Features of synthesis of Ti-Si-N coatings by condensation of vacuum arc plasma with a composite cathode
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Functional Materials |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135442 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Features of synthesis of Ti-Si-N coatings by condensation of vacuum arc plasma with a composite cathode / I.I. Aksenov, V.A. Belous, Yu.A. Zadneprovskiy, N.S. Lomino, O.V. Sobol // Functional Materials. — 2011. — Т. 18, № 2. — С. 266-273. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. |