Features of synthesis of Ti-Si-N coatings by condensation of vacuum arc plasma with a composite cathode
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Functional Materials |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2011
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135442 |
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| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Features of synthesis of Ti-Si-N coatings by condensation of vacuum arc plasma with a composite cathode / I.I. Aksenov, V.A. Belous, Yu.A. Zadneprovskiy, N.S. Lomino, O.V. Sobol // Functional Materials. — 2011. — Т. 18, № 2. — С. 266-273. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. |