Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників

• Published in: Реєстрація, зберігання і обробка даних
• Date: 2016
• Main Authors: Петров, В.В., Литвин, П.М., Трунов, М.Л., Крючин, А.А., Беляк, Є.В., Рубіш, В.М., Костюкевич, С.О., Коптюк, А.А.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2016
• Subjects: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/131595
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників / В.В. Петров, П.М. Литвин, М.Л. Трунов, А.А. Крючин, Є.В. Беляк, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, А.А. Коптюк // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2016. — Т. 18, № 1. — С. 3-13. — Бібліогр.: 28 назв. — укр.

Представлено аналіз методів запису мікро- та нанорельєфних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників. Показано, що при експонуванні плівок халькогенідних склоподібних напівпровідників оптичним випромінюванням, яке сфокусовано дифракційно обмеженими оптичними системами, відбитк...