Дослідження чинників впливу на одержання розвинутої поверхні конденсату Al–O

При термойонному реакційному випаровуванні алюмінію в середовищі кисню за допомогою термокатодної електронної гармати були одержані структури з розгалуженою поверхнею. Товщина покриття Al–O складала 3–16 мкм. Одержані покриття досліджувалися методами растрової електронної мікроскопії, рентґенівськог...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2017
Main Authors: Сидоренко, С.Б., Бевза, О.М., Сидоренко, Я.С.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2017
Series:Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130036
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Дослідження чинників впливу на одержання розвинутої поверхні конденсату Al–O / С.Б. Сидоренко, О.М. Бевза, Я.С. Сидоренко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2017. — Т. 15, № 1. — С. 133-139. — Бібліогр.: 5 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine