Методи очистки поверхні кристалів алмазу
Визначено методи поетапної очистки монокристалів алмазу від поверхневого забруднення. Основні етапи обробки полягають у хімічній очистці поверхні, іонному травленні та очистці ультразвуком. Дані методи забезпечили повну очистку поверхні монокристалів алмазу. Определены методы поэтапной очистки монок...
Saved in:
| Published in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Date: | 2015 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126174 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Методи очистки поверхні кристалів алмазу / О.М. Супрун, Г.Д. Ільницька, В.М. Ткач, С.О. Івахненко // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 3. — С. 89-93. — Бібліогр.: 6 назв. — укр. |