Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
Представлено аналіз методів запису мікро- та нанорельєфних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників. Показано, що при експонуванні плівок халькогенідних склоподібних напівпровідників оптичним випромінюванням, яке сфокусовано дифракційно обмеженими оптичними системами, відбитк...
Saved in:
| Published in: | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/131595 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників / В.В. Петров, П.М. Литвин, М.Л. Трунов, А.А. Крючин, Є.В. Беляк, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, А.А. Коптюк // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2016. — Т. 18, № 1. — С. 3-13. — Бібліогр.: 28 назв. — укр. |