Контрольована технологія поруватих наноструктур на основі оксиду алюмінію
Описано створення контрольованої технології, оснащеної методом контролю in-situ, для вирощування поруватого анодного оксиду алюмінію та наносітчатих плівок оксиду алюмінію. Описано создание контолируемой технологии, оснащенной in-situ методом контроля для изготовления пористого анодного окисла алюми...
Saved in:
| Published in: | Комп’ютерні засоби, мережі та системи |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
2017
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/131510 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Контрольована технологія поруватих наноструктур на основі оксиду алюмінію / Т.С. Лебєдєва, П.Б. Шпильовий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2017. — № 16. — С. 56-65. — Бібліогр.: 16 назв. — укр. |