Дослідження чинників впливу на одержання розвинутої поверхні конденсату Al–O

• Veröffentlicht in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Datum: 2017
• Hauptverfasser: Сидоренко, С.Б., Бевза, О.М., Сидоренко, Я.С.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2017
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130036
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Дослідження чинників впливу на одержання розвинутої поверхні конденсату Al–O / С.Б. Сидоренко, О.М. Бевза, Я.С. Сидоренко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2017. — Т. 15, № 1. — С. 133-139. — Бібліогр.: 5 назв. — укр.

При термойонному реакційному випаровуванні алюмінію в середовищі кисню за допомогою термокатодної електронної гармати були одержані структури з розгалуженою поверхнею. Товщина покриття Al–O складала 3–16 мкм. Одержані покриття досліджувалися методами растрової електронної мікроскопії, рентґенівськог...