Методи очистки поверхні кристалів алмазу

• Veröffentlicht in: Сверхтвердые материалы
• Datum: 2015
• Hauptverfasser: Супрун, О.М., Ільницька, Г.Д., Ткач, В.М., Івахненко, С.О.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2015
• Schlagworte: Письма в редакцию
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/126174
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Методи очистки поверхні кристалів алмазу / О.М. Супрун, Г.Д. Ільницька, В.М. Ткач, С.О. Івахненко // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 3. — С. 89-93. — Бібліогр.: 6 назв. — укр.

Визначено методи поетапної очистки монокристалів алмазу від поверхневого забруднення. Основні етапи обробки полягають у хімічній очистці поверхні, іонному травленні та очистці ультразвуком. Дані методи забезпечили повну очистку поверхні монокристалів алмазу. Определены методы поэтапной очистки монокристаллов алмаза от поверхностного загрязнения. Основные этапы обработки заключаются в химической очистке поверхности, ионном травлении и очистке ультразвуком. Данные методы обеспечили полную очистку поверхности монокристаллов алмаза. Methods of step-by-step cleaning of contamination from diamond single crystals surfaces have been developed. The main stages of the cleaning: chemical cleaning of the surface, ion etching, and ultrasound cleaning have been discussed. It has been shown that these methods offer a complete cleaning the surfaces of diamond single crystals.