Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т

Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т

В машиностроительной отрасли постоянно существуют проблемы связанные с упрочнением поверхности деталей машин и агрегатов. Упрочнение достигается за счет азотирования поверхности либо нанесения защитного износостойкого покрытия. В данной работе рассмотрена возможность нанесения многослойного покрытия...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2017
1. Verfasser: Столбовой, В.А.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2017
Schriftenreihe:Журнал физики и инженерии поверхности
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130539
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т / В.А. Столбовой // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 80-85. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-130539
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1305392025-02-23T17:26:49Z Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т Вплив товщини шарів багатошарового покриття TiN/MoN і глибини азотування на структурні та механічні характеристики сталі 12Х18Н10Т Influence of thichness of layers of multilayer coating TiN/MoN and depth of nitrogen on structural and mechanical characteristics of steel 12Х18Н10Т Столбовой, В.А. В машиностроительной отрасли постоянно существуют проблемы связанные с упрочнением поверхности деталей машин и агрегатов. Упрочнение достигается за счет азотирования поверхности либо нанесения защитного износостойкого покрытия. В данной работе рассмотрена возможность нанесения многослойного покрытия TiN/MoN на предварительно азотированную поверхность в едином технологическом процессе на модернизированной вакуумно-дуговой установке типа «БУЛАТ-6». У машинобудівній галузі постійно існують проблеми пов’язані зі зміцненням поверхні деталей машин і агрегатів. Зміцнення досягається за рахунок азотування поверхні або нанесення захисного зносостійкого покриття. У даній роботі розглянута можливість нанесення багатошарового покриття TiN/MoN на попередньо азотовану поверхню в єдиному технологічному процесі на модернізованій вакуумно-дугового установці типу «БУЛАТ-6». In the machine building industry, there are constant problems associated with hardening the surface of machine parts and aggregates. Hardening is achieved by nitriding the surface or applying a protective wear-resistant coating. In this paper, we consider the possibility of applying a multilayer coating of TiN/MoN to a previously nitrided surface in a single technological process on a modernized vacuum-arc device of the BULAT-6 type. 2017 Article Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т / В.А. Столбовой // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 80-85. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2519-2485 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130539 539.216.2: 536.42 ru Журнал физики и инженерии поверхности application/pdf Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description В машиностроительной отрасли постоянно существуют проблемы связанные с упрочнением поверхности деталей машин и агрегатов. Упрочнение достигается за счет азотирования поверхности либо нанесения защитного износостойкого покрытия. В данной работе рассмотрена возможность нанесения многослойного покрытия TiN/MoN на предварительно азотированную поверхность в едином технологическом процессе на модернизированной вакуумно-дуговой установке типа «БУЛАТ-6».
format Article
author Столбовой, В.А.
spellingShingle Столбовой, В.А.
Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т
Журнал физики и инженерии поверхности
author_facet Столбовой, В.А.
author_sort Столбовой, В.А.
title Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т
title_short Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т
title_full Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т
title_fullStr Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т
title_full_unstemmed Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т
title_sort влияние толщины слоев многослойного покрытия tin/mon и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12х18н10т
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2017
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130539
citation_txt Влияние толщины слоев многослойного покрытия TiN/MoN и глубины азотирования на структурные и механические характеристики стали 12Х18Н10Т / В.А. Столбовой // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 80-85. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
series Журнал физики и инженерии поверхности
work_keys_str_mv AT stolbovojva vliânietolŝinysloevmnogoslojnogopokrytiâtinmoniglubinyazotirovaniânastrukturnyeimehaničeskieharakteristikistali12h18n10t
AT stolbovojva vplivtovŝinišarívbagatošarovogopokrittâtinmoníglibiniazotuvannânastrukturnítamehaníčníharakteristikistalí12h18n10t
AT stolbovojva influenceofthichnessoflayersofmultilayercoatingtinmonanddepthofnitrogenonstructuralandmechanicalcharacteristicsofsteel12h18n10t
first_indexed 2025-11-24T02:30:45Z
last_indexed 2025-11-24T02:30:45Z
_version_ 1849637151161974784
fulltext 80 Журнал фізики та інженерії поверхні, 2017, том 2, № 2–3, сс. 80–85; Журнал физики и инженерии поверхности, 2017, том 2, № 2–3, сс. 80–85; Journal of Surface Physics and Engineering, 2017, vol. 2, No. 2–3, pp. 80–85 © Столбовой В. А., 2017 УДК 539.216.2: 536.42 ВЛИЯНИЕ ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ МНОГОСЛОЙНОГО ПОКРЫТИЯ TiN/MoN И ГЛУБИНЫ АЗОТИРОВАНИЯ НА СТРУКТУРНЫЕ И МЕХАНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СТАЛИ 12Х18Н10Т В. А. Столбовой Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков, Украина Поступила в редакцию 14.06.2017 В машиностроительной отрасли постоянно существуют проблемы связанные с упрочнением поверхности деталей машин и агрегатов. Упрочнение достигается за счет азотирования по- верхности либо нанесения защитного износостойкого покрытия. В данной работе рассмот рена возможность нанесения многослойного покрытия TiN/MoN на предварительно азотирован- ную поверхность в едином технологическом процессе на модернизированной вакуумно-дуго- вой установке типа «БУЛАТ-6». Ключевые слова: азотирование, механические свойства покритий, многослойные покрытия, нитрид молибдена, нитрид титана. ВПЛИВ ТОВЩИНИ ШАРІВ БАГАТОШАРОВОГО ПОКРИТТЯ TiN/MoN І ГЛИБИНИ АЗОТУВАННЯ НА СТРУКТУРНІ ТА МЕХАНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ СТАЛІ 12Х18Н10Т В. О. Столбовий У машинобудівній галузі постійно існують проблеми пов’язані зі зміцненням поверхні дета- лей машин і агрегатів. Зміцнення досягається за рахунок азотування поверхні або нанесення захисного зносостійкого покриття. У даній роботі розглянута можливість нанесення багато- шарового покриття TiN/MoN на попередньо азотовану поверхню в єдиному технологічному процесі на модернізованій вакуумно-дугового установці типу «БУЛАТ-6». Ключові слова: азотування, механічні властивості покриттів, багатошарові покриття, нітрид молібдену, нітрид титану. INFLUENCE OF THICHNESS OF LAYERS OF MULTILAYER COATING TiN/MoN AND DEPTH OF NITROGEN ON STRUCTURAL AND MECHANICAL CHARACTERISTICS OF STEEL 12Х18Н10Т V. A. Stolbovoy In the machine building industry, there are constant problems associated with hardening the surface of machine parts and aggregates. Hardening is