Генератор газовых смесей для ионно-плазменных технологий

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2017
• Main Authors: Сысоев, Ю.А., Сердюк, И.В., Доломанов, А.В., Ковтеба, Д.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2017
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136017
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Генератор газовых смесей для ионно-плазменных технологий / Ю.А. Сысоев, И.В. Сердюк, А.В. Доломанов, Д.В. Ковтеба // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 178-183. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Предложен метод создания газовых смесей, предназначенных для получения покрытий сложного состава в ионно-плазменных установках. Особенностью метода является предварительная циклическая продувка смесительной камеры для создания в ней атмосферы, состоящей не менее чем на 99,9% из одного компонента сме...