Контрольована технологія поруватих наноструктур на основі оксиду алюмінію

• Published in: Комп’ютерні засоби, мережі та системи
• Date: 2017
• Main Authors: Лебєдєва, Т.С., Шпильовий, П.Б.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України 2017
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/131510
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Контрольована технологія поруватих наноструктур на основі оксиду алюмінію / Т.С. Лебєдєва, П.Б. Шпильовий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2017. — № 16. — С. 56-65. — Бібліогр.: 16 назв. — укр.

Описано створення контрольованої технології, оснащеної методом контролю in-situ, для вирощування поруватого анодного оксиду алюмінію та наносітчатих плівок оксиду алюмінію. Описано создание контолируемой технологии, оснащенной in-situ методом контроля для изготовления пористого анодного окисла алюми...