achieved by nitriding the surface or applying a protective wear-resistant coating. In this paper, we consider the possibility of applying a multilayer coating of TiN/MoN to a previously nitrided surface in a single technological process on a modernized vacuum- arc device of the BULAT-6 type. Keywords: nitriding, mechanical properties of coatings, multilayer coatings, molybdenum nitride, titanium nitride. ВВЕДЕНИЕ Современное развитие промышленности диктует новые требования по упрочне- нию и снижению степени износа деталей машин, узлов агрегатов, механизмов и ин- струментов. Зачастую поиск новых матери- алов заключается в разработке защитных износостойких покрытий на поверхности изделий. Поэтому эти покрытия должны удо- влетворять жестким условиям работы и иметь хорошую адгезию с материалом основы. Обычно ни один из используемых мате- риалов покрытий не может удовлетворить всему комплексу выдвигаемых усло- вий. Единственно возможный вари - ант решения проблемы это создание многослойных композиций, состоящих из различных элементов, позволяющих про- изводить совершенно новые покрытия с улучшенными физико-механическими В. А. СТОЛБОВОЙ 81ЖФІП ЖФИП JSPE, 2017, т. 2, № 2–3, vol. 2, No. 2–3 свойствами, по сравнению с покрытиями, существующими на данный момент. В н а с тоя щ е е в р е м я су щ е с т ву ют всевозможные комбинации покрытий, но все они обладают высокими сжимающи- ми напряжениями и большой твердос- тью [1]. Высокие сжимающие напряжения в покрытии приводят к появлению растя- гивающих напряжений в подложке, и сле- довательно к уменьшению ее прочности. Поэтому для улучшения физико-механичес- ких свойств системы «покрытие-подложка» необходимо снизить внутренние напряже- ния в покрытии при сохранении твердости отдельных его слоев и увеличить твердость подложки, т. е. ввести в поверхностных слоях сжимающие напряжения. Для этого не- обходимо применить методику, состоящую из определенной последовательности операций. На первом этапе производится нагрев, очист- ка ионной бомбардировкой и азотирование в газовой плазме вакуумно-дугового разряда, которое увеличивает твердость поверхност- ного слоя подложки. На втором этапе фор- мируется многослойное нитридное покрытие из разных элементов с периодами слоев от 10 до 300 нм. 1. МАТЕРИАЛЫ, МЕТОДИКА ОБРАБОТКИ И ИССЛЕДОВАНИЯ В качестве материалов для исследований в работе использовались высоколегированная сталь 12Х18Н10Т аустенитного класса с содержанием хрома 17–19 ат. % и Ni от 9 до 11 мас. %. Образцы с размерами 20 × 20 × 3 мм предварительно промывали щелочным раствором в ультразвуковой ванне и затем нефрасом С2-80/120. Образцы загружались в модернизированную уста- новку типа «БУЛАТ-6» рис. 1. Вакуум- ную камеру (1) откачивали до давления P = 1,3 × 10–3 Па, и производили ионную очистку с активацией поверхности подло- жек бомбардировкой ионами азота в газо- вой плазме дугового разряда. Для создания газового разряда в рабочем объеме камеры необходимо включить испаритель (2), и в объеме до металлического экрана (3) будет создана газо-металлическая плазма, которая является эмиттером электронов для газового разряда в объеме рабочей камеры (1) [1]. При подаче на корпус ваку- умно-дугового испарителя 7 положительного потенциала переключателем 9 от источника питания дуги в присутствии азота при давле- нии 0,05–0,5 Па в рабочем объеме возникает газовый дуговой разряд. При подаче на по- дложку (4), а следовательно и на образцы (6) высокого отрицательного потенциала (–1000– –1300 В) происходит ее разогрев за счет бом- бардировки ионами азота до температуры 480–540 °C, что обеспечивает протека- ние процессов азотирования на поверх- ности образцов. Температура подложек в дальнейшем поддерживается изменени- ем величины отрицательных потенциалов (постоянного 10 и импульсного 12). Дли- тельность процесса азотирования зависит от требуемой толщины слоя и температуры подложки. После процесса азотирования произво- дится осаждение многослойных покрытий TiN/MoN. Ток дугового разряда на Ti = 100 А (8), ток дуги Mo = 125 А (13). Расстоя- ние от катодов до образцов 500 мм. Командо- контроллером (11) регулируется длительность напыления каждого слоя, в частности, в работе она составляла 5 с на один слой 1 13 12 К. К. 11 10 9 8 7 6N 5 4 3 2 Рис. 1. Принципиальная схема вакуумно-дуговой установки типа «БУЛАТ-6» для азотирования с по- следующим нанесением многослойных покрытий: 1 — вакуумная камера, 2 — вакуумно-дуговой испа- ритель; 3 — металлический экран, не пропускающий ионы испаряемого металла, 4 — экран держатель об- разцов, 5 — натекатель азота, 6 — напыляемые об- разцы, 7 — корпус вакуумно-дугового испарителя — анод для газового разряда, 8 — катод Ti, 9 — реле переключения, 10 — источник постоянного напряже- ния, 11 — командо-контроллер, 12 — источник им- пульсного напряжения, 13 — катод Мо ВЛИЯНИЕ ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ МНОГОСЛОЙНОГО ПОКРЫТИЯ TiN/MoN И ГЛУБИНЫ АЗОТИРОВАНИЯ НА... 82 ЖФІП ЖФИП JSPE, 2017, т. 2, № 2–3, vol. 2, No. 2–3 [2]. Осаждение покрытий осуществлялось при отрицательном потенциале –200 В (10) и импульсном потенциале с амплитудой –900 В, длительностью импульсов 10 мкс и частотой 5 кГц (12). Фазовый состав и структурное состояние исследовались методом рентгеновской диф- ракции на дифрактометре ДРОН-3М в излу- чении Cu-Kα с использованием во вторичном пучке графитового монохроматора. Съемка осуществлялась по точечному режиму с шагом сканирования Δ(2θ) = 0,05–0,2° и дли- тельностью накопления импульсов в каждой точке 20–40 с. Выделения дифракционных профилей в случае их наложения осущест- влялось по программе разделения линий «New_profile». Микрофрактографии поверхно сти покрытий исследовались на растровом электронном микроскопе JEOL JSM-840. Анализ микроструктуры и морфо- логии покрытий проводился с помощью растровой электронной микроскопии (РЭМ) с использованием растровых электронных микроскопов Quanta 600 FEG и НаноСкан 450. Исследование элементного состава об- разцов проводились методом анализа спектров характеристического рентгеновско- го излучения, генерируемых электронным пучком в растровом электронном ми- кроскопе. Спектры снимались с помо- щью энерго-дисперсионного спектрометра рентгеновского излучения системы PEGASUS фирмы EDAX, установленного в микроскопе. Разрешение по энергии этого метода составляет 120 эВ, а по концентрации до 0,1 % для Ar и более тяжелых элементов, порядка 0,5 % для C, N и О. Съемка спек- тров проводилась в тех же условиях, при которых были проведены съемки спектров от эталонов, а именно: 1. уровень сигнала составлял порядка 2500–3000 импульсов в секунду, 2. мертвое время детектора составляло 20–30 %. Расчет содержания элементов в иссле- дуемом материале проводился с помощью программы, прилагаемой к растровому электронному микроскопу. 2. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ Определения фазово-структурного состояния азотированного слоя осуществлялось рентге- но-дифрактометрическим методом. На рис. 2 приведен дифракционный спектр поверхнос- ти нержавеющей стали после азотирования. В образце наблюдается аустенитная γ-фаза, совместно с S фазой (более широкий спектр). Исходя из зависимости периода решетки от содержания N полученный по положению максимумов рефлексов на рис. 2 период ре- шетки S фазы 0,381 нм соответствует фор- муле FeN0,4. Размер кристаллитов составил в среднем 3,2 нм [3]. Микротвердость нержавеющей стали составляет 2 ГПа, после азотирования модифицированный слой имеет микротвер- дость до 9 ГПа. На рис. 3 показана фотография азотиро- ванного слоя стали 12Х18Н10Т на глубину до 20 мкм. 3500 3000 2500 І, ус л. е д. 2000 1500 1000 500 0 30 35 2θ, град. 40 45 50 55 (200)S (200)γ (111)γ (111)S Рис. 2. Участок дифракционного спектра образца, азотированного при PN = 0,5 Па, Unn= –1300 В М но го сл ой но е по кр ы ти е Ti N /M oN А зо ти ро ва нн ы й сл ой Рис. 3. Поперечный срез азотированного слоя с мно- гослойным покрытием TiN/MoN В. А. СТОЛБОВОЙ 83ЖФІП ЖФИП JSPE, 2017, т. 2, № 2–3, vol. 2, No. 2–3 Для нержавеющей стали 12Х18Н10Т за время 30 минут глубина азотирования со- ставляет 20 мкм. В нержавеющих сталях ионное азотирование значительно повышает эффективность нитридообразования с хро- мом, образуя фазу CrN в модифицированной области. Затем на азотированные поверхности об- разцов наносили многослойное покрытие TiN/MoN. Модификация поверхности за счет азотирования позволяет осаждать сверхтвердые (до 50 ГПа) вакуумно-дуговые покрытия с толщиной до 20 мкм без сколов и растрескивания. Азотированный слой являет- ся переходной зоной от мягкой нержавеющей стали к сверхтвердому покрытию. На рис. 4 показана поверхность много- слойного покрытия TiN/MoN, где видна яче- истая структура покрытия, и присутствие небольшого количества капель от титанового испарителя. Приведенный на рис. 5 энерго диспер- сионный спектр снятый с поверхности покрытия, является характерным для покрытий TiN/MoN, что характеризует сте- хиометрию состава покрытия. Осаждение покрытий TiN/MoN с тол- щиной периода 5 нм приводит к образова- нию двухфазного состояния γ-Mo2N и TiN с кристаллической решеткой (ГЦК типа NaCl). Пример разделения дифракционных спектров представлен на рис. 6. Одной из причин появления двухфазно- го состояния является интенсивная ионная бомбардировка за счет подачи на подложку как постоянного так и импульсного потен- циала смещения (рис. 7), что способствует измельчению зеренной структуры и увели- чению межфазных границ. Импульсное воз- действие во время осаждения многослойного Рис. 4. Фотография поверхности многослойного TiN/ MoN покрытия Mo 0 Mo Ti 1 2 3 4 5 6 Ti Ti Mo Mo MoN Рис. 5. Участок энергодисперсионного спектра и определенный по ним элементный состав много- слойного покрытия системы TiN/MoN 100 90 80 І, ус л. е д. 70 60 50 40 30 20 10 0 36 2θ, град. 37 38 1 2 3 4 5 Рис. 6. Разделение дифракционных спектров на со- ставляющие пики от двух фаз (111) TiN и (111) γ-Mo2N: 1 — точки исходного массива данных; 2 — аппроксимирующая кривая; 3 — выделенный пик (111) TiN; 4 — выделенный пик (111) γ-Mo2N; 5 — кривая невязки [4] Рис. 7. Осциллограмма постоянного отрицательного потенциала 200 В и высоковольтного импульсного воздействия с амплитудой до 900 В при осаждении многослойного TiN/MoN покрытия ВЛИЯНИЕ ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ МНОГОСЛОЙНОГО ПОКРЫТИЯ TiN/MoN И ГЛУБИНЫ АЗОТИРОВАНИЯ НА... 84 ЖФІП ЖФИП JSPE, 2017, т. 2, № 2–3, vol. 2, No. 2–3 покрытия совместно с постоянным потенциа- лом приводит к снижению внутренних напря- жений и росту микротвердости в покрытии. Второй причиной образования двух- фазного состояния, и она же основная яв- ляется формирование роста покрытия с поочередным напылением двух разных ни- тридообразующих материалов TiN и MoN. Для определения элементного состава по глубине производили поперечный срез об- разца рис. 8, где линией указано место вдоль которого производилась съемка. Было определено, что толщина много- слойного покрытия составляет ~10 мкм (рис. 9). Уменьшения Ti с Mo в покрытии и одновременный рост Cr, Fe, Ni свидетель- ствует о диффузионных процессах проте- кающих между покрытием и подложкой на глубине 11–13 мкм. Количество азота в вакуумно-дуго- вом TiN/MoN покрытии несколько выше, чем в азотированном слое нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Небольшое снижение количества азота в стали происходит на уров- не 35 мкм, однако реальная диффузия азота происходит и на глубину 64 мкм. Разработка методики упрочнения поверх- ности за счет предварительного азотирова- ния поверхности материала с последующим нанесением сверхтвердого многослойного покрытия позволяет повысить ресурс работы режущего инструмента и оснасток. В част- ности таким методом была упрочнена матри- ца (рис. 10) показавшая увеличение ресурса работы более чем в10 раз. ВЫВОДЫ 1. Ионное азотирование в газовой плаз- ме дугового разряда является наиболее быстрым и перспективным процессом упро- чнения стальных изделий по сравнению со стандартным ионным и термическим азотированием. 2. Обнаружено, что период многослойного покрытия TiN/MoN в 5 нм приводит к образо- ванию двухфазного состояния γ-Mo2N и TiN с твердостью до 50 ГПа. 3. Метод азотирования сталей в вакуумно- дуговом разряде с последующим нанесением многослойных износостойких вакуумно- дуговых покрытий в едином технологичес- ком процессе позволяет получить новые виды покрытий с улучшенными механичес- кими характеристиками. ЛИТЕРАТУРА 1. Андреев А. А., Саблев Л. П., Григорьев С. Н. Вакуумно-дуговые покрытия. — Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. — 318 с. Рис. 8. Поперечный срез азотированного слоя с мно- гослойным покрытием TiN/MoN NK MoL TiK CrK FeK NiK 0 16 32 48 64 Рис. 9. Распределение элементов вдоль оси попереч- ного среза рис. 8 Рис. 10. Фотография матрицы с многослойным по- крытием с предварительно азотированным слоем В. А. СТОЛБОВОЙ 85ЖФІП ЖФИП JSPE, 2017, т. 2, № 2–3, vol. 2, No. 2–3 2. Руденко В. П., Столбовой В. А., Сер- дюк И. В., Картмазов К. Г. Система управле- ния нанесением сверхтвердых нанослойных вакуумно-дуговых покрытий // Восточно- европейский журнал передовых техноло- гий. — 2010. — Т. 6/1(48). — С. 66–69. 3. Соболь О. В., Андреев А. А., Столбо- вой В. А., Князев С. А., Бармин А. Е., Кри- вобок Н. А. Исследование влияния режи- мов ионного азотирования на структуру и твердость стали // Восточно-Европейский журнал передовых технологий ISSN 1729- 3774. — 2016. — Т. 2/5 (80). — С. 63–68. 4. Андреев А. А., Соболь О. В., Горбань В. Ф., Столбовой В. А., Мамон В. В. Исследова- ние фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокри- сталлических покрытий Ti-Mo-N // ФІП. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 28–35. REFERENCES 1. Andreev A. A., Sablev L. P., Grigor’ev S. N. Vakuumno-dugovye pokrytiya. — Har’kov: NNC HFTI, 2010. — 318 p. 2. Rudenko V. P., Stolbovoj V. A., Serdyuk I. V., Kartmazov K. G. Sistema upravleniya nane- seniem sverhtverdyh nanoslojnyh vakuumno- dugovyh pokrytij // Vostochno-evropejskij zhurnal peredovyh tehnologij. — 2010. — Vol. 6/1(48). — P. 66–69. 3. Sobol’ O. V., Andreev A. A., Stolbovoj V. A., Knyazev S. A., Barmin A. E., Krivobok N. A. Issledovanie vliyaniya rezhimov ionnogo azotirovaniya na strukturu i tverdost’ stali // Vostochno-Evropejskij zhurnal peredovyh tehnologij ISSN 1729-3774. — 2016. — Vol. 2/5 (80). — P. 63–68. 4. Andreev A. A., Sobol’ O. V., Gorban’ V. F., Stolbovoj V. A., Mamon V. V. Issledovanie fazovogo sostava, struktury i svojstv mno- goslojnyh vakuumno-dugovyh nano kristal- licheskih pokrytij Ti-Mo-N // FІP. — 2010. — Vol. 8, No. 1. — P. 28–35.

Ähnliche Einträge