Компьютерное моделирование профилей имплантированных ионов Al⁺ в наноструктурную пленку Cu
Методами математического моделирования исследованы зависимости профилей пространственного распределения имплантированных ионов от их угла падения на наноструктурные пленки. Построена компьютерная модель взаимодействия ионов с наноструктурными пленками и проведены расчеты имплантации ионов Al⁺ в медн...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136145 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Компьютерное моделирование профилей имплантированных ионов Al⁺ в наноструктурную пленку Cu / В.И. Павленко, И.Г. Марченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 4. — С. 32-38. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |