Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов

• Published in: Сверхтвердые материалы
• Date: 2015
• Main Authors: Гончаров, А.А., Дуб, С.Н., Агулов, А.В., Петухов, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2015
• Subjects: Получение, структура, свойства
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/129921
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов / А.А. Гончаров, С.Н. Дуб, А.В. Агулов, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 6. — С. 76-85. — Бібліогр.: 33 назв. — рос.

Исследовано влияние условий осаждения на структуру, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления. Показано, что в зависимости от приложенного потенциала смещения и температуры подложки происходит формирование покрытий разл...