Cover Image

Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням

Показано можливість модифікування кремнієвих зондів атомно-силового мікроскопу тонким зносостійким вуглецевим покриттям, що приводить до покращення їхніх експлуатаційних властивостей (зменшує імовірність виникнення артефактів сканування на 20–22 %, збільшує термін експлуатації на 45–55 %). Запропоно...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Сверхтвердые материалы
Date:2015
Main Authors: Антонюк, В.С., Білокінь, С.О., Бондаренко, М.О., Бондаренко, Ю.Ю., Коваленко Ю.І.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2015
Subjects:
Получение, структура, свойства
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126160
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Формування зносостійких покриттів на кремнієвих зондах для атомносилової мікроскопії термовакуумним випаровуванням / В.С. Антонюк, С.О. Білокінь, М.О. Бондаренко, Ю.Ю. Бондаренко, Ю.І. Коваленко // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 2. — С. 60-69. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items