Изменения структуры многослойных рентгеновских зеркал Zr/Mg с ростом толщины наноразмерных слоёв магния

• Published in: Металлофизика и новейшие технологии
• Date: 2017
• Main Authors: Конотопский, Л.Е., Михайлов, И.Ф., Копылец, И.А., Мамон, В.В., Кондратенко, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2017
• Subjects: Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130322
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Изменения структуры многослойных рентгеновских зеркал Zr/Mg с ростом толщины наноразмерных слоёв магния / Л.Е. Конотопский, И.Ф. Михайлов, И.А. Копылец, В.В. Мамон, В.В. Кондратенко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 6. — С. 767-778. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Методами рентгеновской дифрактометрии исследованы особенности роста многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) Zr/Mg, изготовленных методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что МРЗ Zr/Mg благодаря высокой степени периодичности слоёв и малому несоответствию параметров их кристаллических...