Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий
Приведены результаты исследований по влиянию величины плавающего потенциала на подложкодержателях различных размеров на форму и стабильность горения разряда постоянного тока при наличии магнитного поля. Определены условия стабильного горения разряда в течение длительного времени (до 6 ч) при нулевом...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2018 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137343 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 93-95. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |