (зменшує імовірність виникнення артефактів сканування на 20–22 %, збільшує термін експлуатації на 45–55 %). Запропоновано оптимальні режими нанесення таких покриттів термічним випаровуванням у вакуумі з подальшою низькоенергетичною електронно-променевою їх мікрообробкою. Проведено перевірку якості нанесеного покриття, яка встановила зменшення субшорсткості поверхні зонда у 15–25 разів, а також збільшення мікротвердості та зносостійкості цих покриттів у 1,1–1,35 разів. Показана возможность модифицирования кремниевых зондов атомно-силового микроскопа тонким износостойким углеродным покрытием, которое приводит к улучшению их эксплуатационных свойств (уменьшает вероятность возникновения артефактов сканирования на 20–22 %, увеличивает срок эксплуатации на 45–55 %). Предложены оптимальные режимы нанесения таких покрытий термическим испарением в вакууме с дальнейшей низкоэнергетической электронно-лучевой микрообработкой. Проведенная проверка качества нанесенного покрытия показала уменьшение субшероховатости поверхности зонда в 15–25 раз, а также увеличение микротвердости и износостойкости этих покрытий в 1,1–1,35 раза. Retrofitting by thin wearproof carbon coverage it was conducted for the silicic probes of atomic-force microscope. It results in the improvement of its operating properties (diminishes probability of origin of artefacts of scan-out on 20–22 %, increases the term of exploitation on 45–55 %). The optimal modes of causing of such coverages thermal evaporation in a vacuum with a further low-energy electronic beam-processing were offered. Quality of the inflicted coverage control showed diminishing subroughness of probe surface in 15–25 times, increase of it microhardness and wearproofness in 1,1–1,35 time. uk Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Сверхтвердые материалы Получение, структура, свойства Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням Formation of wear-resistant coatings on silicon probes for atomic force microscopy by thermal vacuum evaporation Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням |
| spellingShingle |
Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням Антонюк, В.С. Білокінь, С.О. Бондаренко, М.О. Бондаренко, Ю.Ю. Коваленко Ю.І. Получение, структура, свойства |
| title_short |
Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням |
| title_full |
Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням |
| title_fullStr |
Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням |
| title_full_unstemmed |
Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням |
| title_sort |
формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням |
| author |
Антонюк, В.С. Білокінь, С.О. Бондаренко, М.О. Бондаренко, Ю.Ю. Коваленко Ю.І. |
| author_facet |
Антонюк, В.С. Білокінь, С.О. Бондаренко, М.О. Бондаренко, Ю.Ю. Коваленко Ю.І. |
| topic |
Получение, структура, свойства |
| topic_facet |
Получение, структура, свойства |
| publishDate |
2015 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Сверхтвердые материалы |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Formation of wear-resistant coatings on silicon probes for atomic force microscopy by thermal vacuum evaporation |
| description |
Показано можливість модифікування кремнієвих зондів атомно-силового мікроскопу тонким зносостійким вуглецевим покриттям, що приводить до покращення їхніх експлуатаційних властивостей (зменшує імовірність виникнення артефактів сканування на 20–22 %, збільшує термін експлуатації на 45–55 %). Запропоновано оптимальні режими нанесення таких покриттів термічним випаровуванням у вакуумі з подальшою низькоенергетичною електронно-променевою їх мікрообробкою. Проведено перевірку якості нанесеного покриття, яка встановила зменшення субшорсткості поверхні зонда у 15–25 разів, а також збільшення мікротвердості та зносостійкості цих покриттів у 1,1–1,35 разів.
Показана возможность модифицирования кремниевых зондов атомно-силового микроскопа тонким износостойким углеродным покрытием, которое приводит к улучшению их эксплуатационных свойств (уменьшает вероятность возникновения артефактов сканирования на 20–22 %, увеличивает срок эксплуатации на 45–55 %). Предложены оптимальные режимы нанесения таких покрытий термическим испарением в вакууме с дальнейшей низкоэнергетической электронно-лучевой микрообработкой. Проведенная проверка качества нанесенного покрытия показала уменьшение субшероховатости поверхности зонда в 15–25 раз, а также увеличение микротвердости и износостойкости этих покрытий в 1,1–1,35 раза.
Retrofitting by thin wearproof carbon coverage it was conducted for the silicic probes of atomic-force microscope. It results in the improvement of its operating properties (diminishes probability of origin of artefacts of scan-out on 20–22 %, increases the term of exploitation on 45–55 %). The optimal modes of causing of such coverages thermal evaporation in a vacuum with a further low-energy electronic beam-processing were offered. Quality of the inflicted coverage control showed diminishing subroughness of probe surface in 15–25 times, increase of it microhardness and wearproofness in 1,1–1,35 time.
|
| issn |
0203-3119 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126160 |
| citation_txt |
Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням / В.С. Антонюк, С.О. Білокінь, М.О. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко, Ю.І. Коваленко // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 2. — С. 60-69. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT antonûkvs formuvannâznosostíikihpokrittívnakremníêvihzondahdlâatomnosilovoímíkroskopíítermovakuumnimviparovuvannâm AT bílokínʹso formuvannâznosostíikihpokrittívnakremníêvihzondahdlâatomnosilovoímíkroskopíítermovakuumnimviparovuvannâm AT bondarenkomo formuvannâznosostíikihpokrittívnakremníêvihzondahdlâatomnosilovoímíkroskopíítermovakuumnimviparovuvannâm AT bondarenkoûû formuvannâznosostíikihpokrittívnakremníêvihzondahdlâatomnosilovoímíkroskopíítermovakuumnimviparovuvannâm AT kovalenkoûí formuvannâznosostíikihpokrittívnakremníêvihzondahdlâatomnosilovoímíkroskopíítermovakuumnimviparovuvannâm AT antonûkvs formationofwearresistantcoatingsonsiliconprobesforatomicforcemicroscopybythermalvacuumevaporation AT bílokínʹso formationofwearresistantcoatingsonsiliconprobesforatomicforcemicroscopybythermalvacuumevaporation AT bondarenkomo formationofwearresistantcoatingsonsiliconprobesforatomicforcemicroscopybythermalvacuumevaporation AT bondarenkoûû formationofwearresistantcoatingsonsiliconprobesforatomicforcemicroscopybythermalvacuumevaporation AT kovalenkoûí formationofwearresistantcoatingsonsiliconprobesforatomicforcemicroscopybythermalvacuumevaporation |
| first_indexed |
2025-12-07T19:21:40Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:21:40Z |
| _version_ |
1850878513266032640 |